Mo under-layer의 두께에 따른 TFT 신호 배선 용 순수 Al 박막에서의 미세 구조 변화 및 hillock 형성에 미치는 영향 (Effects of Mo under-layer thickness on the microstructure and hillock formation of pure Al film for the interconnection of TFT)
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- 한국재료학회:학술대회논문집
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- 한국재료학회 2006년도 춘계학술발표대회 및 제10회 신소재 심포지엄 논문개요집
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- pp.32.1-32.1
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- 2006