• 제목/요약/키워드: situ measurement

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MEMS 박막의 푸와송 비 측정을 위한 미소굽힘기법 (Nano-bending method for the measurement of the Poisson's ratio of MEMS thin films)

  • 김종훈;김정길;연순창;전윤광;한준희;이호영;김용협
    • 한국항공우주학회지
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    • 제31권2호
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    • pp.57-62
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    • 2003
  • MEMS(미소전기기계시스템) 박막의 푸와송비 측정을 위한 미소굽힙기법이 제안되었다. 푸와송비 측정에 민감한 쌍원시편(두 개의 원모양)을 설계하고 표면미세가공 공정을 사용하여 제작하였다. 미소압입기로 하중을 가한 쌍원시편의 하중-변위 곡선을 분석하여 푸와송비를 측정할 수 있었다. 제안도니 미소굽힘기법은 표면미세가공에 적합하여 소자제작과정에서의 동시측정이 가능하고(in-situ measurement), 소자가 위치해 있는 작은 영영에서의 물성을 국부적으로 측정할 수 있는 장점이 있다. 제안된 기법을 검증하기 위하여 저압화학기상증착법에 의하여 증착된 2.3㎛ 다결정실리콘(Poly-silicon)의 푸와송비를 측정하였다. 실험에 사용된 다결정실리콘막의 푸와송비는 0.2569 이고 쌍원시편의 강성에 대한 측정표준편차는 2.66% 이었다.

SAR와 현장관측에 의한 황해 어청도 주변 해역에서의 내부파 특성 (The Characteristics of Internal Waves Observed by SAR and in-situ Measurement Data Near Ocheong-Do in the Yellow Sea)

  • 김태림;최현용
    • 한국해양학회지:바다
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    • 제8권2호
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    • pp.132-137
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    • 2003
  • 서해 중부 연안에서의 내부파 관측을 위하여 현장 관측과 인공위성의 SAR(Synthetic Aperture Radar)센서를 이용한 관측을 함께 수행하였다. 2002년 5월 28일부터 30일까지 어청도 서쪽 10 km해상에서 thermistor chain, RCM 및 ADCP 유속계를 계류하여 관측하였으며 주변해역에 대한 CTD 관측도 수행하였다. 또한 29일 오전 6시 53분 SAR 영상을 획득하였다. 현장관측 결과 계류 지점을 통과하는 여러 개의 내부파가 관측되었고 SAR 영상에서도 관측지점 주변에서 다수의 내부파 군의 공간적인 분포를 확인할 수 있었다. SAR영상에서 관측된 내부파의 공간적인 특성과 현장 관측에서 계산된 시간적인 특성에 K-dv(Korteweg and de Vries)방정식을 적용하며 서해 중부 연안에서 발생한 내부파의 특성을 분석하였다. 이러한 내부파는 물리적으로, 군사적으로, 그리고 해양생물학적으로 매우 중요한 현상이며 서해의 중요한 여름철 특성으로 고려되어야 할 것이다.

초청정한 Si 기판 위에서 Ti의 초기 반응 (Initial Reactions of Ti on the Atomically Clean Si Substrates)

  • 전형탁
    • 분석과학
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    • 제5권3호
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    • pp.303-308
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    • 1992
  • Ti과 Si의 초기 반응이 Titanium Silicide의 표면 거칠기 (Surface roughness)를 고찰하기 위해 연구하였다. 형성기구는 In-situ AES와 LEED의 측정장비로 연구하였다. Ti의 하나나 두 원자층이 초고진공에서 원자적으로 깨끗한 Si 기판 위에 증착되었다. Reconstruction이 된 $7{\times}7$ Si(111) 표면이 초 고진공하에서 얻어졌으며 박막의 증착은 Quartz Crystal Oscillator로 측정되었다. In-situ 측정 결과 Ti과 Si의 초기 반응이 실온에서 일어났으며 Disorder막을 형성하였다. 낮은 온도($200^{\circ}C{\sim}300^{\circ}C$)에서 Ti과 Si의 Intermixing이 고찰되었고 $400^{\circ}C$ 근처에서 $1{\times}1$ Si(111) LEED 패턴이 관찰되었다. 이것은 Disorder막이 Order막으로 변화가 생긴 것을 나타낸다. 더 높은 온도에서 $7{\times}7$ Si(111) LEED 패턴이 재관찰되었는데 이것은 3차원적인 $TiSi_2$의 형성을 증명하는 것이다.

