• 제목/요약/키워드: silica powder

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계면활성제가 반도체 실리콘 CMP용 슬러리의 분산안정성에 미치는 영향 (Effect of Surfactant on the Dispersion Stability of Slurry for Semiconductor Silicon CMP)

  • 윤혜원;김도연;한도형;김동완;김우병
    • 한국분말재료학회지
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    • 제25권5호
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    • pp.395-401
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    • 2018
  • The improvement of dispersion stability for the primary polishing slurry in a CMP process is achieved to prevent defects produced by agglomeration of the slurry. The dispersion properties are analyzed according to the physical characteristics of each silica sol sample. Further, the difference in the dispersion stability is confirmed as the surfactant content. The dispersibility results measured by Zeta potential suggest that the dispersion properties depend on the content and size of the abrasive in the primary polishing slurry. Moreover, the optimum ratio for high dispersion stability is confirmed as the addition content of the surfactant. Based on the aforementioned results, the long-term stability of each slurry is analyzed. Turbiscan analysis demonstrates that the agglomeration occurs depending on the increasing amount of surfactant. As a result, we demonstrate that the increased particle size and the decreased content of silica improve the dispersion stability and long-term stability.

세륨 옥사이드/실리카 복합입자 제조 및 특성분석 (Preparation and Characterization of Cerium Oxide/Silica Composite Particles)

  • 고서은;심종원;진병석
    • 공업화학
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    • 제29권4호
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    • pp.425-431
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    • 2018
  • UV 및 블루라이트를 차단하는 세륨 옥사이드 나노 입자와 다공성 실리카와의 복합입자를 건식 코팅 공정을 통해 제조하였다. 실리카와 세륨 옥사이드 간 혼합 비율과 메카노 퓨전 장치의 챔버 회전속도 등의 제조 조건을 달리하여 여러 복합입자를 만든 후, 입자 표면 형태를 SEM으로 관측 비교하고 XRF을 통해 복합입자의 조성을 분석하였다. 세륨 옥사이드를 실리카와 함께 복합입자로 만들어 물에 분산시키면 현탁 용액의 투명도가 높아지고 분산 안정성이 향상되었다. 또한 파우더의 유동성과 발림성이 개선되었다. 본 연구를 통해 세륨 옥사이드/실리카 복합입자가 자외선 및 블루라이트를 차단하는 기능성 화장품 소재로 사용 가능함을 확인하였다.

폐(廢)실리콘슬러지로부터 TMOS 및 실리카 나노분말(粉末) 제조(製造) (Synthesis of Tetramethylorthosilicate (TMOS) and Silica Nanopowder from the Waste Silicon Sludge)

  • 장희동;장한권;조국;길대섭
    • 자원리싸이클링
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    • 제16권5호
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    • pp.41-45
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    • 2007
  • 폐실리콘 슬러지로부터 테트라메틸오쏘실리케이트(TMOS)와 실리카 나노분말을 제조하였다. 먼저, 실리카 나노분말의 전구체인 TMOS를 폐실리콘 슬러지로부터 촉매 화학반응에 의해 합성하였다. TMOS의 합성실험에서 반응온도가 $130^{\circ}C$ 이상에서는 반응시간이 5시간 경과 시 반응온도에 무관하게 100%의 반응율을 나타내었다. 그러나 $150^{\circ}C$ 이상에서는 초기 반응속도가 빨라졌다. 메탄올 주입속도를 0.8 ml/min에서 1.4 ml/min로 증가시에는 3시간 경과 후에는 반응율이 변화하지 않았다. 이와 같이 합성된 TMOS로부터 화염분무열분해법에 의해 실리카 나노분말을 제조하였다. 제조된 실리카 나노분말은 구형이며, 무응집 형태이었다. 평균입자 크기는 전구체의 주입속도 및 농도변화에 따라 9 nm에서 30 nm로 변화하였다.

