We have studied dielectric characteristics of low-k interlayer dielectric materials was fabricated by plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD). BTMSM precursor was introduced with the flow rates from 24 sccm to 32 sccm by 2 sccm step in the constant flow rate of 60 sccm $O_2$. Then, SiOCH thin film deposited at room temperature was annealed at temperature of $400^{\circ}C$ and $500^{\circ}C$ for 30 minutes in vacuum. The vibrational groups of SiOCH thin films were analyzed by FT/IR absorption lines, and the dielectric constant of the low-k SiOCH thin films were obtained by measuring C-V characteristic curves. With the result that FTIR analysis, as BTMSM flow rate increase, relative carbon content of SiOCH thin film increased from 29.5% to 32.2%, and increased by 32.8% in 26 sccm specimen after $500^{\circ}C$ annealing. Dielectric constant was lowest by 2.32 in 26 sccm specimen, and decreased more by 2.05 after $500^{\circ}C$ annealing. Also, leakage current is lowest by $8.7{\times}10^{-9}A/cm^2$ in this specimen. In the result, shift phenomenon of chemical bond appeared in SiOCH thin film that BTMSM flow rate is deposited by 26 sccms, and relative carbon content was highest in this specimen and dielectric constant also was lowest value
Magnetic properties and crystallographic properties of $Cu_{1-x}Ge_{1-y}Fe_{x+y}O_3$ system were studied by using x-ray diffraction, superconducting quantum interference device (SQUID) and Mossbauer spectroscopy. All the samples have orthorhombic structure and the lattice constants some decreased as the substituted iron contents increasing. The spin-Peierls (SP) transition temperature of our samples are about 12.5 K and these temperatures lowered as increasing substituted iron contents. The Mossbauer spectra consisted with two Zeeman sextets and one doublet due to $Fe^{3+}$ ions. The jump up of magnetic hyperfine field of 2nd Zeeman sextet and the increasing of the values of quadrapole splitting and isomer shift of doublet below SP transition temperature could be interpreted with the variation of the superexchange interaction, the symmetry of lattice sites and the covalency of bonds due to the atomic displacements.
Journal of the Korean Society of Propulsion Engineers
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v.23
no.2
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pp.60-67
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2019
To understand the low frequency instability(LFI) characteristics in hybrid rockets combustion, effects of equivalence ratio variations on the phase shift between pressure and heat release oscillations were investigated by using the direct numerical simulation. The change in the equivalence ratio of the main chamber was simulated by the temperature and composition variation of the combustion gas introduced into the post-combustion chamber. In the results, additional combustion appeared along with vortex generation at the backward step, and combustion pressure and heat release oscillations were observed as the vortex moved. In addition, the results confirmed that the phase difference between the pressure and heat release oscillation shifts because of the changes in the propagation velocity of pressure wave as the temperature of combustion gas changes.
Mn-added Barium hexaaluminates were manufactured by homogeneous precipitation method using Urea. The effects of water wash and dry temperature were analyzed by thermal weight analysis, X-ray diffraction analysis, and scanning electron microscopy. Catalysts that went through the filtration step only produced pure hexaaluminate images compared to those that went through the water wash step. During the drying process, it seems that the remaining urea helps dehydration of the precursor and affects the phase shift of gibbsite to boehmite, which is easy to convert to pure hexaaluminate. The catalyst WO200 gave the best performance in the methane combustion reaction, and NOx was not emitted in the reaction for all catalysts. Hexaaluminates were found to affect reducing the highest CO emissions.
We report on electrical and mechanical properties of silicon nitride ($SiN_x$) films deposited by a plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) method at $200^{\circ}C$ from $SiH_4$ highly diluted in $N_2$. The films were also prepared from $SiH_4$ diluted in He for comparison. The $N_2$ dilution was also effective in improving adhesion of the $SiN_x$ films, fascilitating construction of thin film transistors (TFTs). Metal-insulator-semiconductor (MIS) and Metal-insulator-Metal (MIM) structures were used for capacitance-voltage (C-V) and current-voltage (I-V) measurements, respectively. The resistivity and breakdown field strength of the $SiN_x$ films from $N_2$-diluted $SiH_4$ were estimated to be $1{\times}10^{13}{\Omega}{\cdot}cm$, 7.4 MV/cm, respectively. The MIS device showed a hysteresis window and a flat band voltage shift of 3 V and 0.5 V, respectively. The TFTs fabricated by using these films showed a field-effect mobility of $0.16cm^2/Vs$, a threshold voltage of 3 V, a subthreshold slope of 1.2 V/dec, and an on/off ratio of > $10^6$.
Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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v.30
no.1
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pp.1-16
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2023
Recently, the shift to next-generation wide-bandgap (WBG) power semiconductor for electric vehicle is accelerated due to the need to improve power conversion efficiency and to overcome the limitation of conventional Si power semiconductor. With the adoption of WBG semiconductor, it is also required that the packaging materials for power modules have high temperature durability. As an alternative to conventional high-temperature Pb-based solder, Ag sintering die attach, which is one of the power module packaging process, is receiving attention. In this study, we will introduce the recent research trends on the Ag sintering die attach process. The effects of sintering parameters on the bonding properties and methodology on the exact physical properties of Ag sintered layer by the realization 3D image are discussed. In addition, trends in thermal shock and power cycle reliability test results for power module are discussed.
The EAST ICRF system operating space has been extended in power and phase control with a low-level RF system for the new double-strap antenna. Then the multi-step power and periodic phase scanning experiment were conducted in L-mode plasma, respectively. In the power scanning experiment, the stored energy, radiation power, plasma impedance and the antenna's temperature all have positive responses during the short ramp-ups of PL;ICRF. The core ion temperature increased from 1 keV to 1.5 keV and the core heating area expanded from |Z| ≤ 5 cm to |Z| ≤ 10 cm during the injection of ICRF waves. In the phasing scanning experiment, in addition to the same conclusions as the previous relatively phasing scanning experiment, the superposition effect of the fluctuation of stored energy, radiation power and neutron yield caused by phasing change with dual antenna, resulting in the amplitude and phase shift, was also observed. The active control of RF output facilitates the precise control of plasma profiles and greatly benefits future experimental exploration.
Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference
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2008.05a
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pp.125-128
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2008
In this paper, a stand-type planar antenna of 900MHz RFID band is designed and fabricated. As the proposed antenna is stand-type use of air permittivity, Bandwidth used ground height at rectangle patch structure and coaxial feed line is widen. Also wideband width can solve problem that RFID tag attached to things happens frequency shift keying phenomenon by liquid, special metal, temperature, humidity etc. Bandwidth of fabricated antenna to VSWR less than 2 is satisfied 11.9% at $890MHz{\sim}1000MHz$. And proposed antenna is circular polarization antenna of operating characteristics that axial ratio is less than 2 and gain is 6dBi.
Lee, Sang Yoon;Choi, Mi-Jung;Cho, Hyung-Yong;Davaatseren, Munkhtugs
Food Science of Animal Resources
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v.36
no.3
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pp.335-342
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2016
The object in this study is to investigate the effects of high pressure and freezing processes on the curdling of skim milk depending on the presence of transglutaminase (TGase) and glucono-δ-lactone (GdL). Skim milk was treated with atmospheric freezing (AF), high pressure (HP), pressure-shift freezing (PSF) and high pressure sub-zero temperature (HPST) processing conditions. After freezing and pressure processing, these processed milk samples were treated with curdling agents, such as TGase and GdL. Pressurized samples (HP, PSF and HPST) had lower lightness than that of the control. In particular, PSF had the lowest lightness (p<0.05). Likewise, the PSF proteins were the most insoluble regardless of whether they were activated by TGase and GdL, indicating the highest rate of protein aggregation (p<0.05). Furthermore, the TGase/GdL reaction resulted in thick bands corresponding to masses larger than 69 kDa, indicating curdling. Casein bands were the weakest in PSF-treated milk, revealing that casein was prone to protein aggregation. PSF also had the highest G' value among all treatments after activation by TGase, implying that PSF formed the hardest curd. However, adding GdL decreased the G' values of the samples except HPST-treated samples. Synthetically, the PSF process was advantageous for curdling of skim milk.
Journal of the Korea Institute of Information and Communication Engineering
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v.17
no.10
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pp.2461-2465
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2013
This paper investigates the influence of hydrogen loading process on the radiation sensitivity of fiber Bragg gratings (FBG). We made the FBG inscribed in the same commercial Ge-doped fiber with different hydrogen loading periods. We measured the Bragg wavelength shift (BWS) of the FBG exposed to gamma-radiation up to a dose of 18 kGy, and evaluated the change of full width at half maximum (FWHM) and the FBG temperature sensitivity coefficient after irradiation. Varying hydrogen loading parameter led to BWS differences up to nearly a factor of two.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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