• 제목/요약/키워드: patterning effect

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벌집구조의 나노채널을 이용한 다중 Fin-Gate GaN 기반 HEMTs의 제조 공정 (Fabrication of Multi-Fin-Gate GaN HEMTs Using Honeycomb Shaped Nano-Channel)

  • 김정진;임종원;강동민;배성범;차호영;양전욱;이형석
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제33권1호
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    • pp.16-20
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    • 2020
  • In this study, a patterning method using self-aligned nanostructures was introduced to fabricate GaN-based fin-gate HEMTs with normally-off operation, as opposed to high-cost, low-productivity e-beam lithography. The honeycomb-shaped fin-gate channel width is approximately 40~50 nm, which is manufactured with a fine width using a proposed method to obtain sufficient fringing field effect. As a result, the threshold voltage of the fabricated device is 0.6 V, and the maximum normalized drain current and transconductance of Gm are 136.4 mA/mm and 99.4 mS/mm, respectively. The fabricated devices exhibit a smaller sub-threshold swing and higher Gm peak compared to conventional planar devices, due to the fin structure of the honeycomb channel.

골육세포 성장 촉진을 위한 스마트 써피스 텍스처링 임플란트 스템 제작 기술 (Smart Surface Texturing Implant Stem for Enhancement of Osteoblast Cell Biocompatibility)

  • 김경한;이제훈;박종권;진석원;최완해;이홍진
    • 한국정밀공학회지
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    • 제31권5호
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    • pp.375-380
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    • 2014
  • To enhance biocompatibility between the orthopedic implant stem and obsteoblast cells, bone-forming cells, micro-size holes are patterned in Ti plate surface. Initially, the house built laser power stabilization system is applied to the laser micro patterning machine to convince repeatable result. Various pulse widths are irradiated Ti plate and relationship between diameters of patterned holes and pulsed width is derived. Effect of multi pulse is observed and optimal pulse number is considered to avoid heat affected zone. After MG-63 osbeoblast cells are cultured, micro patterned Ti plates are compared with control plates. In SEM image, cells are well aligned and aggregation is observed in both 60, and $100{\mu}m$ patterned plates. Finally, free form surface stem model is prepared to test micro hole patterning.

연삭기법을 이용한 패터닝 기술 (Grinding Technology for Surface Texturing)

  • 고태조;한두섭;구강;박종권
    • 한국정밀공학회지
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    • 제31권5호
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    • pp.367-373
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    • 2014
  • Surface texturing is a machining process on the surface to give engineering functions. The representative process of the surface texturing is lotus effect to give hydrophobic property by the lithography and chemical etching, which is the bio mimic from the nature. Surface texturing can be manufactured by a lot of processes, in particular using mechanical method such as a precise diamond turning, grinding, rolling, embossing, vibrorolling, and abrasive jet machining (AJM). Among them, the grinding process is notable in terms of the wide range of texturing area and fast processing time. The patterning by grinding is done by the grooved grinding wheel on the work piece. In this case, the pattern shape is determined by the grinding conditions as well as the wheel dressing conditions. In this paper, experimental study on the pattern shapes were done and provide the feasibility in use for the large area patterning.

LTCC 기판 시스템의 고주파 특성 비교 (A Comparison of High Frequency Properties of LTCC Substrate Systems)

  • 이영신;김경철;박성대;박종철
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제9권3호
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    • pp.7-12
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    • 2002
  • LTCC(Low temperature Cofiring Ceramics)기판의 고주파특성 평가에 있어서, 기판은 전극 패터닝 공정 방식이 결합된 하나의 시스템으로 평가되어야 한다. LTCC의 경우 시스템마다 상이한 소결 수축 과정, 전극과 기판의 접합 특성(matching) 차이, 사용 도체간 전기 전도도의 차이 등으로 인해 유전 특성 및 신호손실이 차이를 나타내었다. 본 논문에서는 FR-4, Duroid, Teflon등 기존의 상용 PCB(Printed Circuit Board) 와의 상대적인 비교를 통해 현재 사용되고 있는 LTCC 기판의 주파수 응용도를 확인하였으며, 20 ㎓까지 측정을 수행하였다. 측정방식으로는 Ring 공진기와 Series-Gap 공진기를 활용한 마이크로 스트립 공진기 방법을 채택하였으며, 실험 결과 기판손실 측정은 Ring 공진기 방식이 유효하였으며 유전률 측정은 Series-Gap 공진기 방식이 유효함을 확인하였다. 또한 주파수 증가에 따라 LTCC 기판의 전극 패터닝 방식이 시스템의 손실에 미치는 영향에 대해 분석하였다.

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A Study on the Uniformity Improvement of Residual Layer of a Large Area Nanoimprint Lithography

  • Kim, Kug-Weon;Noorani, Rafigul I.;Kim, Nam-Woong
    • 반도체디스플레이기술학회지
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    • 제9권4호
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    • pp.19-23
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    • 2010
  • Nanoimprint lithography (NIL) is one of the most versatile and promising technology for micro/nano-patterning due to its simplicity, high throughput and low cost. Recently, one of the major trends of NIL is large-area patterning. Especially, the research of the application of NIL to TFT-LCD field has been increasing. Technical difficulties to keep the uniformity of the residual layer, however, become severer as the imprinting area increases. In this paper we performed a numerical study for a large area NIL (the $2^nd$ generation TFT-LCD glass substrate ($370{\times}470$ mm)) by using finite element method. First, a simple model considering the surrounding wall was established in order to simulate effectively and reduce the computing time. Then, the volume of fluid (VOF) and grid deformation method were utilized to calculate the free surfaces of the resist flow based on an Eulerian grid system. From the simulation, the velocity fields and the imprinting pressure during the filling process in the NIL were analyzed, and the effect of the surrounding wall and the uniformity of residual layer were investigated.

