Ha, Yeon Chul;Lee, Jae Hwan;Koh, Young Jin;Lee, Seo Kyung;Kim, Yun Ki
Current Optics and Photonics
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제1권3호
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pp.247-251
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2017
In this study, an ultraviolet Raman spectrometer was designed and fabricated to detect chemical contamination on the ground. The region of the Raman spectrum that indicated the characteristics of the chemicals was $350-3800cm^{-1}$. To fabricate a Raman spectrometer operating in this range, the layout and angle of optical components of the spectrometer were designed using a grating equation. Experimental devices were configured to measure the Raman spectra of chemicals based on the fabricated Raman spectrometer. The wavenumber of the spectrometer was calibrated by measuring the Raman spectrum of polytetrafluoroethylene, $O_2$, and $N_2$. The spectral range of the spectrometer was measured to be 23.46 nm ($3442cm^{-1}$) with a resolution of 0.195 nm ($30.3cm^{-1}$) at 253.65 nm. After calibration, the main Raman peaks of cyclohexane, methanol, and acetonitrile were found to be similar to the references within a relative error of 0.55%.
Hydrogen gas is light and diffuses very quickly. Therefore, when a leakage accident occurs, the damage is great, so a technology that can quickly measure the leakage in the air at a long distance is needed. In order to develop hydrogen gas leaked in the atmosphere in a non-contact manner, an experiment was performed to measure hydrogen gas using a lidar technology using the Raman effect. Hydrogen Raman signals were detected using a UV LED light source, which is a Raman light source, and a spectrometer in the ultraviolet region including an optical filter in the 400-430 nm band. To develop this, a Raman lidar optical structure was designed to measure the hydrogen Raman signal at a certain distance, and the hydrogen Raman spectrum was confirmed using a standard gas to evaluate the performance of this optical structure. The linearity was found to be 0.99 using hydrogen standard gas (10, 50, 100, 500, 1,000 ppm). Accordingly, a Raman lidar capable of measuring hydrogen gas rapidly diffusing in the air in an open state was developed to improve the limitations of existing hydrogen sensors.
This article provides an overview of Raman spectroscopy and its practical applications for surface analysis of semiconductor processes including real-time monitoring. Raman spectroscopy is a technique that uses the inelastic scattering of light to provide information on molecular structure and vibrations. Since its inception in 1928, Raman spectroscopy has undergone continuous development, and with the advent of SERS(Surface Enhanced Raman Spectroscopy), TERS(Tip Enhanced Raman Spectroscopy), and confocal Raman spectroscopy, it has proven to be highly advantageous in nano-scale analysis due to its high resolution, high sensitivity, and non-destructive nature. In the field of semiconductor processing, Raman spectroscopy is particularly useful for substrate stress and interface characterization, quality analysis of thin films, elucidation of etching process mechanisms, and detection of residues.
This study aims to find a correlation between XRD and Raman result of the oxidized high modulus carbon fibers as a function of its oxidation degrees, and compare with the isotropic carbon fiber reported early. La of the high modulus carbon fiber prepared by oxidation in carbon dioxide gas have been observed using laser Raman spectroscopy. The basic structural parameters of the fibers were evaluated by XRD as well. The La of the original high modulus carbon fibers were measured to be 144 ${\AA}$ from Raman analysis and 135 ${\AA}$ from XRD analysis. La of the 92% oxidized fiber were 168 ${\AA}$ by using Raman and 182 ${\AA}$ by using XRD. There was some correlation between the La value obtained from Raman and XRD. However the La value changes of the high modulus carbon fiber through whole oxidation process showed opposite tendency compare with the isotropic carbon fiber because of the fiber structure basically.
Ever since the identification of 6830 and 7088 features as the Raman scattered O VI 1032, 1038 resonance doublets in symbiotic stars by Schmid (1989), Raman scattering by atomic hydrogen has been a very unique tool to investigate the mass transfer processes in symbiotic stars. Discovery of Raman scattered He II in young planetary nebulae (NGC 7027, NGC 6302, IC 5117) allow one to expect that Raman scattering can be an extremely useful tool to look into the mass loss processes in these objects. Because hydrogen is a single electron atom, their wavefunctions are known in closed form, so that exact calculations of cross sections are feasible. In this paper, I review some basic properties of Raman scattered features and present detailed and explicit matrix elements for computation of the scattering cross section of radiation with atomic hydrogen. Some astrophysical objects for which Raman scattering may be observationally pertinent are briefly mentioned.
