• 한국입자에어로졸학회지
• /
• 제12권4호
• /
• pp.145-150
• /
• 2016

During the chemical mechanical planarization (CMP) process, slurry that comprises abrasive particles can directly affect the CMP performance and quality. Mainly, the large particles in the slurry can generate the defects on the wafer. Thus, many kinds of filters have been used in the CMP process to remove unwanted over-sized particles. Among these filters, the point-of-use (POU) filter is used just before the slurry is supplied onto the CMP pad. In the CMP research field, analysis of the POU filter has been relatively exceptional, and previous studies have not focused on the standardized filtration efficiency (FE) or filter performance. Furthermore, conventional evaluation methods of filter performance are not appropriate for POU filters, as the POU filter is not a membrane type, but is instead a depth type roll filter. In order to accurately evaluate the POU filter, slurry FE according to particle size was measured in this study. Additionally, a CMP experiment was conducted with filtered slurry to demonstrate the effects of filtered slurry on CMP performance. Depending on the flow rate and the filter retention size, the FE according to particle size was different. When the small and large particles have different FEs, the total filtration efficiency (TFE) can still have a similar value. For this reason, there is a need to measure the FE with respect to the particle size to verify the effects of the POU filter on the CMP process.

• Archives of Plastic Surgery
• /
• 제38권5호
• /
• pp.663-668
• /
• 2011

Purpose: A modified free thenar flap was designed for coverage of volar finger defect with constant innervation using the palmar cutaneous branch of the median nerve. After clinical application of this flap, sensory results were evaluated in 6 cases. Methods: Patients were selected who have volar soft tissue defect with or without fingertip defect. The six cases of the innervated free thenar flap were performed since September 2009, and sensory outcomes were evaluated by the Semmes-Weinstein monofilament and two-point discriminator at four and half month after the surgery. Results: The Semmes-Weinstein Monofilament test revealed 3 cases showed 2.83, 1 case showed 3.61, 1 case showed 4.31 and 1 case showed 4.56. The static two-point discrimination test revealed 1 case showed 4 mm, 1 case showed 6 mm, 2 cases showed 9 mm, and 2 cases showed over 15 mm. The moving two-point discrimination test revealed 1 case showed 3 mm, 1 case showed 4 mm, 1 case showed 5 mm, 1 case showed 7 mm, and 2 cases showed over 15 mm. The donor sites showed no significant limitation of the thumb and neuroma formation. Conclusion: The innervated free thenar flap showed good sensory outcomes as a sensate free flap in a short time after surgery. It can be an option for coverage of volar finger defects that requires sensation.

• Korean Journal of Radiology
• /
• 제22권3호
• /
• pp.395-404
• /
• 2021

Objective: To compare the utility of computed tomography perfusion (CTP) and three different 4-point scoring systems in computed tomography angiography (CTA) in confirming brain death (BD) in patients with and without skull defects. Materials and Methods: Ninety-two patients clinically diagnosed as BD using CTA and/or CTP for confirmation were retrospectively reviewed. For the final analysis, 86 patients were included in this study. Images were re-evaluated by three radiologists according to the 4-point scoring systems that consider the vessel opacification on 1) the venous phase for both M4 segments of the middle cerebral arteries (MCAs-M4) and internal cerebral veins (ICVs) (A60-V60), 2) the arterial phase for the MCA-M4 and venous phase for the ICVs (A20-V60), 3) the venous phase for the ICVs and superior petrosal veins (ICV-SPV). The CTP images were independently reviewed. The presence of an open skull defect and stasis filling was noted. Results: Sensitivities of the ICV-SPV, A20-V60, A60-V60 scoring systems, and CTP in the diagnosis of BD were 89.5%, 82.6%, 67.4%, and 93.3%, respectively. The sensitivity of A20-V60 scoring was higher than that of A60-V60 in BD patients (p < 0.001). CTP was found to be the most sensitive method (86.5%) in patients with open skull defect (p = 0.019). Interobserver agreement was excellent in the diagnosis of BD, in assessing A20-V60, A60-V60, ICV-SPV, CTP, and good in stasis filling (κ: 0.84, 0.83, 0.83, 0.83, and 0.67, respectively). Conclusion: The sensitivity of CTA confirming brain death differs between various proposed 4-point scoring systems. Although the ICV-SPV is the most sensitive, evaluation of the SPV is challenging. Adding CTP to the routine BD CTA protocol, especially in cases with open skull defect, could increase sensitivity as a useful adjunct.

