유기금속 화학 기상증착법으로 실리콘 기판위에 증착된 질소치환 $TiO_2$ 박막의 특성분석
(Characterization of Nitrogen-Doped $TiO_2$ Thin Films Prepared by Metalorganic Chemical Vapor Deposition)
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- 한국세라믹학회지
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- 제31권12호
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- pp.1577-1587
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- 1994