• 제목/요약/키워드: semiconductor equipment

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메모리 반도체 검사 장비 인터페이스를 위한 크로스플랫폼 소프트웨어 기술 (CTIS: Cross-platform Tester Interface Software for Memory Semiconductor)

  • 김동수;강동현;이은석;이규성;엄영익
    • 정보과학회 컴퓨팅의 실제 논문지
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    • 제21권10호
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    • pp.645-650
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    • 2015
  • 메모리 반도체 패키지 검사 공정에서 TIS(Tester Interface Software)는 디바이스가 검사 장비에 투입 될 때부터 배출될 때까지 검사 장비가 디바이스 검사를 진행하는데 필요한 모든 소프트웨어 기능을 제공한다. 하지만, 공정에서 사용되는 장비와 장비를 제어하기 위한 컴퓨터 및 운영체제의 종류가 다양하여 동일한 기능을 수행해야 하는 TIS가 테스터 장비마다 독립적으로 개발 및 운영되고 있다. 이는 많은 시간과 비용을 요구할 뿐만 아니라 소프트웨어의 품질에도 많은 영향을 미치고 있으며, 이러한 문제는 추가되는 장비의 종류가 증가할수록 심화될 것이다. 본 논문에서는 이러한 문제를 해결하기 위해 이종 장비와 운영체제에 적용 가능한 CTIS(Cross-platform Tester Interface Software)을 제안한다.

리소그라피 장비 마스크 홀더부의 경량화를 위한 최적 설계

  • 정준영;이우영;강흥석
    • 한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집
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    • 한국반도체및디스플레이장비학회 2007년도 춘계학술대회
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    • pp.139-143
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    • 2007
  • The need for technological developments of lithography equipment is urgent for the stable production in response to the rapid growth of the recent display industry. As an example, the products currently in the market face alteration problems resulting from excessive weight of the mask holder part. This is one of obstacle for the automation of the equipment. In response, the mask holder part problem has been minimized through FEM and design of experiments in order to optimize the situation with minimized Deflection and reduced mass for satisfactory replacement of the mask holder part.

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인라인 EFEM 클러스터 장비 아키텍처의 모델링 및 분석 사례 연구 (A Case Study for Modeling and Simulation Analysis of the In-Line EFEM Cluster Tool Architecture)

  • 한용희
    • 한국시뮬레이션학회논문지
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    • 제21권2호
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    • pp.41-50
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    • 2012
  • 본 연구에서는 반도체 제조공정 및 클러스터 장비에 대한 상세히 설명하고 현 팹 레이아웃 및 클러스터 장비 아키텍처상의 문제점을 제시하였다. 또한 현 아키텍처상의 대안으로서 클러스터 장비간의 웨이퍼 이동이 상호 연결된 인라인 EFEM(Equipment Front End Module) 을 통해 이루어지는 ILE (In-Line EFEM) 아키텍처의 개념을 제시하였다. 마지막으로 해당 아키텍처를 실제 적용하여 구현된 파일럿 시스템을 시뮬레이션 을 통해 사이클 타임 관점에서 비교 분석하였다.

LCD 제조용 노광기에 사용되는 리니어 모터의 냉각조건에 대한 연구 (A Study on Cooling Conditions of a Linear Motor used in an Exposer for the Manufacturing LCD)

  • 양홍천;이영남;김광선
    • 반도체디스플레이기술학회지
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    • 제11권4호
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    • pp.31-36
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    • 2012
  • The high thrust of the linear motor in the exposer generates the high temperature heat by the friction and the electromagnetic forces on its coil. It can cause the thermal deformation and the accuracy of the equipment is finally decreased which has a bad effect on the productivity. In this research, the heat and flow on the linear motor of the exposer has been analyzed. The existing equipment is non-contact fluid refrigerant type. The numerical analysis data of the existing equipment have been acquired and the reliability of the data has been verified. The revised modeling for the next-generation is suggested for cooling the exposer effectively.

실험적 방법을 이용한 TFT-LCD 정밀 검사 장비의 진동 허용 규제치 평가 및 진동 저감 대책

  • 이홍기;박상곤;전종균;손성완
    • 한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집
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    • 한국반도체및디스플레이장비학회 2005년도 추계 학술대회
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    • pp.49-54
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    • 2005
  • In the case of a sensitive equipment, it require a vibration free environment to provide its proper function. Especially, lithography and inspection device, which have sub-nanometer class high accuracy and resolution, have come to necessity for producing more improved Giga Class semi conductor wafers. The aim of this study is to evaluate the allowable vibration response of a precision inspect ion equipment, which has some trouble in field, by using experimental measurement data and to proposal a proper ant i-vibration method.

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라미네이터장비의 부품 치수공차가 가압력 균일도에 미치는 영향에 대한 실험적 분석 (Experimental Analysis for the Effect of Part's Dimensional Tolerance on the Pressing Pressure Uniformity of Laminator Equipment)

  • 유선중
    • 반도체디스플레이기술학회지
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    • 제16권4호
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    • pp.52-58
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    • 2017
  • In this study, we tried to analyze and measure the correlation between the part dimensional tolerance empirically applied by the designer and the final performance of the equipment, which is expressed as the pressing pressure uniformity. For this purpose, the dimensional tolerances and pressing pressure uniformity of eight laminator equipments were measured actually. As a result of the correlation analysis, it was confirmed that the tolerance grade for each dimension determined by the designer was valid. In the case of laminator equipment, the driving parts and the flatness have the largest influence on the uniformity of the pressing pressure.

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나노 다이아몬드 코팅박막의 기계적 특성 평가를 위한 계측시스템의 개발 (Development of the Measurement System for Evaluating Mechanical Properties of Nano-diamond Coated Film)

  • 권현규;이소진;권용민
    • 반도체디스플레이기술학회지
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    • 제18권1호
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    • pp.25-31
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    • 2019
  • In this study, a new adhesion evaluating equipment and data processing methods were developed to overcome some limitations of existing evaluating equipment. Nano-diamond coated tool is a specimen of experiment. When applying frictional force and shear force on the specimen by a rotating polishing pad, delamination occurs at a moment. During each experiment, the vibration, load, and torque is obtained by accelerometer, loadcell and torque s+ kpensor. Frictional force and coefficient of friction are obtained by calculating torque and load. Based on FFT transformation, acceleration is processed and analyzed. As a result, the moment of delamination and the load at that time can be detected by the new developed equipment and measurement system. Finally, we call this load as an Adhesion force.

A Disposable BioChip for Single Cell Manipulation

  • Yoon, Euisik
    • 한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집
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    • 한국반도체및디스플레이장비학회 2004년도 International Symposium
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    • pp.1-15
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    • 2004
  • o Various microfluidic components including mixromixers and micropumps have been developed for disposable biochip applications. o Single cell capturing, positioning and nanoliter drug injection chip has been demostrated. o Multi-channel, two-dimensional micro-well array has been fabricated and cell capturing and specific reagent injection have been performed.

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