• 한국재료학회지
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• 제25권1호
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• pp.21-26
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• 2015

CMP(Chemical Mechanical Polishing) Processes have been used to improve the planarization of the wafers in the semiconductor manufacturing industry. Polishing performance of CMP Process is determined by the chemical reaction of the liquid sol containing abrasive, pressure of the head portion and rotational speed of the polishing pad. However, frictional heat generated during the CMP process causes agglomeration of the particles and the liquidity degradation, resulting in a non-uniform of surface roughness and surface scratch. To overcome this chronic problem, herein, we introduced NaCl salt as an additive into silica sol for elimination the generation of frictional heat. The added NaCl reduced the zata potential of silica sol and increased the contact surface of silica particles onto the sapphire wafer, resulting in increase of the removal rate up to 17 %. Additionally, it seems that the silica particles adsorbed on the polishing pad decreased the contact area between the sapphire water and polishing pad, which suppressed the generation of frictional heat.

• 한국결정성장학회지
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• 제31권5호
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• pp.212-217
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• 2021

Silica sol에 YAG 형광체를 첨가량별로 spin 코팅 후, 코팅막의 blue LED에서 백색광이 발현되는 정도와 표면 및 곡면 코팅용 binder로써, 적용가능성을 확인하였다. SEM, PSA를 통해YAG의 입자 크기는 D₅₀: 9~10 ㎛ 내외이며, XRD를 통해 YAG의 결정구조가 garnet(Y₃Al₅O₁₂), cubic인 것을 확인하였다. 코팅막은 crack이 없고 동시에 silica sol이YAG 형광체를 균질하게 도포된 형상을 보였으며, 첨가량 증가와 비례하게 코팅막 내에서 YAG 첨가량과 두께는 최대 40 ㎛까지 증가하는 추세를 보였다. 그리고 YAG 첨가량이 증가할수록 PL emission intensity 증가와 chromatic locus 곡선 끝 방향으로 색좌표 이동을 확인하였다. Soda-lime 유리기판 표면에 코팅 후, crack이 없으며 YAG 형광체가 균질하게 도포된 코팅성과 코팅막의 백색광 발현특성을 확인할 수 있었고 이는 직접적으로 LED에 다양한 형태의 형광 형상의 구현이 가능하다는 것을 의미한다.

• 한국지하수토양환경학회:학술대회논문집
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• 한국지하수토양환경학회 1998년도 공동 심포지엄 및 추계학술발표회
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• pp.156-161
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• 1998

As grouting materials for ground improvement, silicate materials such as water glass, silica-sol and so forth are used worldwide. However, they may pollute underground water. In this study, fish poison test(Korean standard industrial code KS M 0111) which estimates toxicity for fish is applied to evaluate the toxic effect by grouting materials. From the test result of the sample made of LW, LC50(Median Lethal Concentration) reaches within 24 hours. In case of the silica-sol, it does not even in 96 hours. Therefore, we can conclude that the sililca-sol grouting method is more free from the danger of underground water pollution. From the result that the mortality of fish under the condition of pH 8.6 is 0% within 96 hours, the groundwater can be saved by controlling pH below 8.6 for the grouting in the field.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2006년도 하계학술대회 논문집 Vol.7
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• pp.214-215
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• 2006

Colloidal Silica(CS)와 유기수지를 혼합하여 서로의 단점을 보완하는 나노복합재료를 합성하기 위해 친수성인 CS를 유기실란으로 표면처리하여 소수성화하고 유기수지와 복합체를 제조하였다. CS표면의 -OH기와 실란의 -OH기가 축합반응하여 화학결합을 형성함으로서 CS의 표면은 실란의 $CH_3$에 의해 소수성화되어 CS sol이 제조된다. CS sol과 유기수지는 공동용매에 의해 균일한 분산이 가능하고 필름 및 코팅제로의 제조가 가능하다. 사용된 무기물은 40nm 의 크기를 가지므로 가시광선영역의 빛을 산란하지 않아 투명하고 사용된 수지 또한 투명하여 우수한 광학적 특성을 나타낸다. 만들어진 필름은 CS의 영향으로 유기수지의 내열성보다 향상된 열분해온도와 높은 접촉각, 높은 절연율을 보였다.

