Design of Digital Tracking Controller based on Disturbance Observer for Micro Electrostatic Actuator with Nonlinearity (비 선형 요소를 갖는 정전 마이크로 구동기의 외란 관측기에 기초한 디지털 추종 제어기 설계)
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- The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers A
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- v.48 no.6
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- pp.773-780
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- 1999