A spin coater is a machine to coat wafer or LCD display with thin film. Vibration in the spin coater may be one of main troubles in the coating process. In this paper, we focus on the difference between two spin coaters. Vibration sources are identified by experimental approach and are compared to find the difference between the two spin coaters. Also, the particle concentration is observed by laser particle counter (LPC) for the two spin coaters, when the spin coaxers are working. It is also considered whether the defect rate is proportional to the particle concentration. The result shows that particle generation in the coating process is related to excessive vibration of the spin coater shaft and the particles influence the defect rate of the thin film product.
In this paper, we develope a dispersion model based on the Generalized Langevin Model. Thomson's well-mixed condition is the well known criterion to determine particle dispersion. But, it has 'non-uniqueness problem'. To resolve this, we adopt a turbulent model which is a new approach in this field of study. Our model was greatly simplified under the self-similarity condition, leaving model only two model constants $C_{0}$ and ${\gamma}$$_{5}$ that control the dispersion and spin which measures rotational property of the Lagrangian particle trajectory. We investigated the sign of spin as well as magnitude by using the Direct Numerical Simulation. Model calculations were performed on the neutrally stable boundary layer flow. We found that spin has weak effect on the particle dispersion but it shows the significant effect on the horizontal flux compared to the zero-spin model.
$Ni_{2-x}Zn_{x}Y$ - 고무 복합체의 ferrite 조성과 입자 크기 변화에 따른 복소투자율과 전파흡수 특성을 조사하였다. Ferrite 입자가 $1\mu\textrm{m}$ 이하인 경우에는 ferrite-고무 복합체가 단자구 거동을 하여 자연공명 현상만이 관찰되었다. $Ni_{2-x}Zn_{x}Y$ - 고무 복합체의 제 1정합주파수는 Zn 함량이 증가함에 따라서 저주파 대역으로 이동하였으며, 자연공명 주파수와 비례함을 알 수 있었다. 반면에 제 2정합주파수는 자연공명 주파수에 비례하지 않음을 확인하였다. 또한 복합 ferrite 전파흡 수체의 전파흡수 현상은 자벽공명보다는 자연공명에 크게 영향을 받음을 확인하였다.
The use of magnetoresistive (MR) head requires much tighter control of particle contamination in a drive since loose particles on the disk surface will generate thermal asperities (TA). In this study, a spinoff test was performed to investigate the adhesion and removal capability of a particle to disk surface. Numerical simulation was also performed to investigate dominant factor of particle detachment and to support experimental results. It was shown that particles are detached from the disk surface by the moment derived from the centrifugal force and the drag force and that the centrifugal force and capillary force are the dominant force, which determines spin-off of a particle on the disk surface. Removal of particles smaller than several micrometers, which are the main source of TA generation, is extremely difficult since the adhesion forces exceed the centrifugal force. Lubricant types and manufacturing process also influence the particle removal. Lower bonding ratio and lower viscosity of the lubricant will help to increase the removal rate of the particles from the disk surface.
양자얽힘 상태를 만들어내는 것은 매우 중요하다. 근거리에 있는 두 계를 양자얽힘 상태로 만드는 것은 그리 어렵지 않으나 직접 상호작용이 불가능 할 정도로 멀리 떨어져서 고정되어 있는 계들을 양자적으로 얽히게 하는 것은 어려운 문제 중의 하나다. 본 논문에서는 먼 거리에 떨어져있는 스핀-1/2입자들 사이에 양자얽힘 상태를 직접적인 상호작용이 아니라 제 삼의 스핀-l/2를 이용하여 생성할 수 있다는 것을 보였다. 상호작용으로는 $F\"{o}rster$ 상호작용과 스핀-스핀 교환 상호작용을 사용하였다.
