첨단과학이 발전하면서 반도체의 필요성은 끊임없이 요구되고 있으며, 이러한 반도체 공정에서는 다량의 독성가스를 이용한 공정이 많다. 이러한 공정에서 가스의 누설로 인한 사고의 위험성은 항상 내재되어 있는 실정이다. 특히 국내 독성가스 사고는 암모니아와 염소에 의한 사고가 대부분이다. 따라서 본 논문에서는 LPCVD 공정에서 사용하는 암모니아와 염소의 누출로 인한 피해를 예측하여 안전에 만전을 기하고자 한다.
최근 발생한 경북 구미의 불산 누출 및 경남 울산의 염산 누출사고의 예와 같이 화학공장에서 발생되는 사고중대 부분은 저장탱크나 운송배관 및 플랜지호스 등의 손상에 의한 휘발성 유독성물질의 대량누출이며, 이 경우 누출된 지역의 자연환경과 대기 조건에 따른 유독성물질의 확산 거동이 인적, 물적 피해의 중요한 변수가 되기 때문에 위험성평가는 가장 중요한 관심 대상이 된다. 따라서 본 연구에서는 누출물질에 대한 대기 중 확산을 모사하기 위하여 불산 저장탱크에서 누출된 경우를 예제로 선택하여, 수치해석과 ALOHA(Areal Location of Hazardous Atmospheres)의 확산 시뮬레이션을 이용한 결과해석을 수행하였다. 먼저 공정위험분석으로 정성적 평가인 HAZOP(Hazard Operability) 결과를 살펴보면 첫째 공정흐름상(flow) 위험 요소로서 플렌지, 밸브와 호스의 균열 등 손상으로 인한 누출에 의한 운전지연 또는 독성가스누출 등이 발생할 수 있고, 둘째 온도, 압력, 부식으로부터는 화재, 질소공급과 압 그리고 탱크나 파이프 이음관의 내부 부식으로 인한 독성누출의 가능성이 높은 것으로 분석되었다. 다음 결과 영향분석 기법인 ALOHA를 운용한 결과를 살펴보면 Dense Gas Model에 대한 입력 자료값에 따라 미치는 결과 영향이 다소 차이가 있음을 발견하였으나 기상조건으로서 대기안정도 보다는 풍향 및 풍속이 가장 영향을 미치는 것으로 분석 되었다. 또한 풍속이 빠를수록 누출물질의 확산이 잘 일어났고, 수치해석결과인$LC_{50}$과 ALOHA의 AEGL-3(Acute Exposure Guidline Level)과 결과를 비교했을 때 확산길이는 다소 차이가 있지만 확산농도 측면에서는 액체와 증기누출인 경우에 있어서 거의 비슷한 결과를 보였다. 따라서 ALOHA 모델을 운영한 결과 각 시나리오별 경향은 상당히 일치함을 볼 수 있었다. 따라서 추후 수치해석과 확산모델링에 의한 예측농도를 국제적인 기준치인 IDLH(Immediately Dangerous to Life and Health), ERPG(Emergency Response Planning Guideline), AEGL(Acute Exposure Guidline Level)과 비교 함 으로서 독성 가스의 대한 완충거리를 결정 할 수 있고, 이와 같은 연구방법은 유독성물질 누출에 따른 위험성평가를 보다 효율적으로 수행하는데 도움을 줄 것이며, 지역사회 비상대응체계 수립 시 적절하게 활용할 수 있을 것이다.
Leakage accidents in businesses dealing with hazardous chemicals can have a great impact on the workers inside the workplace, as well as residents outside the workplace. In fact, there were cases where hazardous chemicals leaked from many businesses. As a result, the Chemicals Control Act(CCA) was enacted in 2015, the Ministry of Environment introduced an Off-site Risk Assessment(ORA). The purpose of the ORA is to secure safety from the installation of the design of the workplace facilities so that chemical accidents of hazardous chemical handling facilities do not cause human or physical damage outside the workplace. In general, the ORA qualitatively determines where a protected facility is within the scope of the accident scenario. However, elderly who belong to the sensitive group is more sensitive than the general group under the same chemical accident effect, and the extent of the damage is serious. According to data from the Korea National Statistic Office, the number of elderly people is expected to increase steadily. Therefore, a quantitative risk analysis considering the elderly is necessary as a result of a chemical accident. In this study, accident scenarios for 14 locations were set up to perform emergency evacuation due to toxic gas leakage of Cl2(Chlorine) and HF(Hydrogen Fluoride), and the effects of exposure were analyzed based on the evacuation velocity difference of age 20s and 60s. The ALOHA(Areal Locations of Hazardous Atmospheres) program was used to calculate the concentration for assessing the effects. The time of exposure to toxic gas was calculated based on the time it took for the evacuation to run from the start point to the desired point and a methodology was devised that could be applied to the risk calculation. As a result of the study, the relative risk of the elderly, the sensitive group, needs to be determined.
