MPCVD 방법에 의해 증착된 다결정 다이아몬드 박막의 결정성 및 표면 거칠기 향상에 관한 연구 (A study on the improvement of crystallinity and surface roughness of polycrystalline diamond films deposited by MPCVD method)
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- 대한전기학회:학술대회논문집
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- 대한전기학회 2001년도 하계학술대회 논문집 C
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- pp.1349-1351
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- 2001