• 제목/요약/키워드: selective area growth

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혼합소스 HVPE에 의해 성장된 In(Al)GaN 층의 특성 (Characterization of In(Al)GaN layer grown by mixed-source hydride vapor phase epitaxy)

  • 황선령;김경화;장근숙;전헌수;최원진;장지호;김홍승;양민;안형수;배종성;김석환
    • 한국결정성장학회지
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    • 제16권4호
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    • pp.157-161
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    • 2006
  • 혼합소스 HVPE(hydride vapor phase epitaxy) 방법을 이용하여 InGaN 층을 GaN 층이 성장된 사파이어 (0001) 기판 위에 성장하였다. InGaN 층을 성장하기 위해 금속 In에 Ga을 혼합하여 III족 소스로 이용하였으며 V족 소스로는 $NH_3$를 이용하였다. InGaN층은 금속 In에 Ga을 혼합한 소스와 HCl을 흘려 반응한 In-Ga 염화물이 다시 $NH_3$와 반응하도록 하여 성장하였다. XPS 측정을 통해 혼합소스 HVPE 방법으로 성장한 층이 InGaN 층임을 확인할 수 있었다. 선택 성장된 InGaN 층의 In 조성비는 PL과 CL을 통해서 분석하였다. 그 결과 In 조성비는 약 3%로 평가되었다. 또한, 4원 화합물인 InAlGaN 층을 성장하기 위해 In 금속에 Ga과 Al을 혼합하여 III족 소스로 사용하였다. 본 논문에서는 혼합소스 HVPE 방법에 의해 III족 소스물질로 금속 In에 Ga(Al)을 혼합한 소스를 이용하여 In(Al)GaN층을 성장할 수 있음을 확인할 수 있었다.

$WO_3/TiO_2$$V_2O_5/TiO_2$ 분말의 합성 및 $NO_x$ 제거 SCR특성 (Preparation of $WO_3/TiO_2$ and $V_2O_5/TiO_2$ powders and their catalytic performances in the SCR of $NO_x$)

  • 이태석;이인규;이병우;신동우
    • 한국결정성장학회지
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    • 제16권5호
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    • pp.216-221
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    • 2006
  • Anatase $TiO_2$$WO_3$$V_2O_5$ 촉매를 첨가하여 SCR(selective catalytic reduction)용 분말을 합성하였으며, 촉매 첨가가 합성분말의 미세구조, 상합성 및 SCR 촉매능에 미치는 영향에 대해 연구하였다. 촉매의 지지체로 사용된 상용 anatase-$TiO_2$에서 rutile 단일상으로의 상전이 온도는 $1200^{\circ}C$이었다. 그러나 $WO_3$를 10wt% 첨가하면 이 상전이 온도가 $900^{\circ}C$로 낮아졌으며, $V_2O_5$를 첨가(5와 10wt%)할 경우 $650^{\circ}C$ 이하로 낮아졌다. $450^{\circ}C$에서 제조된 $WO_3(10wt%)/TiO_2$, SCR 분말은 $350^{\circ}C{\sim}400^{\circ}C$에서 100%에 가까운 우수한 $NO_x$ 변환효율을 보였다. $650^{\circ}C$에서 열처리한 경우, 보다 넓은 $300{\sim}400^{\circ}C$온도영역에서 100%가까운 우수한 촉매능을 보였다. $650^{\circ}C$에서 합성된 $V_2O_5(5wt%)/TiO_2$ 촉매분말은 넓은 온도범위($250^{\circ}C{\sim}350^{\circ}C$)에 걸쳐 100%에 달하는 가장 우수한 $NO_x$ 변환효율을 보였다. $650^{\circ}C$ 합성분말의 경우 10wt%의 $V_2O_5$ 첨가는 5wt% $V_2O_5$ 첨가 때 보다 분말물성과 촉매물성이 저하되었으며, 이는 $V_2O_5$의 높은 반응성으로 인한, 촉매의 입자성장에 따른 비표면적감소 때문으로 해석된다.

