Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

A study on the adhesion and the wear properties of TiN film deposited by reactive magnetron sputter ion plating

반응성 마그네트론 스퍼터 이온 플레이팅법으로 증착된 TiN 박막의 접착력 및 마모 특성

  • 이민구 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 이원종 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 김흥회 (한국원자력연구소 원자력신소재개발) ;
  • 김정수 (한국원자력연구소 원자력신소재개발)
  • Published : 1996.11.01
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Abstract

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