Histopathological changes of gills and caudal fins isolated from fishes, Cyprinus carpio, Carassius auratus, and Hernibarbus labeo, which were killed by oxygen deficiency or toxic chemicals, were studied. The toxic chemicals were HCl, NaOH, chloroform, benzene, heavy metals(Cu, Cr, Zn, Pb, Hg), and o-dichlorobenzene. The exposure level was enough to kill the fishes within 30 minutes. Oxygen deficient water was prepared by aeration of nitrogen gas and the oxygen concentration was less than l ppm. Cryocutting was used for the rapid preparation of tissue slides and the tissues were stained by hematoxylin/eosin. In the fishes killed by hazardous chemicals, congestion and/or hyperplasia of secondary lamella and erosion of fin were found as the major histopathological changes. Whereas, these characteristics were not observed in gills or caudal fins of fishes killed by oxygen deficiency. These different bioindications appeared in the fishes killed by toxic substances or natural causes, can be used for the rapid identification of the causes of fish kills.
The advanced country established the test standard (e.g., BS, EN) to measure the toxic gases quantitatively and, have applied to enhance the fire safety of railway car. We must also follow the procedures to use interior material for railway car as stated the Safety regulation for the urban railway car. Currently, various interior materials are used to obtain the fire safety of railway car. The amount of toxic gases moved into the FT-IR gas cell via sampling line from the ISO 5659 chamber using cone heater was measured and compared the results for each materials.
반도체용 특수가스인 BF3는 반도체 생산공정에서 웨이퍼의 플라즈마 식각 공정과 화학증기증착(CVD : Chemical vapor deposition) chamber 세정공정 등에 사용되며, $BF_3$ 가스는 boron Ion Implant 공정에서 p-type doping을 위한 원료 등으로 사용된다. 본 연구에서는 간단한 공정으로 $NaBF_4$ 와 $KBF_4$의 열분해를 통하여 $BF_3$ 가스의 생산에 대해서 연구 하였다.
The gas sensor is essential to monitoring dangerous gases in our environment. Metal oxide (MO) gas sensors are primarily utilized for flammable, toxic and organic gases and $O_3$ because of their high sensitivity, high response and high stability. Tungsten oxides ($WO_3$) have versatile applications, particularly for gas sensor applications because of the wide bandgap and stability of $WO_3$. Nanosize $WO_3$ are synthesized using the hydrothermal method. As-prepared $WO_3$ nanopowders are in the form of nanorods and nanorulers. The crystal structure is hexagonal tungsten bronze ($MxWO_3$, x =< 0.33), characterized as a tunnel structure that accommodates alkali ions and the phase stabilizer. A gas detection test reveals that $WO_3$ can detect acetone, butanol, ethanol, and gasoline. This is the first study to report this capability of $WO_3$.
The significance of gas sensors has been emphasized in various industries and applications, owing to the growing significance of environmental, social, and governance (ESG) management in corporate operations. In particular, the monitoring of hazardous gas leakages and detection of fugitive emissions have recently garnered significant attention across several industrial sectors. As industrial workplaces evolve to ensure the safety of their working environments and reduce greenhouse gas emissions, the demand for high-performance gas sensors in industrial sectors dealing with toxic substances is on the rise. However, conventional gas-sensing systems have limitations in monitoring fugitive gas leakages at both critical and subcritical concentrations in complex environments. To overcome these difficulties, recent studies in the field of gas sensors have employed techniques such as mobile robotic olfaction, remote optical sensing, chemical grid sensing, and remote acoustic sensing. This review highlights the significant progress made in various technologies that have enabled accurate and real-time mapping of gas distribution and localization of hazardous gas sources. These recent advancements in gas-sensing technology have shed light on the future role of gas-detection systems in industrial safety.
우리나라에서 건축물 내장재의 화재안전성능은 국토해양부 고시 제2011-39호에 의한 평가방법에 의해 불연성시험(KS F ISO 1182), 열방출률시험(KS F ISO 5660) 및 가스유해성시험(KSF 2271)을 실시하여 그 결과로서 분류하도록 되어 있다. 그 중 연기 및 연소독성가스에 대한 시험인 가스 유해성 시험은, 건축재료 및 내장재의 연소시 발생하는 가스의 유해성을 마우스의 평균 행동정지시간으로 측정하는 방법으로 사용하여 왔다. 이 중 연소 독성가스 4종(HCl, HF, HCN, $SO_2$) 흡입독성시험방법의 확립을 위하여 ICR계 mouse와 전신흡입노출장치를 이용하여, 독성가스 노출 및 병리검사를 수행하였다. 그 결과 호흡기관지와 가까운 폐포에서 대식세포(Macrophage)의 침윤을 유발하는 것으로 나타났고, 4종의 물질에 대한 조직의 병리검사로 전체적으로 충혈과 울혈은 확인되었다. 조직 중 폐와 신장에서 조직손상이 심하였고, 물질로는 HCN이 가장 많은 병리소견을 보였다.
In this work, one dimension $In_2O_3$ nanostructures as detecting materials for indoor toxic gases were synthesized by an electrospinning process. The morphology of electrospun $In_2O_3$ nanofibers was controlled by electrolyte composition, applied voltage and working distance between a nozzle and a substrate. The synthesized $In_2O_3$ nanofibers-based paste with/without carbon black additives was prepared for the integration on a sensor device. The integration of $In_2O_3$ sensing materials was conducted by a hand-printing of the paste into the interdigit Au electrodes patterned on Si wafer. Gas sensing properties on CO and HCHO gases were characterized at $300^{\circ}C$. The evaluated sensing properties such as sensitivity, response time and recovery time were improved in $In_2O_3$ nanofiber pastes with carbon black, compared to the paste without carbon black.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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