Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Characterization of Interface in Bonded Silicon-on-Insulator Wafer

접합 SOI 웨이퍼내의 계면고찰

  • 홍필영 ((주)포스코휼스 연구개발팀) ;
  • 문동찬 (광운공과대학교) ;
  • 강성건 (포항산업과학연구원 재료표면연구팀) ;
  • 서광 (포항산업과학연구원 재료표면연구팀) ;
  • 김홍락 (포항산업과학연구원 재료표면연구팀) ;
  • 류근걸 (포항산업과학연구원 재료표면연구팀)
  • Published : 1996.11.01
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Abstract

Keywords