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레이저를 이용한 방전 플라즈마중의 전계측정 기술 동향 (Technical tendency of electric field measurements in glow discharge plasmas using laser spectroscopy)

  • 최영욱;;촌강극기
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 1997년도 하계학술대회 논문집 E
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    • pp.1663-1665
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    • 1997
  • Direct measurements of electric fields in a glow discharge are difficult because the measurement method should be sensitive to the electric field and non-intrusive. Laser spectroscopy is very suitable in that it is non-intrusive and allow in-situ measurements to be made. In this report, the measurement techniques of electric fields in glow discharge using laser spectroscopy were described.

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부분절단법에 의한 콘크리트 구조물의 지속응력 측정에 관한 연구 (Sustained Stress Measurement on Concrete Structures By a Partial Sectioning Method)

  • 민호기;박대성;김우
    • 한국콘크리트학회:학술대회논문집
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    • 한국콘크리트학회 1998년도 가을 학술발표대회 논문집(III)
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    • pp.749-754
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    • 1998
  • This study describes a practical method for the measurement of sustained stress in concrete structures. In most cases, the sustained stress was determined by various theoretical calculation. However, the theoretical calculation can not always provide a sufficient information on the current stress state due to lots of uncertainty. Therefore, the present study proposes a practical in situ measuring method, Partial Sectioning Method

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MonteCarlo 코드를 이용한 PWR 일차 계통 선원항 평가에 관한 연구 (A Study on the Assessment of Source-term for PWR Primary System Using MonteCarlo Code)

  • 송종순;이상헌;신승수
    • 방사성폐기물학회지
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    • 제16권3호
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    • pp.331-337
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    • 2018
  • 원전 해체는 일반적으로 5단계로 준비, 제염, 절단 및 철거, 폐기물 처리, 환경 복원으로 진행된다. 효율적인 원전 해체를 위해서는 작업자의 안전, 비용 대비 효과, 폐기물 최소화, 재사용 가능성 등이 고려되어야 한다. 또한, 작업자의 안전 및 측정기술이 확보되어야 원전 해체 작업의 최적 효율을 낼 수 있으며 이를 위해서는 계통 및 기기의 정확한 측정 기술이 필요하다. 원전 해체 시 현장에서 사용할 수 있는 대표적인 In-Situ 방법으로는 CZT, Gamma Camera, ISOCS 등이 있다. 본 연구에서는 대표 시료 채취 없이 원전 해체 시 현장에서 적용될 수 있는 ISOCS를 이용하여 S/G Water Chamber 지점에 대하여 측정을 수행하였다. 측정 방법은 ISOCS의 HPGe 검출기를 증기 발생기 수실 하부 중앙을 향해 위치하였으며, 이때 검출기는 주변 방사선장 감소를 위해 납 차폐체를 장착하였다. 차폐체 두께는 5 cm인 원통형 납 차폐체를 장착하였으며, 검출기 전면에는 30도 콜리메이터를 장착하여 측정을 수행하였다. 측정값에 검증을 위해 실제 측정 방법과 동일하게 Microshield를 이용하여 측정한 값과 GEANT4 코드를 이용하여 모델링 하였다. 비교 결과 $1.0{\times}10^1{\sim}1.0{\times}10^2Bq$ 정도 차이를 보였으며, 이는 측정 시 주변 방사선의 영향, 모델링의 정밀도 등으로 오차를 줄일 수 있을 것으로 보인다. 본 논문의 연구 결과를 바탕으로 측정값의 정확도 및 신뢰도를 분석하고 향후 해체 작업 시 직접 측정 방법의 적용성에 대한 신뢰도를 높이고자 한다.

제주도 고산대기중 이산화탄소의 연속관측을 통하여 이산화탄소의 배경농도 변화추이와 고산의 이산화탄소농도에 영향을 추는 오염원을 추적 (Variations of Background $CO_2$ Concentration and Estimation of Potential Source Region Contributing to Gosan through In-situ Measurement of Atmospheric $CO_2$ at Gosan)

  • 김분희;김주일;김경렬
    • 한국대기환경학회:학술대회논문집
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    • 한국대기환경학회 2007년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.265-267
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    • 2007
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