반응성 스퍼터링법으로 제조된 $TiO_2$ 박막의 구조적 및 광학적 특성
(Structural and optical properties of $TiO_2$ thin film fabricated by reactive sputtering)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2006년도 하계학술대회 논문집 Vol.7
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- pp.398-399
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- 2006