Influence of Upper Protective Layer on Measurement of Thermal Conductivity of Thin Dielectric Film Using Differential 3$\omega$ Method
(보호층이 차등 3$\omega$ 기법으로 측정된 유전체 박막의 열전도도에 미치는 영향)
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- Proceedings of the KSME Conference
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- 2005.11a
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- pp.26.2-26.2
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- 2005