Development of Virtual Integrated Prototyping Simulation Environment for Plasma Chamber Analysis and Design (VIP-SEPCAD) (플라즈마 챔버의 특성 분석 및 최적 설계를 위한 가상의 시뮬레이션 환경 개발)
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- Journal of the Semiconductor & Display Technology
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- v.2 no.4
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- pp.9-12
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- 2003