국내 육성 콩 품종의 논 재배에 따른 생육반응과 수량성 (Growth and Yields of Korean Soybean Cultivars in Drained-Paddy Field)

  • 김용욱;조준형
    • 한국작물학회지
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    • 제50권3호
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    • pp.161-169
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    • 2005
  • 논 재배에 적합한 콩 품종을 선발코자 황금 콩 등 국내 육성 37개 콩 품종을 공시하여 품종간 생육반응과 수량성의 차이를 조사한 결과는 다음과 같다. 1.토양수분함량이 높은 논에서의 콩 재배 시 생육단계별 콩 품종별 주요형질의 생육반응은 매우 다양한데, 특징적인 생육반응은 초기생육이 지연되거나 지하부의 발달이 늦은 반면 지상부가 과번무하여 T/R율이 높아지는 경향이 있으며, 품종간 수량성에 있어서도 팔도콩이 134kg/10a 그리고 도레미콩이385kg/10a 차이가 매우 컸다. 2. 생육초기인 V5 stage와 개화성기인 R2 stage의 엽면적은 지상부 및 지하부 건물중과 각각 고도의 상관관계 $(r=0.46^{**}\~0.91^{**})$를 보였으며, T/R율의 경우 V5 stage에는 지하부 건물중과 부의 상관관계$(r=-0.37^*)$를 보인 반면 R2 stage에는 엽면적$(r=0.46^{**})$과 지상부 건물중$(r=0.65^{**})$과 유의성 있는 상관 관계가 성립되었다. 3. 수량성은 100립중과 상관관계를 보인 반면 등숙율 포함한 V5 및 R2 stage에서 조사된 다른 형질과는 유의성 있는 상관을 보이지 않았다. 4.농업적 주요형질의 생육반응을 기초로 군집분석 한 결과 공시품종들은 크게 3개 군으로 구분되는데,동일 군의 품종들은 생육습성 등 유전적 유사성은 높았으나 수량성은 다양하였다. 5. Group 1에는 새올콩등 9품종이 포함되는데, 생육초기부터 개화성기까지의 생육이 늦은 반면, T/R율이 낮고 등숙이 양호하여 평균 257kg/10a의 수량성을 보인다. Croup 2는 팔도콩 등 12품종이 포함되는데, 지상부의 생육이 과번무하여 T/R율이 높고 등숙이 불량하여, 평균 230kg/10a의 수량성을 보였다. Croup 3에는 진품 콩 등 16품종이 포함되는데, 대부분 중만생종이며, $V5\~R2$ stage의 생육이 왕성하고 T/R율은 비교적 낮고, 등숙울 또한 비교적 높아 평균 수량성이 270kg/10a로 가장 높았다. 6. 본 연구결과를 토대로 Group 3에 속하는 품종 또는 $301\~385kg/10a$의 높은 수량성을 보이는 신팔달콩2호, 소호콩, 도레미콩, 금강콩, 부광콩, 다장콩 및 검정콩2호 등의 품종을 선별하여 재배한다면 논의 적정 경지면적 유지에 의한 국내 쌀 수급안정 및 안정적인 콩 자급율 향상을 기대할 수 있을 것이다.

R-plane 사파이어 기판위의 GaN/InGaN 이종접합구조의 HVPE 성장 (HVPE growth of GaN/InGaN heterostructure on r-plane sapphire substrate)

  • 전헌수;황선령;김경화;장근숙;이충현;양민;안형수;김석환;장성환;이수민;박길한
    • 한국결정성장학회지
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    • 제17권1호
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    • pp.6-10
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    • 2007
  • R-plane 사파이어 위에 a-plane GaN층이 성장된 기판에 혼합소스 HVPE(mixed-source hydride vapor phase epitaxy) 방법으로 GaN/InGaN의 이종접합구조(heterostructure)를 구현하였다. GaN/InGaN 이종접합구조는 GaN, InGaN, Mg-doped GaN 층으로 구성되어 있다. 각 층의 성장온도는 GaN층은 $820^{\circ}C$, InGaN 층은 $850^{\circ}C$, Mg-doped GaN 층은 $1050^{\circ}C$에서 성장하였다. 이때의 $NH_3$와 HCl 가스의 유량은 각각 500 sccm, 10 sccm 이었다. SAG-GaN/InGaN 이종접합구조의 상온 EL (electroluminescence) 특성은 중심파장은 462 nm, 반치폭(FWHM : full width at half maximum) 은 0.67eV 이었다. 이 결과로부터 r-plane 사파이어 기판위에 multi-sliding boat system의 혼합소스 HVPE 방법으로 이종접합구조의 성장이 가능함을 확인하였다.