커피 전문점 소비자 선택 속성이 고객 만족과 재방문 및 구전 의도에 미치는 영향 (The Effect of Consumer Choice Attributes on Customer Satisfaction, Revisit and Word-of-Mouth Intention in a Coffee Shop)

  • 손영진
    • 한국조리학회지
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    • 제16권4호
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    • pp.76-93
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    • 2010
  • 본 연구에서 제시한 커피 전문점의 선택 속성으로 지각된 유형성, 신뢰성, 친절성, 신용성이 영향 관계에 대한 가설 검증 결과, 본 연구의 모델로 적합한 것으로 분석되었다. 또한, 커피 전문점의 선택 속성은 고객 만족에 직접적인 영향을 미치고, 고객 만족 또한 재방문 및 구전 의도에 영향을 미치는 것으로 나타났다. 이 같은 결과는 점포내 산뜻한 이미지를 바탕으로 한 유형성과 신뢰, 종사원의 친절 및 신용이 바탕이 될 때 이용 고객 또한 만족 극대화에 영향을 주고 만족 고객의 재이용과 긍정적인 구전으로 이어짐을 알 수 있다.

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Study of metal dopants and/or Ag nanoparticles incorporated direct-patternable ZnO film by photochemical solution deposition

  • Kim, Hyun-Cheol;Reddy, A.Sivasankar;Park, Hyung-Ho
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2007년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.368-368
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    • 2007
  • Zinc oxide (ZnO) has drawn much interest as a potential transparent conducting oxide (TCO) for applying to solar cell and front electrode of electro-luminescent devices. For the enhancement of electrical property of TCOs, dopant introduction and hybridization with conductive nanoparticles have been investigated. In this work, ZnO films were formed on glass substrate by using photochemical solution deposition of Ag nanoparticles dispersed or various metal (Ag, Cd, In, or Sn) contained photosensitive ZnO solutions. The usage of photosensitive solution permits us to obtain a micron-sized direct patterning of ZnO film without using conventional dry etching procedure. The structural, optical, and electrical characteristics of ZnO films with the introduction of metal dopants with/without Ag nanoparticles have been investigated to check whether there is a combined effect between metal dopants and Ag nanoparticles on the characteristics of ZnO film. The phase formation and crystallinity of ZnO film were monitored with X-ray diffractometer. The optical transmittance measurement was carried out using UV-VIS-NIR spectrometer and the electrical properties such as sheet resistance and conductivity were observed by using four-point probe.

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군용 수중 운동물체의 성능강화를 위한 초소수성 나노 패터닝 기술 (Superhydrophobic Nano Patterning Techniques for Enhanced Performance of Naval Underwater Vessels)

  • 홍순국;이기영
    • 한국해양공학회지
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    • 제27권2호
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    • pp.114-120
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    • 2013
  • A superhydrophobic surface means that the contact angle between the solid surface and a water droplet is more than $150^{\circ}$. Materials with a superhydrophobic surface have a self-cleaning function because of the Lotus effect, in which water is not absorbed by the material but rolls off of it. If such a Lotus effect can be applied to the surface of underwater vessels, submarines, torpedos, and so on, enhanced vessels can be made based on this lubricant effect reducing the friction coefficient for the liquid. Because polymer composites can be easily applied in various nanotechniques, they are more advantageous than conventional materials like iron in terms of a superhydrophobic surface. Furthermore, a superhydrophobic surface bring enhanced anticorrosion and ecotechnology because no paint is needed on underwater vessels.

마이크로패터닝을 부여한 임플란트 주변골에서의 하중 분포에 관한 유한요소분석법적 연구 (Finite Element Analysis of Stress Distribution around the Micro-Patterned Implants)

  • 허배녕;김대곤;박찬진;조리라
    • 구강회복응용과학지
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    • 제24권1호
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    • pp.67-76
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    • 2008
  • 골조직이 자라 들어갈 수 있는 적절한 크기의 마이크로패터닝을 부여하면 강하고 지속적인 골유착을 이룰 수 있는 생역학적 결합을 이룰 수 있다. 또한 마이크로패터닝을 통해 골조직과 접촉하는 면적을 증가시킴으로써 하중을 적절히 분산시킬 수도 있다. 본 연구에서는 마이크로패터닝의 형태와 크기에 따른 응력의 분산에 대해 연구하였다. 나사 하나에서의 하중을 연구하기 위해 2차원 유한요소분석법을 이용하였다. 임플란트는 무한히 긴 피질골에 100% 접촉하며 골-임플란트 계면은 고정된 것으로 경계조건을 설정한 후 마이크로패터닝의 위치와 수에 따라 5군으로 나누어 축력을 가한 후 최대응력과 응력의 분산양상을 비교하였다. 연구 결과, 마이크로패터닝을 부여하면 일반적인 나사에 비해 응력을 보다 넓게 분산시켰으며 나사의 하방에 마이크로패터닝을 부여한 것이 상방에 부여한 것보다 더 고르게 응력을 분산시켰다. 3개의 마이크로패터닝을 부여한 군이 2개의 마이크로패터닝을 부여한 군에 비해 응력을 넓게 분산시켰으나 응력이 집중되는 부위가 나타났다. 이상의 결과를 통해 마이크로패터닝을 부여하면 응력의 분산효과가 있으며 특히 나사 하방에 부여하는 것이 더 큰 효과를 냄을 알 수 있었다.