• 마이크로전자및패키징학회지
• /
• 제22권4호
• /
• pp.111-115
• /
• 2015

실리콘 태양전지의 효율을 향상하기 위해서는 소수 캐리어의 높은 수명이 필수조건이다. 따라서, 이를 달성하기 위한 실리콘 표면결함을 없애줄 수 있는 부동화(passivation) 기술이 매우 중요하다. 일반적으로 PECVD 법이나 열산화 공정을 통해 얻어진 $SiO_2$ 박막이 부동화 층으로 많이 사용되나 1000도에 이르는 고온 공정과 낮은 열적 안정성이 문제로 여겨진다. 본 연구에서는 원자층 증착법을 이용하여 400도 미만의 저온 공정을 통해 $Al_2O_3$ 부동화 박막을 형성하였다. $Al_2O_3$ 박막은 고유의 음의 고정 전하밀도로 인해 낮은 표면 재결합속도를 보이는 것으로 알려져 있다. 본 연구에서는 질소 도핑을 통해 높은 음의 고정 전하 밀도를 얻고 이를 통해 좀 더 향상된 실리콘 표면 부동화 특성을 얻고자 하였다.

• 한국결정성장학회지
• /
• 제9권2호
• /
• pp.162-167
• /
• 1999

3가지 방향성을 가진 사파이어 기판 위에 GaN 박막을 OMVPE방식으로 증착시켜 증착된 GaN epilayer를 투과전자현미경으로 분석하여 각 미세구조의 차이를 비교분석하였다. 3 가지 방향 모두에서 GaN 증착층이 관찰되어졌으며 그중 가장 좋은 경계면의 상태와 단일결정성을 보여준 것은 사파이어{0001} 방향의 기판을 사용한 경우였다. 결함들도 {0001} 방향의 기판을 사용한 경우에서 가장 적게 나타났다. 모든 경우에서 buffer layer는 발견되어지지 않았고 그럼에도 불구하고 경계면에서의 격자 뒤틀림이 일어나는 지역이 수 나노미터(nanometer) 정도밖에 안되는 우수한 경계면들이 관찰되었다. 따라서 일반적으로 GaN 박막 증착시에 가장 많이 사용되는 사파이어 basal plane 외에도 결함이 많기는 하지만, {1120}와 {1102} plane 위에도 GaN 증착층이 buffer layer 없이 증착 될 수 있다는 사실을 TEM 관찰을 통하여 알 수 있었으며 사파이어 {0001}면를 기판으로 사용한 경우에 미세구조 측면에서 볼 때 hetero-epitaxial한 GaN 박막층을 얻을 수 있는 것을 확인하였다.

• 공업화학
• /
• 제2권4호
• /
• pp.385-392
• /
• 1991

전하량적정법에 의해 $Ni_{1-x}O$의 비화학양(nonstoichiometry)를 측정하였고 결함모델을 확인하였다. 0.1-0.21atm의 산소분압과 1123-1198K의 온도범위에서 $Ni_{1-x}O$의 비화학양은 $Po_2{^{1/4}}$에 비례하였다. 이러한 산소분압의 의존성으로부터 $Ni_{1-x}O$의 주 결함은 singly 이온화한 Ni 빈자리임을 확인할 수 있었다. T=1173K와 $Po_2=0.21atm$인 조건에서 $x=1.21{\times}10^{-4}$의 값을 가졌다. 제안된 결함모델로 부터 결함의 표준생성엔탈피를 계산하였는데 0.95 eV의 값을 가졌다. 1248K 이상의 온도에서는 doubly 이온화된 빈자리로의 전이가 나타나기 시작하였다.

• Archives of Reconstructive Microsurgery
• /
• 제21권1호
• /
• pp.21-26
• /
• 2012

The radial artery superficial palmar branch free flap is based on the perforators of the superficial palmar branch of the radial artery and its venae comitantes. This flap can be used as a sensible flap including palmar cutaneous branch of the median nerve. Forty radial artery superficial palmar branch free flaps were performed at Centum Institute during October 2010 to December 2011. There were 32 males and 8 females and their mean age were 48 years (range 30 to 66 years). The thumb injured in 13 patients, the index finger in 16 patients, the middle finger in 4 patients, the ring finger in 2 patients, and the little finger in 5 patients. The mean size of the flap was $2.5{\times}3.5$ cm(range $2{\times}2.5$ to $3{\times}7$ cm). The donor site was always closed primarily. The overall survival rate was 90.2 percent. The flaps showed well-padded tissue with glabrous skin. All patients have touch sensation and showed 12 mm two point discrimination in an average(range 8 to 15 mm). Donor site morbidity was conspicuous. One patient showed unsightly scar. Early postoperative range of motion of the affected thumb showed slightly limited radial and palmar abduction. But it improved after postoperative 2 months, and patients did not complaint limitation of motion. In conclusion, the radial artery superficial palmar branch free flap can be used as an option for soft tissue reconstruction of finger defects where local or island flaps are unsuitable.

