Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Fabrication of Low Temperature Poly-Si TFT by Ni/Pd DMILC(Double-Metal Induced Lateral Crystallization) at$400^{\circ}C$

Ni/Pd 이중금속유도측면결정화에 의한 저온($400^{\circ}C$) 다결정 실리콘 트랜지스터 제작에 관한 연구

  • 김광호 (서울대학교 공과대학 재료공학부) ;
  • 이병일 (서울대학교 공과대학 재료공학부) ;
  • 신진욱 (서울대학교 공과대학 재료공학부서울대학교 공과대학 재료공학부) ;
  • 안평수 (서울대학교 공과대학 재료공학부) ;
  • 정원철 (서울대학교 공과대학 재료공학부) ;
  • 주승기 (서울대학교 공과대학 재료공학부)
  • Published : 1996.11.01
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Abstract

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