EVA 개질 고강도 콘크리트의 강도 및 수밀 특성 (Strength and Watertightness Properties of EVA Modified High Strength Concrete)

  • 김영익;성찬용
    • 한국농공학회논문집
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    • 제49권1호
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    • pp.45-54
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    • 2007
  • This study was performed to evaluate strength and watertightness properties of EVA modified high strength concrete in order to improve durability of concrete used in agricultural water utilization facilities that are in constant contact with water. Materials used were cement, coarse and fine aggregates, silica fume, EVA and AE water reducing agent. Tests for the slump, compressive and flexural strengths, absorption ratio and permeability coefficient according to curing condition (water and water+dry curing) and content ratio of EVA were performed. The slump results of EVA modified high strength concrete similarly showed in the content ratio of EVA powder less than 4% and decreased in the content ratio of EVA powder more than 6% compared to that of concrete without EVA powder. The compressive strength of EVA modified high strength concrete decreased with increasing the content ratio of EVA powder. The flexural strength of EVA modified high strength concrete increased with increasing the content ratio of EVA powder in the content ratio of EVA powder ratio less than 4% and had similar or slightly decreased in the content ratio of EVA powder more than 6% compared to that of concrete without EVA powder. The absorption ratio and permeability coefficient of EVA modified high strength concrete decreased with increasing the content ratio of EVA powder in the content ratio of EVA powder less than 4% and slightly increased in the content ratio of EVA powder more than 6%.

연소 합성 공정을 이용한 Mullite의 합성 (A Study on the Synthesis of Mullite by Combustion Synthesis Process)

  • 이강현;이채현;김택남;김종옥;임대영;박원규
    • 공학논문집
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    • 제2권1호
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    • pp.133-138
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    • 1997
  • Mullite 분말을 합성하는 제조공정에서 기존의 분말합성법은 $1300^{\circ}C$이상의 높은 온도와 긴 반응시간과 cost 면에서 비싸다는 문제점을 안고 있다. 따라서 본 연구에서는 비교적 제조공정이 간단하고 짧은 반응시간내에 낮은 온도에서 미립의 산화물계 분말을 합성할 수 있는 연소 합성법으로 mullite 분말을 합성하였다. 금속의 질산염, 미립의 $SiO_2$분말과 연료를 적정 mole비로 혼합하여 공정변수에 따라 mullite를 합성하고, 그의 물성을 조사하였다. Hot plate에서의 실험은 연료의 양에 관계없이 mullite는 합성되지 않았다. 그러나, $500^{\circ}C$ 열처리로 실험에서는 mullite와 약간의 alumina, cristobalite가 보였고, 특히 aluminum nitrate, silica, urea 각각의 조성이 화학양론비였을 때 거의 완벽한 mullite를 얻을 수 있었다.

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SiO2가 코팅된 α-FeOOH와 β-FeOOH의 상전이를 통한 SiO2가 코팅된 α-Fe2O3의 색상 연구 (Color Evolution and Phase Transformation of α-FeOOH@SiO2 and β-FeOOH@SiO2 pigments)

  • 유리;최균;피재환;김유진
    • 한국분말재료학회지
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    • 제20권3호
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    • pp.210-214
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    • 2013
  • This manuscript reports on compared color evolution about phase transformation of ${\alpha}-FeOOH@SiO_2$ and ${\beta}-FeOOH@SiO_2$ pigments. Prepared ${\alpha}$-FeOOH and ${\beta}$-FeOOH were coated with silica for enhancing thermal properties and coloration of both samples. To study phase and color of ${\alpha}$-FeOOH and ${\beta}$-FeOOH, we prepared nano sized iron oxide hydroxide pigments which were coated with $SiO_2$ using tetraethylorthosilicate and cetyltrimethyl-ammonium bromide as a surface modifier. The silica-coated both samples were calcined at high temperatures (300, 700 and $1000^{\circ}C$) and characterized by scanning electron microscopy, CIE $L^*a^*b^*$ color parameter measurements, transmission electron microscopy and UV-vis spectroscopy. The yellow ${\alpha}$-FeOOH and ${\beta}$-FeOOH was transformed to ${\alpha}-Fe_2O_3$ with red, brown at 300, $700^{\circ}C$, respectively.

