사중극자 질량분석기(QMS)를 이용한 $Ar/Cl_2$ 유도결합 플라즈마 분석
(Inductively Coupled $Ar/Cl_2$ Plasma Analysis with Quadrupole Mass Spectrometer (QMS))
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- 대한전기학회:학술대회논문집
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- 대한전기학회 2005년도 추계학술대회 논문집 전기물성,응용부문
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- pp.41-43
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- 2005