Successful Control of Lymphatic Filariasis in the Republic of Korea

  • Cheun, Hyeng-Il;Kong, Yoon;Cho, Shin-Hyeong;Lee, Jong-Soo;Chai, Jong-Yil;Lee, Joo-Shil;Lee, Jong-Koo;Kim, Tong-Soo
    • Parasites, Hosts and Diseases
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    • 제47권4호
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    • pp.323-335
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    • 2009
  • A successful experience of lymphatic filariasis control in the Republic of Korea is briefly reviewed. Filariasis in the Republic of Korea was exclusively caused by infection with Brugia malayi. Over the past several decades from the 1950s to 2006, many investigators exerted their efforts to detection, treatment, and follow-up of filariasis patients in endemic areas, and to control filariasis. Mass, combined with selective, treatments with diethylcarbamazine to microfilaria positive persons had been made them free from microfilaremia and contributed to significant decrease of the microfilarial density in previously endemic areas. Significant decrease of microfilaria positive cases in an area influenced eventually to the endemicity of filariasis in the relevant locality. Together with remarkable economic growth followed by improvement of environmental and personal hygiene and living standards, the factors stated above have contributed to blocking the transmission cycle of B. malayi and led to disappearance of this mosquito-borne ancient disease in the Republic of Korea.

CeO2가 졸겔법으로 합성한 CeO2-TiO2계 SCR용 촉매의 활성에 미치는 물리화학적 영향 (Physico-chemical effects of cerium oxide on catalytic activity of CeO2-TiO2 prepared by sol-gel method for NH3-SCR)

  • 김부영;신병길;이희수;전호환
    • 한국결정성장학회지
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    • 제23권6호
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    • pp.320-324
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    • 2013
  • $CeO_2$의 첨가가 $CeO_2-TiO_2$계 SCR촉매 활성에 미치는 영향을 구조적, 형상학적, 물리화학적 분석을 통해 규명하였다. 순수한 $TiO_2$ 분말과 10, 20, 30 wt%의 $CeO_2$를 첨가한 $CeO_2-TiO_2$ 분말을 졸겔법으로 합성한 결과, 분말 모두 $TiO_2$의 아나타제 (anatase)상을 나타내었고 $CeO_2$를 첨가할수록 $TiO_2$ 표면에 결정성이 낮은 $CeO_2$가 분산되어 피크강도가 낮아짐을 확인하였다. 순수한 $TiO_2$의 비표면적이 $60.6306m^2/g$인데 반해 $CeO_2-TiO_2$의 비표면적은 30 wt%의 $CeO_2$를 첨가한 경우 $116.2791m^2/g$으로 비표면적이 증가하였고 따라서 첨가된 $CeO_2$$TiO_2$의 응집을 억제한 것으로 예상된다. $NO_x$ 제거효율은 30 wt% $CeO_2-TiO_2$ 촉매가 $300^{\circ}C$에서 98 %로 다른 분말보다 높은 효율을 나타내는데 이는 FT-IR을 이용하여 촉매의 산점 변화를 확인한 결과 30 wt% $CeO_2-TiO_2$ 분말의 경우가 다른 분말들에 비해 산점이 상대적으로 많았기 때문이다. 따라서 졸겔법으로 합성한 SCR용 $CeO_2-TiO_2$계 촉매에서 $CeO_2$의 첨가는 $TiO_2$의 입성장을 억제하여 비표면적을 증가시키고 $Br{\Phi}nsted$ 및 Lewis 산점을 증가시킴으로써 촉매 효율을 향상시켰다고 판단된다.

부산 근교의 수계환경과 설사환자로 부터 분리된 Plesiomonas shigelloides 의 세균학적 특성 (Bacteriological Characteristics of Plesiomonas shigelloides Isolated from the Aquatic Environments and Diarrheal Patients in Pusan Area)

  • 성희경;장동석;이원재;김용호;이정화
    • 미생물학회지
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    • 제31권2호
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    • pp.105-112
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    • 1993
  • 수계에 분포하고 있는 Plesiomonas shigelloides 균을 분리, 동정하고 임상유래균과의 세균학적 특성을 비교검토하였다. 부산근교인 구포에서 채수된 사료중 1개의 시료, 물금에서의 2개의 시료에서 P. shigelloides 가 분리, 동정되었으나 해운대, 수영, 다대포, 낙동강하구언, 강동 등에서 채수된 시료에서는 분리되지 않았다. 분리균의 최적 증식조건은 peptone water 에 $25~35^{\circ}C$ pH 7.5-8.0, NaCl 농도는 1%이하였고, 선택성 중균배지로서는 alkaline peptone water 에 insitol 을 첨가한 것이 증식이 가장 우수하였다. 생화학적 특성에 있어서는 DNase 가 다른 연구결과와는 달리 느리게 생성되었고, 지방산 조성은 $C_{12}~C_{18}$ 3-hydroxylate 지방산이 3%, cyclopropane ($C_{17:0}$ 이 0~10%, hexadecanoic acid ($C_{16:0}$) 가 25-30%, hexadecenoic acid ($C_{16:1}$) 가 32-43%, octadecanoic acid ($C_{18:0}$) 가 1-2%, octadecenoic acid( $C_{18:1}$)가 9~14% 등으로 나타났다. 임상유래균주와 수계에서 분리한 균주의 생화학적 특성 및 항생제 감수성, 지방산 조성은 비슷하였다. 환자에서 분리된 균주가 수계에서 분리한 균주보다 lactose 분해속도가 빨랐고, chloramphenicol 에 대한 내성을 나타내는 균주가 있었지만 수계에서 분리된 균주는 내성을 나타내지 않았다. 지방산 조성에서 임상유래 균주는 $C_{17:0cyclo}$ 0~2%, $C_{18:0}$ 0~2% 였으나, 수계의 균주에서는 각각 2~10%, 1-2%로 양적인 차이를 보였다.

