Korean Journal of Computational Design and Engineering
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v.7
no.1
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pp.18-26
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2002
The suggested modular projection system can have flexible arrangements of screens. Modular and continuous arrangements of the display system enable us to modify the screen configuration easily, so that the system can be used in various applications. The image of each screen is calculated automatically by using window projection and the tracked position of the viewer. This system also uses the off-axis stereoscopic projection for the seamless stereoscopic edge blending of multiple connections of screens. The system has been successfully tested for the general navigation model and the CAU driving simulator with motion platform.
Phase-shifting masks (PSM), optical proximity correction (OPC), off-axis illumination (OAI), annular illumination (AI)의 리소그래피 분해능 향상 기법과 deep ultraviolet photoresist의 개발 및 리소그래피의 최근 기술 동향을 요약 소개한다. DUV 리소그래피의 대안으로 관심을 끌고 있는 scattering with angular limitation projection electron-beam
lithography (SCALPEL), extreme ultraviolet lithography (EUVL), X-ray lithography (XRL), ion projection lithography (IPL) 등의 새로운 리소그래피 기술들의 기본 원리와 최근 기술 동향도 소개하였다. 리소그래피는 반도체 공정에 있어서 가장 중요한 부분을 차지하기 때문에 리소그래피의 최근 기술 동향을 검토해 봄으로써 국내 리소그래피 장비 산업의 기술 개발을 위한 방향 설정에 도움이 될 것으로 생각한다.
We study the electron spin resonance line-width (ESRLW) of $Fe^{3+}$ in crystalline $LiNbO_3$ ; the ESRLW is obtained using the projection operator method (POM) developed by Argyres and Sigel. The ESRLW is calculated to be axially symmetric about the c-axis and is analyzed by the spin Hamiltonian with an isotopic g factor at a frequency of 9.5 GHz. The ESRLW increases exponentially as the temperature increases, and the ESRLW is almost constant in the high-temperature region (T>8000 K). This kind of temperature dependence of the ESRLW indicates a motional narrowing of the spectrum when $Fe^{3+}$ ions substitute the $Nb^{5+}$ ions in an off-center position. It is clear from this feature that there are two different regions in the graph of the temperature dependence of the ESRLW.
This paper describes the design and development of a KrF excimer laser stepper and discusses the detailed system parameters and characterization data obtained from the performance test. We have developed a deep UV step-and-repeat system, operating at 248 nm, by retrofitting a commercial modules such as KrF excimer laser, precision wafer stage and fused silica illumination and 5X projection optics of numerical aperture 0.42. What we have developed, to the basic structure, are wafer alignment optics, reticle alignment system, autofocusing/leveling mechanisms and environment chamber. Finally, all these subsystem were integrated under the control of microprocessor-based controllers and computer. The wafer alignment system comprises the OFF-AXIS and the TTL alignment. The OFF-AXIS alignment system was realized with two kinds of optics. One is the magnification system with the image processing technique and the other is He-Ne laser diffraction type system using the alignment grating on the wafer. 'The TTL alignment system employs a dual beam inteferometric method, which takes advantages of higher diffraction efficiency compared with other TTL type alignment systems. As the results, alignment accuracy for OFF-AXIS and TTL alignment system were obtained within 0.1 $\mu\textrm{m}$/ 3 $\sigma$ for the various substrate on the wafers. The wafer focusing and leveling system is modified version of the conventional systems using position sensitive detectors (PSD). This type of detection method showed focusing and leveling accuracies of about $\pm$ 0.1 $\mu\textrm{m}$ and $\pm$ 0.5 arcsec, respectively. From the CD measurement, we obtained 0.4 $\mu\textrm{m}$ resolution features over the full field with routine use, and 0.3 $\mu\textrm{m}$ resolution was attainable under more strict conditions.
In this study, we determine that the electron paramagnetic resonance line-width (EPRLW) is axially symmetric about the c-axis and analyze the spin Hamiltonian with an isotopic g-factor of 1.9920 at a frequency of 9.5 GHz. It should be noted that the electron paramagnetic resonance signals are Lorentzian. Our findings show that the EPRLW decreases exponentially with an increase in the temperature; i.e., its temperature dependence in the range 300-400 K obeys Arrhenius behavior, this kind of temperature dependence indicates an off-center a motional narrowing of the spectrum when $Mn^{2+}$ impurity ions substitute for $Nb^{5+}$ ions. The specific heats follow a linear dependence suggesting a simple Debye $T^3$ behavior.
Abell 115 is a renowned cluster merger at z=0.197. It exhibits an asymmetric X-ray distribution with cometary tails and a megaparsec-sized radio relic stretching in the northeastern direction from the core of the northern cluster. Many observations have concluded that this cluster merger has a large impact parameter, but there has been no numerical analysis on the structure of Abell 115. In this study, we simulate Abell 115 with Gadget2 N-body/SPH code to reproduce the X-ray and weak lensing features of Abell 115. We find a new plausible merger scenario of Abell 115, wherein the northern cluster is currently in an outgoing phase. The predicted X-ray emission has a similar morphology to the observed tail of the northern cluster. However, in order to reproduce the observed line-of-sight velocity and projected distance while maintaining the two systems gravitationally bound, the system should possess a large projection angle, which makes the shock look considerably more diffused than the observed radio relic.
The Journal of Korean Institute of Communications and Information Sciences
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v.19
no.8
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pp.1433-1445
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1994
In this paper, an coherent optical correlator system based on the off-axis projection synthetic discriminant funtion (OA-pSDF) was analyzed and implemented optically. The filter was synthesized by combining conventional pSDF with single reference plane wave multiplexing. Synthesized pSDF were transformed to binary phase only filters (BPOFs) and fabricated as computer generated holograms(CGHs), which was used in the real time optical correlator system instead of using expensive spatial light modulators(SLMs). From the characteristic test, it was found that OA-pSDF showed distortion invariance and good performances in discrminating subset images. The proposed OA-pSDF BPOF could overcome the limitations of conventional BPOFs : that is distortion variance such as acale and rotation, especially out of plane variance.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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