한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

(a-$Se_{75}Ge_{25}$ 박막의 $Ga^+$ 이온 산란 및 노출특성)

Monte-Carlo simulation of Focused Ion Beam Lithograpph (II)

  • 이현용 (광운대학교 공과대학 전자재료공학과) ;
  • 정홍배 (광운대학교 공과대학 전자재료공학과)
  • 발행 : 1994.02.01
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