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폐암 환자들에서 Gefitinib (Iressa)에 의한 피부 부작용 (Cutaneous Adverse Reactions Induced by Gefitinib (Iressa) in Lung Cancer Patients)

  • 윤숙정;이지범;김규식;김영철
    • Tuberculosis and Respiratory Diseases
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    • 제61권2호
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    • pp.150-156
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    • 2006
  • 배 경: 최근 폐암 환자에서 사용하는 표적치료 항암약물인 gefitinib (Iressa)은 종양세포의 표피성장인자 수용체의 티로신 키나아제 활동을 선택적으로 억제하여 종양 세포의 성장에 관여하는 신호를 차단함으로써 치료효과를 나타낸다. Gefitinib 복용에 의한 피부 부작용으로 여드름양 발진, 피부 건조증, 모발 변화 등이 알려져 있다. 대상 및 방법: 2004년 10월부터 2005년 9월까지 화순전남대병원에서 비소세포 폐암으로 진단받고 gefitinib을 복용 중인 환자들 중 피부 부작용이 발생하여 피부과에 의뢰된 환자 23명을 대상으로 임상 양상을 분석하였다. 결 과: 나이는 23-72세였고, 비소세포 폐암의 종류는 선암 17명, 편평상피세포 폐암 5명이었고, 여자 6명, 남자 17명이었다. 가장 흔한 부작용은 여드름양 발진으로 15명(65.2%)에서 발생하였으며, 주로 두피, 얼굴, 가슴, 등 부위에 무증상의 홍반성 구진으로 나타나며 대부분 gefitinib 복용 1달 이내에 발생하였다. 여드름양 발진의 빈도는 gefitinib 치료에 대한 반응과 유의한 상관관계를 보이지 않았고, 조직 형에 따른 차이도 관찰되지 않았다. 피부 소양증은 9명(39.1%)에서 발생하였으며 경도의 전신 소양증이 가장 많았고, 특히 눈 주변의 소양증을 호소하였다. 인설을 동반한 피부 건조증이 6명(26.1%)에서 발생하였고, 손발바닥의 홍반과 표피 박탈이 5명(21.7%), 손톱이나 발톱주변에 조갑주위염이 5명(21.7%)에서 발생하였다. 드물게 모발이 부러지거나 겨드랑이, 오금에 간찰진이 발생하였다. 결 론: 본 연구에서 gefitinib에 의한 다양한 피부 부작용들을 관찰할 수 있었다. Gefitinib을 처방하는 의사들은 피부 부작용에 대한 관심이 필요하며 환자들에게 피부 관리에 대한 교육과 필요한 경우 피부과 의사와 함께 피부 부작용을 치료함으로써 부작용을 경감시킬 수 있었다.

박막히터를 사용한 비정질 실리콘의 고상결정화 (A New process for the Solid phase Crystallization of a-Si by the thin film heaters)

  • 김병동;정인영;송남규;주승기
    • 한국진공학회지
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    • 제12권3호
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    • pp.168-173
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    • 2003
  • 유리 기판 위에 증착된 비정질 실리콘 박막의 고상 결정화에 대한 새로운 방법을 제시하였다. 비정질 실리콘 박막의 하부에 패턴 된 다양한 크기의 $TiSi_2$ 박막을 전기저항 가열 방식으로 가열함으로서 비정질 실리콘이 고상 결정화 되도록 하였다. 박막히터를 이용한 열처리는 매우 빠른 열처리 공정으로써, 일반적인 로에 의한 열처리에 비해 매우 낮은 thermal budget을 가지므로, 유리기판 위에서도 고온 열처리가 가능하다는 장점을 가진다. 본 연구에서는 500 $\AA$의 비정질 실리콘 박막을 약 $850^{\circ}C$ 이상의 높은 온도에서 수 초 내에 결정화 할 수 있음을 보였으며, 열처리 조건의 변화에 따른 영향과 지역선택성의 장점을 보였다.

