Fresnel lens has number of applications in the optical systems because of its advantages. It is nearly flat lens that has small weight. It is conventionally used in lighthouse beacons, condensing unit of overhead projector and etc. Recently, demands of small size optical systems such as display units, information storage systems, optical detecting units had increased. Conventional manufacturing process of high quality Fresnel lens is direct machining. But it is not suitable for mass production because of high cost and long cycle time. Replication process is more suitable for mass production. But the Fresnel lens has number of sharp blade shape prism. In the replication process, this blade shape causes defects that can affect optical efficiency. In this study, replication process of blade shape pattern that has maximum height of $280{\mu}m$, aspect ratio 1.4 for Fresnel lens application.
Fresnel lens is a kind of refractive optical lens with various advantages. It has nearly flat shaped optical lens that has small mass. Fresnel lens has number of applications in the compact optical systems. Recently, demands of high quality Fresnel lens for small size optical systems such as illumination units, compact imaging systems, display units, information storage systems, optical detecting units had increased rapidly. Conventional manufacturing process of high quality Fresnel lens is direct machining. However, it is not suitable for mass production because of high cost and long cycle time. Replication method can provide cost effective mass production process. However, there are various issues about replication of Fresnel lens. Fresnel lens has number of sharp blade shape prism. In the replication process, this blade shape causes defects that can affect optical efficiency. In this study, replication processes; injection molding process and UV imprinting process, were developed and evaluated using Fresnel lens that has maximum pattern height of $250\;{\mu}m$ and aspect ratio of 1.5.
In this study, a new process, named as nano replication printing(nRP) process, is developed for printing any figure in the range of several micrometers by using voxel matrix scanning scheme. In this newly developed process, a femto-second laser is scanned on a photosensitive monomer resin in order to induce polymerization of the liquid resin according to a voxel matrix which is transformed from bitmap format file. After the polymerization, a droplet of ethanol is dropt to remove the unnecessary remaining liquid resin and then the polymerized figures with nano-scaled precision are only remaining on the glass plate. By the nRP process, any figure file of bitmap format could be reproduced as nano-scaled precision replication in the range of several micrometers. Also, nano/micro-scaled patterns for an extremely wide range of applications would become a technologically feasible reality. Some of figures with nano-scaled precision were printed in scaled replication as examples to prove the usefulness of this study.
Aspheric optical elements can provide an advantage in the design of optical system that require high performance and small size. The main disadvantage of high volume production of aspheric optical elements is very high cost. In this paper, we suggest new technology of high volume production process using replication process. The replication is a thin film of UV cured resin on a solid substrate blank(polymer substrate) with aspheric surface.
We injection molded a thin plate with micro prism patterns on its surface and investigated the fidelity of replication of the micro pattern depending on the process parameter such as mold temperature, injection rate or packing pressure. The size of the $90^{\circ}$ prism pattern is $50{\mu}m$ and the size of the plate is $400mm{\times}400mm$. The thickness is 1mm. The fidelity of the replication turned out quite different according to the process parameters and location of the patterns of the plate. We measured the cavity pressure and temperature in real-time during the molding to analyze the effect of the local melt pressure and temperature on the micro pattern replication.
We injection molded a wedge type of plate with micro prizm patterns on its surface and investigated the fidelity of replication of the micro pattern depending on the process parameter such as mold temperature, melt temperature, injection rate or packing pressure. The size of the size of the $90^{\circ}$ prizm pattern is $50{\mu}m$ and the size of the plate is about 300㎜${\times}$200㎜. The thicknesses are 2.6㎜. and 0.7mm at each edge of the wedge type of plate. The fidelity of the replication turned out quite different according to the process parameters and location of the patterns on the plate. We measured the cavity pressure and temperature in real-time during the molding to analyze the effect of the local melt pressure and temperature on the micro pattern replication.
A feasibility study for the fabrication of master replication with nanostructures by Nanoimprint Lithography (NIL) was investigated for application of polymer Photonic Bandgap (PBG) devices used in photonic IC. Large area gratings of $9{\times}15(mm^2)$ with p = 400 nm was successfully embossed on PMMA on silicon wafer and the embossing parameters (temperature, pressure, time) were established. A precise control of $O_2$ plasma Reactive Ion Etching (RIE) process time allowed window opening over the whole area despite the presence of wafer bending. Master replication with aspect ratio 1 was successfully fabricated, but master replication with aspect ratio 3 needs to optimize parameters. All replications were done in a NIL process.
An experimental method is presented to maximize the replication quality of UV-molded micro-optical components. It is important to maximize the replication quality, because one can obtain the replicated micro-optical components with desired properties by accurate control of the shape. In the present study, a simple technique to avoid micro-air bubbles was first suggested. The effects of the UV-curing dose and the compression pressure on the replication quality of UV-molded structure were examined experimentally. Finally, as a practical application of the process design method, microlens arrays with diameters between 8 ${\mu}m$ and 96 ${\mu}m$ were fabricated by the present method, and the replication quality and the optical properties of the replicated microlens were measured and analyzed.
We propose a replication method to solve the problem of large percent failure in texturing processes of coated conductors. This problem is due to the individual texturing process for each coated conductor that is very long tape having no single defect spot. We tested two different methods of replication process that are based on a well-textured Ni template. First method has structure of Ni/BaO/STO/$CeO_2$/SmBCO/Ag. So BaO layer is dissolved in water that we can separate STO/$CeO_2$/SmBCO/Ag layers. In this processing, the property of STO is conserved but the superconductivity of SmBCO is deteriorated. So we can consider another method. Second method has structure of template(STO)/BaO/STO/Pt/STO. After dissolving BaO then we deposited YBCO. The result of these experiments showed the feasibility of replication.
Large area micro pattern replication has promising application potential in many areas. Rolling imprint process has been demonstrated as one of the most competitive processes for such micro pattern replication, because it has advantages in low cost, high throughput and high efficiency. In this paper, we developed a prototype of roll-to-flat(R2F) thermal imprint system for large area micro pattern replication process, which is one of the key processes in the fabrication of flexible displays. Experimental tests were conducted to evaluate the feasibility of system and the parameters' effect on the process, such as flat mold temperature, loading pressure and rolling speed. 100mm $\times$ 100mm stainless steel flat mold and commercially available polycarbonate sheets were used for the tests. The experimental results showed that the developed R2F system is suitable for fabrication of various micro devices with micro pattern over large area.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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