Kim, Song-Kwan;Yun, Hae-Sang;Hong, Mun-Pyo;Park, Sun-Woo
한국정보디스플레이학회:학술대회논문집
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한국정보디스플레이학회 2000년도 제1회 학술대회 논문집
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pp.77-78
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2000
We verified the charged static electricity on LCD glass influences upon the etching uniformity of dry etching process by plasma. In the TFT-LCD manufacturing process, we mainly paid attention to eliminate the static electricity for TFT reliability. The static electricity caused the serious ununiformity of etching surface profile and etching rate in the dry etch process. Through our experiment on the made static electricity from -200V to -1000V, it was confirmed that the static electricity on LCD glass caused the etching rate variation of $1.5%{\sim}15%$. We recommend the etching process equipment for LCD manufacturing have to establish the soft X-ray exposure module system for eliminating the static electricity inside the loading and unloading chamber.
We have studied the static electricity and optical retardation generated by rubbing the surfaces of polyimide (PI) and polyamide (PA) films. The static electricity increases with the rubbing strength (RS) and varies with the different PI films. We also investigated how the differences in the rubbing fabric affects the magnitude of the induced static electricity; the order of this effect is nylon > rayon > cotton. The induced static electricity is not only directly related to the values of the specific resistivity of the rubbed PI films, but also the RS and the ability of the rubbing fabric to generate and add a static electric charge. The order of the optical retardation produced by the rubbing fabraic on rubbed PI films is nylon > rayon > cotton, coinciding with the order of the generated static electricity.
In this paper, We propose a portable electrostatic meter which can measure high voltage static electricity caused by friction to prevent fire or explosion accidents in grinding, crushing, power injection, transport, filling, dust removal, painting, and foreign matter removal processes. The proposed device not only shows static electricity strength in 4 steps with respect to distance and voltage but also gives warning with a buzzer, on process facilities that are likely to generate high voltage static electricity due to friction. The device is implemented by filtering the signal detected by the wireless antenna, amplifying the signal by 6 times, and passing the signal through the integrator circuit. Tests are carried out with an electrostatic discharge simulator. And the results show that 4 LEDs are turned on at the distance of 10cm, 3 LEDs at 12cm, 2 LEDs at 13cm, and 1 LED at 15cm, when a fixed voltage of 500V is given. And also, the tests show that the static electricity can be detected at 5cm on 100V, 10cm on 200V, 15cm on 500V, 20cm on 1000V, and 25cm on 1500V. We expect to reduce accidents caused by static electricity by allowing safety managers on fields where fire or explosion accidents can happen to monitor static electricity.
We observed that static electricity has an influence on the etching unformity of dry etching process. When the static electricity was applied from-200[V]to-1000[V] on glass substrates, the etching rate uniformity was changed to 1.5%-15%. In this experiment, the soft X-ray to neutralize static electricity was adopted as ore of neutralization methods. As an experimental result, soft X-ray irradiation improved neutralization capability on the surface of LCD glass substrate within the short time, about 15-30sec. The difference of etching rate uniformity was below 0.5%.
Static electricity is an everyday phenomenon. There can be few of us who have not experienced a static shock after sliding across a car seat. Other static nuisance effects include the cling of some fabrics to the body, the sticking of a plastic document cover, or the attraction of dust to a TV or computer screen. However, static electricity has been a serious industrial problem. The age of electronics brought with it new problems associated with static electricity and electrostatic discharge. And, as electronic devices became faster and smaller, their sensitivity to ESD increased. In this work, We are study on the control technique of electo-static discharges using semiconductor circuits. Our circuits are prevented well to electrostatic shock or damages from triboelectric charging in cars everyday life.