Many symbiotic stars exhibit features formed through Raman scattering with hydrogent atom, which can be useful in probing the mass loss and mass transfer processes. These include Raman scattered O VI 6830, 7088, Raman scattered He II 6545, 4850, 4332, and broad wings around Balmer emission lines. In this study we investigate the basic properties of broad Balmer wings formed through Raman scattering using a Monte Carlo technique. Special attention is made on the symmetry of the wings which is expected to be broken due to asymmetric scattering cross section. In this poster, we show preliminary results.
The surface adsorbed protein conformations onto the vaccine adjuvants were observed with a Raman spectroscopy by using the maximum adsorption conditions described previously. The adsorbed state Raman vibrational spectra and subsequent spectral analysis display no conformational changes for BSA or IgG relative to their native species in solution.
Bisphenol A (BPA) is one of the chemicals used in monomer epoxy resins and polycarbonate plastics. The surface-enhanced Raman spectroscopy (SERS) method is precise for identifying biological materials and chemicals at considerably low concentrations. In the present article, the substrates coated with gold nanoparticles have been studied to identify BPA and control the diseases caused by this chemical. Gold nanoparticles were made by a simple chemical method and by applying gold salt and trisodium citrate dihydrate reductant and were coated on glass substrates by a spin-coat approach. Finally, using these SERS substrates as plasmonic sensors and Raman spectroscopy, the Raman signal enhancement of molecular vibrations of BPA was investigated. Then, the molecular vibrations of BPA in some consumer goods were identified by applying SERS substrates as plasmonic sensors and Raman spectroscopy. The fabricated gold nanoparticles are spherical and quasi-spherical nanoparticles that confirm the formation of gold nanoparticles by observing the plasmon resonance peak at 517 nm. Active SERS substrates have been coated with nanoparticles, which improve the Raman signal. The enhancement of the Raman signal is due to the resonance of the surface plasmons of the nanoparticles. Active SERS substrates, gold nanoparticles deposited on a glass substrate, were fabricated for the detection of BPA; a detection limit of 10-9 M and a relative standard deviation (RSD) equal to 4.17% were obtained for ten repeated measurements in the concentration of 10-9 M. Hence, the Raman results indicate that the active SERS substrates, gold nanoparticles for the detection of BPA along with the developed methods, show promising results for SERS-based studies and can lead to the development of microsensors. In Raman spectroscopy, SERS active substrate coated with gold nanoparticles are of interest, which is larger than gold particles due to the resonance of the surface plasmons of gold nanoparticles and the scattering of light from gold particles since the Raman signal amplifies the molecular vibrations of BPA. By decreasing the concentration of BPA deposited on the active SERS substrates, the Raman signal is also weakened due to the reduction of molecular vibrations. By increasing the surface roughness of the active SERS substrates, the Raman signal can be enhanced due to increased light scattering from rough centers, which are the same as the larger particles created throughout the deposition by the spin-coat method, and as a result, they enhance the signal by increasing the scattering of light. Then, the molecular vibrations of BPA were identified in some consumer goods by SERS substrates as plasmonic sensors and Raman spectroscopy.
도립형 OMVPE 반응기 내부의 기상 온도분포와 OMVPE 전구체들의 농도분포를 in-situ Raman 분광법으로 조사하였다. 운반기체의 회전 Raman 스펙트럼 분석을 통해 반응기 내부의 온도 분포를 측정하였고, 기판 근처에 수직적 온도 구배가 형성됨을 확인할 수 있었다. 또한 진동 Raman 스펙트럼 해석으로부터 전구체의 열분해도를 관찰살 수 있었다. $NH_3$의 경우 800 K 근처에서, TMGa의 경우 650 K 근처에서 열분해가 시작됨을 알 수 있었고, 기판에 매우 근접한 지역에서도 상당량의 전구체가 분해되지 않은 상태로 잔류함을 알 수 있었다.
이산화탄소 원격 계측을 위한 라만 라이다 장치를 개발하기 위해 라만 라이다 장치의 소형화를 진행하고, 이에 스캐닝 장치를 결합하여 라만 라이다 시스템을 개발하였다. 개발한 시스템의 성능 검증을 위하여 가스 챔버를 약 87 m 거리에 위치시킨 후, 이산화탄소의 농도 변화에 따른 라만 산란 신호를 계측하였다. 그 결과 개발된 라만 라이다 장치를 이용하였을 때 약 0.67-40 vol% 사이의 농도에서 높은 선형성을 나타냄을 확인하였다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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