대면적 기판 위에서의 서브마이크로미터 주기와 크기를 갖는 홀 패턴 형성을 위한 포토리소그라피 공정 최적화

  • 김도형;배시영;이동선
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2010년도 제39회 하계학술대회 초록집
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    • pp.244-245
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    • 2010
  • 최근 광전자 분야에서는 미래 에너지 자원에 대한 관심과 함께 GaN 기반 발광다이오드 및 태양전지 연구가 활발히 진행되고 있다. GaN는 높은 전자 이동도와 높은 포화 속도 등의 광전자 소자에 유리한 특성을 가지고 있으나, 고 인듐 함유량과 막질의 우수한 특성을 동시에 구현하는 것은 매우 어렵다. 이를 극복하기 위한 방법으로써 선택 영역 박막 성장법(Selective Area Growth)은 마스크 패터닝을 통해 제한된 영역에서만 박막을 성장하는 방법으로써 GaN의 막질을 향상 시킬 수 있는 방법으로 주목받고 있다. 본 논문에서는 대면적 기판에서 GaN의 막질 향상뿐만 아니라 고인듐 InGaN 박막 성장을 위하여 서브마이크로미터 주기와 크기를 갖는 홀 패턴을 포토리소그라피 공정 최적화를 통해 구현할 수 있는 방법에 대해 논의한다. 그림. 1은 사파이어 기판 위에 선택 영역 박막 성장법을 이용하여 성장한 n-GaN/활성층/p-GaN의 구조를 나타낸 그림이다. 이를 통하여 서브마이크로미터 스케일의 반극성 InGaN면 위에 높은 인듐 함유량을 가지면서도 우수한 특성을 갖는 박막을 얻을 수 있다. 본 실험을 위하여 사파이어 기판 위에 SiO2를 증착한 후 포토레지스트(AZ5206)을 도포하고 포토리소그라피 공정을 진행하여 2um 크기 및 간격을 갖는 패턴을 형성했다. 그림. 2는 AZ5206에 UV를 조사(5초)하고 현상(23초)한 패턴을 윗면(그림. 2(a))과 $45^{\circ}$ 기울인 면(그림. 2(b)) 에서 본 SEM(Scanning Electron Microscope) 사진이다. 이를 통해 약 2.2um의 홀 패턴이 선명하게 형성 됨을 볼 수 있다. 그 후 수백나노 직경의 홀을 만들기 위해서 리플로우 공정을 수행한다. 그림. 3은 리플로우 온도에 따른 패턴의 홀 모양을 AFM(Atomic Force Microscope)을 이용하여 측정한 표면의 사진이다. 이를 통해 2차원 평면에서 리플로우 온도 및 시간에 따른 변화를 볼 수 있다. 그림.3의 (a)는 리플로우 공정을 진행하기 전 패턴이고, (b)는 $150^{\circ}C$에서 2분, (c)는 $160^{\circ}C$에서 2분 (d)는 $170^{\circ}C$에서 2분 동안 리플로우 공정을 진행한 패턴이다. $150^{\circ}C$$160^{\circ}C$에서는 직경에 큰 변화가 없었고, $160^{\circ}C$에서는 시료별 현상 시간 오차에 따라 홀의 크기가 커지는 경향이 나타났다. 그러나 $170^{\circ}C$에서 2분간 리플로우 한 시료 (그림. 3(d))의 경우는 홀의 직경이 ~970nm 정도로 줄어든 것을 볼 수 있다. 홀의 크기를 보다 명확히 표현하기 위해 그림.3에 대응시켜 단면을 스캔한 그래프가 그림.4에 나타나 있다. 그림.4의 (a) 및 (b)의 경우 포토레지스트의 높이 및 간격이 일정하므로, 리플로우에 의한 영향은 거의 없었다. 그림. 4(c)의 경우 포토레지스트의 높이가 그림.4(a)에 비해 ~25nm 정도 낮은 것으로 볼 때, 과도 현상 및 약간의 리플로우가 나타났을 가능성이 크다. 그림. 4(d)에서는 ~970nm의 홀 크기가 나타나서 본 연구에서 목표로 하는 나노 홀 크기에 가장 가까워짐을 확인할 수 있었다. 따라서, $170^{\circ}C$ 이상의 온도와 2분 이상의 리플로우 시간 조건에서 선택 영역 성장을 위한 나노 홀 마스크의 크기를 제어할 수 있음을 확인하였다.

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