• 한국가구학회지
• /
• 제21권6호
• /
• pp.499-504
• /
• 2010

한국의 전통가옥인 한옥은 대각재와 원형목으로 만든다. 이들은 열기건조하면 심각한 결함이 발생하기 때문에 보통 수개월에서 1년까지 천연건조하는데 그래도 사용중 결함이 생긴다. 열처리기술을 이용하여 이들을 $170^{\circ}C$이상에서 건조하면서 건조결함을 조사하였다. 온도곡선은 모두 하나 또는 두개의 변곡점을 나타냈다. 표면에서 37.5mm 깊이지점이 $100^{\circ}C$에 도달하는데 걸리는 시간은 열처리온도 $170^{\circ}C$ 과 $190^{\circ}C$가 두 배의 차이를 나타냈다. 열처리 후에 $148mm{\Phi}$ 원형목에 내부할렬이 많이 발생한 것이 발견되었으나, 이에 빈해 표면할렬은 거의 닫혀 있었다. 이러한 표면할렬의 변화를 $300{\times}300mm$ 대각재의 사진을 통해 관찰하였다. 중공재와 무중공재의 건조시간을 비교하였더니 두 배의 차이를 나타냈다.

• 한국정보통신학회논문지
• /
• 제4권3호
• /
• pp.713-719
• /
• 2000

고체상 켜쌓기법(solid phase epitaxy)으로$Ge_xSi_{1-x}/Si$(111) 이종접합을 형성하기 위해 Si(111) 기판위에 먼저 Au를 1000A 증착하고 그 위에 Ge을 1000A 증착시켜 a-Ge/Au/Si(111)구조를 형성하고 이를 고진공 조건에서 이단계 열처리 하였다. 열처리 후 Auger 전자분광분석(AES), X-ray 회절(XRD), 고분해 투과전자현미경(HRTEM) 등을 통해 Au와 Ge의 거동과 형성된 $Ge_xSi_{1-x}$막의 특성을 열처리 조건에 따라 분석하였다. a-Ge/Au/Si(111)구조는 열처리에 의해 Au/GeSi/Si(111)의 구조로 변했으며 형성된$Ge_xSi_{1-x}/$((111)층은 Si(111) 기판의 면 방향과 잘 일치하였다. 그러나 $Ge_xSi_{1-x}/Si$((111)층 내부에 적층결함, 전이, 쌍정, planar defect 등이 주로 (111)면 방향으로 형성되어 있음을 알 수 있었다.

• 정보처리학회논문지D
• /
• 제15D권3호
• /
• pp.313-320
• /
• 2008

전형적인 소프트웨어 생명주기 모델은 결점이 추가되거나 제거되는 단계들의 일련의 순서로 구성되어 있다. 우리가 원하는 수준의 품질을 달성하기 위해서는 소프트웨어 개발 전 과정에서 결점 제거를 수행하여야 한다. 잘 알려진 단계기반 결점 프로파일은 Gaffney 모델이 있다. 이 모델은 결점 제거 프로파일이 Rayleigh 분포를 따르며 단계 인덱스 번호를 모수로 하고 있다. 실제 개발되는 소프트웨어에 Gaffney 모델을 적용시 제거된 결점이 최대값이 되는 점을 위치 모수가 표현하지 못하는 문제가 있다. 그러므로 Gaffney 모델은 실제 결점 프로파일을 표현하지 못한다. 본 논문은 2개의 다른 모델을 제시한다. 하나는 수정된 Gaffney 모델로 위치 모수를 교체하기 위해 Putnam의 SLIM 모델의 모수를 도입하였다. 다른 하나는 누적 결점 프로파일이 S자 형태를 보여 성장곡선 모델을 제시하였다. 제안된 모델은 5개의 다른 소프트웨어 프로젝트로부터 얻어진 결점 프로파일 분석에 의해 검증하였다. 실험 결과 제안된 모델이 Gaffney 모델 보다 좋은 결과를 얻었다.