금속 산화물 박막제작을 위한 오존 농도 분석
(Analysis of $O_3$ Concentration for Metal Oxide Thin Films Growth)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2005년도 추계학술대회 논문집 Vol.18
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- pp.331-332
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- 2005