Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

High Electromigration Resistance of Cu-Pd Alloy Films

전자이주에 내성이 높은 Cu-Pd 합금 박막

  • 박종원 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 이진호 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 김윤태 (한국전자통신연구소 반도체연구단)
  • Published : 1994.11.01
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Abstract

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