Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

A Study on stress effect in poly-Si thin film transistors fabricated by metal induced lateral crystallization

금속 유도 측면 결정화법에 의해 제작된 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 스트레스 효과에 대한 연구

  • 정원철 (서울대학교 공과대학 재료공학부) ;
  • 인태형 (서울대학교 공과대학 재료공학부) ;
  • 이병일 (서울대학교 공과대학 재료공학부) ;
  • 김광호 (서울대학교 공과대학 재료공학부) ;
  • 신진욱 (서울대학교 공과대학 재료공학부) ;
  • 안평수 (서울대학교 공과대학 재료공학부) ;
  • 주승기 (서울대학교 공과대학 재료공학부)
  • Published : 1996.11.01
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Abstract

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