Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Protection Method of UBM during KOH anisotropic Silicon Etching

KOH 이방성 실리콘 식각용액 중에서 UBM의 보호 방법

  • 이상환 (한국전자통신연구소, 화합물반도체연구부) ;
  • 주관종 (한국전자통신연구소, 화합물반도체연구부) ;
  • 문종태 (한국전자통신연구소, 화합물반도체연구부) ;
  • 황남 (한국전자통신연구소, 화합물반도체연구부) ;
  • 송민규 (한국전자통신연구소, 화합물반도체연구부)
  • Published : 1996.11.01
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Abstract

Keywords