ZnO 성장을 위한 Atomic Layer Deposition법에서 공정온도가 박막의 구조적 및 광학적 특성에 미치는 영향 (Effects of Substrate Temperature on the Microstructure and Photoluminescence Properties of ZnO Thin Films by Atomic Layer Deposition)
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- 한국재료학회지
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- 제15권11호
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- pp.741-744
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- 2005