We have investigated the effects of post annealing on iron oxide nanoparticles synthesized by the novel hydrothermal synthesis method with the $FeSO_4{\cdot}7H_2O$. To investigate the post annealing effect, the as-synthesized iron oxide nanoparticles were annealed at different temperatures in a vacuum chamber. The morphological, structural and magnetic properties of the iron oxide nanoparticles were investigated with high resolution X-ray powder diffraction (XRD), high resolution transmission electron microscopy (HRTEM), Mossbauer spectroscopy, and vibrating sample magnetometer analysis. According to the XRD and HRTEM analysis results, as-synthesized iron oxide nanoparticles were only magnetite ($Fe_3O_4$) phase with face-centered cubic structure but post annealed iron oxide nanoparticles at $700^{\circ}C$ were mainly magnetite phase with trivial maghemite ($\gamma-Fe_2O_3$) phase which was induced in the post annealing treatment. The crystallinity of the iron oxide nanoparticles is enhanced by the post annealing treatment. The particle size of the as-synthesized iron oxide nanoparticles was about 5 nm and the particle shape was almost spherical. But the particle size of the post annealed iron oxide nanoparticles at $700^{\circ}C$ was around 25 nm and the particle shape was spherical and irregular. The as-synthesized iron oxide nanoparticles showed superparamagnetic behavior, but post annealed iron oxide nanoparticles at $700^{\circ}C$ did not show superparamagnetic behavior due to the increase of particle size by post annealing treatment. The saturation of magnetization of the as-synthesized nanoparticles, post annealed nanoparticles at $500^{\circ}C$, and post annealed nanoparticles at $700^{\circ}C$ was found to be 3.7 emu/g, 6.1 emu/g, and 7.5 emu/g, respectively. The much smaller saturation magnetization value than one of bulk magnetite can be attributed to spin disorder and/or spin canting, spin pinning at the nanoparticle surface.
$\alpha$-F $e_2$$O_3$, 나노 입자를 균일한 크기로 제조하여 Morin 전이 온도( $T_{M}$)를 전 후로 스핀의 변화에 관하여 연구하였다. X-선 회절 분석과 입도분포 측정을 통하여 입자는 80nm정도의 매우 군일한 크기 분포를 하고 있음을 확인하였다. Mossbauer 분광기를 통하여 4.2K에서부터 실내온도까지 여러 온도 범위에 걸쳐 측정한 결과 입자의 크기에 따라 $T_{M}$온도가 변화되었고 스핀의 상태 역시 달라졌다. $T_{M}$은 $b_{ulk}$상태에서 265 K의 값을 가지고 있으나 입자의 크기가 작아질수록 낮아지고, 임계 크기 이하에서는 전이가 전혀 일어나지 않는다. 80nm크기의 입자에서, 스핀의 방향은 $T_{M}$ 이상의 온도에서는 정상적으로 hexagonal구조의 c축에 90$^{\circ}$ 이루고 있으나 $T_{M}$ 이하의 온도에서는 c 축에 나란하지 않고 일정한 각(28$^{\circ}$~29$^{\circ}$)을 유지하는데, 이 방향은 rhombohedral구조의 [110]에 해당하는 것으로 지금까지 알려진 0$^{\circ}$와 90$^{\circ}$사이의 스핀 전이와는 다른 모습을 보여주고 있다.
The mechanism of the aerosol generation consists of spin-off, splash, and evaporation/condensation. Most researchers showed some theoretical model for predicting the particulate size and generation rate without cutting in turning operation. These models were based on the spin-off mechanism and verified good for modeling the process. However, in real machining, the cutting tool destructs the spin-off process, and the majority of the mist is due to splash. In this paper, we show some experimental evidence the aerosol generation mechanism should be explained with splash model as well as spin-off.
The mechanism of the aerosol generation generally consists of spin-off, splash, and evaporation/condensation. Most researchers showed some theoretical model for predicting the particulate size and generation rate without real cutting in turning operation. These models were based on the spin-off mechanism, and verified good for modeling the process. However, in real machining, the cutting tool destroys the spin-off process, and the majority of the mist is due to splash. In this paper, we show some experimental evidence that the aerosol generation mechanism in real machining should be explained with splash model as well as spin-off.
Effect of a particle's spin is investigated numerically by considering the effect of lift occurring due to difference of rotations of a particle and of fluid such as the Saffman lift and Magnus force. These lift forces have been neglected in many previous works on particle-laden turbulence. The trajectory of particles can be changed by the lift forces, resulting in significant modification of the stochastic characteristics of heavy particles. Probability density functions and autocorrelations are examined of velocity, acceleration of solid particle and acceleration of fluid at the position of solid particle. Changes in velocity statistics are negligible but statistics related with acceleration are a little bit changed by particle's rotation. When a laden particle encounters with coherent structures during the motion, the particle's rotation might significantly affects the motion due to intermittently large fluid acceleration near coherent structures.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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