Si/Co/GaAs계의 계면반응, 상평형 및 전기적 특성에 관한 연구

A study on the interfacial reaction, phase equilibria and electrical ppropperty of Si/Co/GaAS system

  • 곽준섭 (연세대학교 금속공학과) ;
  • 백홍구 (연세대학교 금속공학과) ;
  • 신동원 (포항공과대학 재료금속공학과) ;
  • 박찬경 (포항공과대학 재료금속공학과) ;
  • 김창수 (한국표준과학연구원) ;
  • 노삼규 (한국표준과학연구원)
  • 발행 : 1994.02.01