• 한국재료학회지
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• 제16권10호
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• pp.599-605
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• 2006

N-(3-triethoxysilylpropyl)-1,4-diaminoanthrquinone-2,3-dicarboximide (TESP-DADI), an organic blue pigment, has been prepared and incorporated into silica solid matrix reacting triethyl orthosilicate (TEOS) via sol-gel method. Morphology and microstructure of resulting hybrid pigment were studied employing SEM and TEM. The micrographs and particle size distributions showed that uniform pigment can be obtained employing TEOS-based sol-gel method forming silica core. Particle size distribution of dispersed pigment in water was examined using the technique of dynamic light scattering. The ensuing pigment dispersion ink was subjected to various physicochemical evaluation such as viscosity, surface tension, inkjet stability, storage stability, and color change as inkjet ink using spectrophotometric, and microscopic techniques.

• Transactions on Electrical and Electronic Materials
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• 제16권1호
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• pp.5-9
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• 2015

Optical and electrical properties were studied for Antimony doped tin oxide thin films from precursors containing 10, 30, 50, and 70 atom% of Sb deposited on bare sodalime silica, barrier layer coated sodalime silica, and pure silica glass substrates by sol-gel spinning technique. The direct band gaps were found to vary from 3.13~4.12 eV when measured in the hv range of 2.5~5.0 eV, and varied from 4.22~5.08 eV when measured in the range of 4.0~7.0 eV. Indirect band gap values were in the range of 2.35~3.11 eV. Blue shift of band gap with respect to bulk band gap and Moss-Burstein shift were observed. Physical thickness of the films decreased with the increase in % Sb. Resistivity of the films deposited on SLS substrate was in the order of $10^{-2}$ ohm cm. Sheet resistance of the films deposited on barrier layer coated soda lime silica glass substrate was found to be relatively less.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2007년도 하계학술대회 논문집 Vol.8
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• pp.553-554
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• 2007

By sol-gel method, we have fabricated silica-titania hybrid film using silane treated colloidal $TiO_2$ and characterized the film through FT-IR, TGA, UV-VIS and AFM. The silica-titania hybrid film showed Ti-O-Si chemical bond at FT-IR peak of $910{\sim}940cm^{-1}$. The fabricated hybrid film showed thermal stability of around $350^{\circ}C$(5wt% loss temperature) and transparency more than 90%. In addition, the good surface smoothness was confirmed by AFM. Therefore, the silica-titania hybrid film with outstanding properties can be potential for application in electronics and displays.

• 청정기술
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• 제16권2호
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• pp.140-144
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• 2010

리튬이온전지의 음극활물질로서 titania-silica 혼합물을 얻기 위해 TiCl4와 TEOS를 전구체로 사용하여 졸-겔법을 이용해 합성하였다. 졸-겔법을 이용하여 혼합물을 합성할 경우에 균일한 분포를 갖는 화합물을 제조할 수 있다. 마이크로파를 이용하여 혼합물을 열처리하여 새로운 물성을 갖는 화합물의 제조를 시도하였다. 합성한 화합물의 물성을 측정하기 위하여 화합물의 조성, 열처리 온도 및 마이크로파 처리등을 실험변수로 사용하였다. 특성 분석방법으로는 합성물질의 구조적 특성과 입자의 표면분석을 하기 위해 XRD(X-ray diffraction)와 SEM (scanning electron microscopy)과 전지 충 방전기를 사용하여 충 방전에 따르는 전지의 용량변화를 관찰하였다.

• 한국유변학회:학술대회논문집
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• 한국유변학회 2001년도 Australian-Korean Rheology Conference 2001
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• pp.156.6-157
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• 2001

(No abstract, see full-text)

• Bulletin of the Korean Chemical Society
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• 제28권2호
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• pp.339-342
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• 2007