Development of Trenched SOI 1X2 Thermo-Optic Switch for Improvement of Thermal Diffusion Effect (열확산 효과 개선을 위한 트렌치 구조의 SOI 1X2 열광학 스위치 개발)
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- Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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- v.16 no.12S
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- pp.1255-1260
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- 2003