A Piezo-Driven Miniaturized XY Stage with Two Prismatic-Prismatic Joints Type Parallel Compliant Mechanism (2 개의 병진-병진 관절형 병렬 탄성 메커니즘을 갖는 압전구동 소형 XY 스테이지)
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- Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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- v.30 no.12
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- pp.1281-1286
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- 2013