Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 1994.11a
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- Pages.165-165
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- 1994
Study on patterning process of metallization material Cu by a new plasma etching method
새로운 플라즈마 식각 방법에 의한 금속배선 재료인 구리의 패턴 형성에 대한 연구
Abstract
Keywords