Static electricity is an imbalance of electric charges within or on the surface of a material. All packed items that are particularly sensitive to static discharge must be protected by antistatic treatment. Otherwise, static electricity generated by an electrical insulator may cause serious damages to some sensitive electronics. In order to remove or prevent a buildup of static electricity, packed items must be treated with the application of an antistatic agent, which helps any excess charge to be evenly distributed. Functional pulp tray used for packing of electronic goods was developed with application of an antistatic agent. As the concentration of the antistatic agent increased, charging voltage and surface resistance of molded pulps decreased. The increase of humidity in surrounding atmosphere around molded pulps led to the decrease of accumulation of static charges. In conclusion, the surface treatment of the antistatic agent not only reduced or eliminated buildup of static electricity in the surface, but also prevented generation of tiny dirts from molded tray.
This experiment is based on "the feasible improvement studies for an eliminating device of the static electricity which applies the ionizing effect of beta radiation." In order to accomplish this object, the following problems were necessarily considered to investigate and to determine. The efficiency of the elimination of static electricity was determined by means of measuring the ion current between electrically charged plates with micro-ammeter. The effects of various factors, i.e., the distance between charged plate and radiation source, the activity of radiation source, the electric otential and the area of the charged plate, the shape of the source housing, the lining of backscattering material (Pb) on the source housing surface and blowing of ionized air, on the static electricity eliminating efficiency were studied. The beta radiation sources used in this experiment were S$^{35}$ and Sr$^{90}$ -Y$^{90}$ . It was revealed that ion current increased with source activity, the electric potential and area of the plates, the lead (Pb) lining on the surface of the source housing and the velocity of the ionized air blowing. As one could expect the S$^{35}$ was more effective to increase the ion current since it is known to be a higher specific ionization source than Sr$^{90}$ -Y$^{90}$ . The detailed result and performance of the eliminating device of the static electricity are described here.ibed here.
Most of Static electricity forms part of our daily experience broadly. Most people have noticed from time to time electric shocks when closing of their car or after walking across a carpet, operating shredder in winter and touching a metal handle. This electrostatic discharge nuisance is normally a minor inconvenience, but in some cases static electricity can cause more serious problems. Static electricity can also be harnessed to good effect in Position Control System.
This study was carried to figure out the effect of washing on the cationic surfactant (DSDMAC) absorption by nylon fabrics washed with anionic surfactant(SDBS). Cationic surfactant absorption, static electricity, and fabric stiffness of washed and unwashed nylon fabrics were estimated. And to check the correlation between DSDMAC absorption and SDBS absorption, SDBS absorption by nylon fabrics were measured The results were as follows; 1. Nylon fabrics washed with SDBS absorbed more DSDMAC than unwashed fabrics. The more SDBS absorbed by nylon fabrics, the more DSDMAC absorbed. This is account for the increase in negative zeta potential of washed nylon fabrics. 2. Absorption of SDBS by nylon fabrics increased static electricity. Absorption of DSBMAC by washed and unwashed nylon fabrics greatyl decreased static electricity, and static electricity of washed nylon fabrics more decreased than that of unwashed nylon fabrics. 3. When washing cycles were under 20, DSDMAC absorption decreased fabric stiffness. As washing cycles were over 20, DSDMAC deposited as particles acted as points of weak adhesion between adjacent fibers, so increased the fabric stiffness.
Dust in the fabric production sites is increased by the static electricity in air which is generated in the manufacturing process. The static electricity is shown in inverse proportion to humidity of the production sites. The optimum humidity rate for the filament in the production process has been established as 65~75%. Where as, average humidity rate of production site is estimated as 40%. Therefore, it is necessary to raise the humidity rate by 30% to maintain appropriate humidity to control generation of static electricity and dust in the production sites. In this study, a new air-jet water sprayer was developed and it can produce $10{\mu}m$ sprayed particles. When the air-jet water sprayer was operated on the production site dust generation rate was shown far below the environmental standard. It is assumed that when the air jet sprayers was applied to 1,000 fabric machines of 5 gloves making plants, its productivity and rates of operation will be improved by value of about 2.5 billion Won a year.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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