Electromigration in Cu films studied by isothermal resistance change measurements

등온 전기저항변화 측정에 의한 구리박막에서의 전자이주 연구

  • 박종원 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 이진호 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 김윤태 (한국전자통신연구소 반도체연구단)
  • Published : 1994.11.01