Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Characterization of $SrBi_2Ta_2O_9$ thin films grown by r.f. magnetron sputtering and their electrical properties

r.f. magnetron sputtering에 의해 제조된 $SrBi_2Ta_2O_9$ 박막의 특성 및 전기적 성질

  • 양철훈 (충남대학교 공과대학 재료공학과) ;
  • 박상식 (충남대학교 공과대학 재료공학과) ;
  • 윤순길 (충남대학교 공과대학 재료공학과)
  • Published : 1996.11.01
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