탄소에어로젤 복합전극의 전기용량적 탈이온 공정 특성 (Characteristics of Capacitive Deionization Process using Carbon Aerogel Composite Electrodes)

  • 이기택;조원일;조병원
    • 전기화학회지
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    • 제8권2호
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    • pp.77-81
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    • 2005
  • 전기화학적으로 이온을 흡착시켜 이온을 제거하는 capacitive deionization(CDI)공정용 전극으로 탄소에어로젤에 실리카젤이 첨가된 다공성 탄소에어로젤 복합전극을 사용하여 1,000ppm NaCl수용액에서 탈염 특성에 대한 충전과 방전시 시간에 따른 전류 변화, CDI효율을 조사하였다. Paste rolling법으로 제조된 $10\times10cm^2$다공성 탄소에어로젤 복합전극은 촉매 분야에서 활용되고 있는 다공성 지지체인 실리카젤을 첨가함으로써 CDI 반응진행에 대한 전극활물질 탈락이 없이 전극의 성형성이 크게 향상되었고, 친수성과 전극의 기계적 강도 증가 및 CDI 효율을 증가시킬 수 있었다. 이러한 45개의 전극을 하나의 묶음으로 네 개의 단을 직렬연결 하여, CDI 시스템을 구성하였고 충전 시에는 1.2V, 방전 시에는 0.001V를 각각 10분간 인가하여 실험한 결과 $99\%$ 이상의 CDI 효율을 달성하였다.

Kaolin-Al 혼합물의 고온 Mullite 화 반응 (High Temperature Mullitization of Kaolin-Al Mixture)

  • 박정현;박찬욱;배원태
    • 한국세라믹학회지
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    • 제21권4호
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    • pp.327-332
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    • 1984
  • Proper amount of $Al_2O_3$ must be added to increase the yield of mullite which is formed from free silica decomposed from kaolin. The previous study has suggested that Al powder may be a good $Al_2O_3$ supply source at 1400~150$0^{\circ}C$. In this study the application of Al powder is discussed about its mullitization behavior in the higher temperature range of 1500~175$0^{\circ}C$ the results of which compared with those obtained from the reactive $Al_2O_3$ and activated $Al_2O_3$. The oxdation and reaction stages of Al powder were analyzed by DTA crystal growth andmorphology of the mullite were observed by SEM and the yields of the mullite were compared according to their solubilities in HF solution.

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파인 물라이트 소결체에 대한 연구(II) (Studies on the Fine Sintered Mullite(II))

  • 김경용;김윤호;강선모;김병호;김석수
    • 한국세라믹학회지
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    • 제26권5호
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    • pp.631-636
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    • 1989
  • Submicron high-purity mullite powder was prepared by a colloidal sol-gel route. Boehmite and silica were the starting materials. 2wt% $\alpha$-Al2O3 or ZrO2 was used as a seeding material. The gelled powder was calcined at 130$0^{\circ}C$ for 100min and attrition milled for 3hrs. The mullite powder obtained was composed of submicrometer and uniform particles with a narrow size distribution. It was hot-pressed at 1$600^{\circ}C$ for 1hr under 10MPa or was sintered at 1$650^{\circ}C$ for 4hrs. The bulk densities of the products made by both processes were 3.14 and 3.12g/㎤. the mechanical, thermal and electrical properties of the sintered mullite were characterized by bending strength, thermal expansion coefficient, thermal conductivity, dielectric constant and dielectric loss, etc.

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제올라이트 LSX에서의 CFC-13 분자체 흡착에 관한 결정학적 연구 (Synchrotron X-ray Powder Diffraction Study of CFC-13 Loaded Zeolite LSX)

  • 이용재;이종원;윤지호
    • 한국광물학회지
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    • 제21권3호
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    • pp.307-312
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    • 2008
  • 리트벨트 분석법과 저온에서 측정한 방사광 가속기 분말회절 자료를 이용하여 CFC-13 ($CF_{3}Cl;$ chlorotrifluoromethane) 분자체가 흡착된 제올라이트 Na,K-LSX (low-silica X or synthetic faujasite)의 구조분석을 수행하였으며, supercage 내의 6-ring주변에 CFC-13 분자체의 불소 원자와 LSX 제올라이트의 나트륨 양이온 간의 결합이 일어남을 확인하였다.