Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 1996.11a
- /
- Pages.74-74
- /
- 1996
A comparative study on TiN & TaN as electrode material for $Ta_2O_5$
$Ta_2O_5$ 의 전극재료로서 TiN과 TaN 비교 연구
Abstract
Keywords