R.F. Magnetron Sputtering 법으로 증착한 $TiO_2$ 박막의 결정 방향성이 $H_2$ 감응도에 미치는 영향
(Effect of the Orientation on $H_2$ Sensitivity in $TiO_2$ Thin Films Deposited by R.F. Magnetron Sputtering)
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- 한국세라믹학회:학술대회논문집
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- 한국세라믹학회 2003년도 추계총회 및 연구발표회 초록집
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- pp.219.1-219
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- 2003