A comparative study on TiN & TaN as electrode material for $Ta_2O_5$

$Ta_2O_5$의 전극재료로서 TiN과 TaN 비교 연구

  • 김대용 (서울대학교 금속공학과) ;
  • 민석홍 (서울대학교 금속공학과) ;
  • 민우식 (서울대학교 금속공학과) ;
  • 김기범 (서울대학교 금속공학과)
  • Published : 1996.11.01