Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Patterning Process of Platinum electrode by Reactive Ion Etching

반응성 이온의 식각법에 의한 Platinum 전극의 패턴 형성

  • 김권석 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 이종명 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 신주철 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 김형준 (서울대학교 재료공학부)
  • Published : 1996.11.01
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Abstract

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