• 한국CDE학회논문집
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• 제7권1호
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• pp.18-26
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• 2002

The suggested modular projection system can have flexible arrangements of screens. Modular and continuous arrangements of the display system enable us to modify the screen configuration easily, so that the system can be used in various applications. The image of each screen is calculated automatically by using window projection and the tracked position of the viewer. This system also uses the off-axis stereoscopic projection for the seamless stereoscopic edge blending of multiple connections of screens. The system has been successfully tested for the general navigation model and the CAU driving simulator with motion platform.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2004년도 추계학술대회 논문집 Vol.17
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• pp.107-107
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• 2004

• 전자통신동향분석
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• 제13권5호통권53호
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• pp.38-52
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• 1998

Phase-shifting masks (PSM), optical proximity correction (OPC), off-axis illumination (OAI), annular illumination (AI)의 리소그래피 분해능 향상 기법과 deep ultraviolet photoresist의 개발 및 리소그래피의 최근 기술 동향을 요약 소개한다. DUV 리소그래피의 대안으로 관심을 끌고 있는 scattering with angular limitation projection electron-beam lithography (SCALPEL), extreme ultraviolet lithography (EUVL), X-ray lithography (XRL), ion projection lithography (IPL) 등의 새로운 리소그래피 기술들의 기본 원리와 최근 기술 동향도 소개하였다. 리소그래피는 반도체 공정에 있어서 가장 중요한 부분을 차지하기 때문에 리소그래피의 최근 기술 동향을 검토해 봄으로써 국내 리소그래피 장비 산업의 기술 개발을 위한 방향 설정에 도움이 될 것으로 생각한다.

• 한국자기공명학회논문지
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• 제17권2호
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• pp.92-97
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• 2013

We study the electron spin resonance line-width (ESRLW) of $Fe^{3+}$ in crystalline $LiNbO_3$ ; the ESRLW is obtained using the projection operator method (POM) developed by Argyres and Sigel. The ESRLW is calculated to be axially symmetric about the c-axis and is analyzed by the spin Hamiltonian with an isotopic g factor at a frequency of 9.5 GHz. The ESRLW increases exponentially as the temperature increases, and the ESRLW is almost constant in the high-temperature region (T>8000 K). This kind of temperature dependence of the ESRLW indicates a motional narrowing of the spectrum when $Fe^{3+}$ ions substitute the $Nb^{5+}$ ions in an off-center position. It is clear from this feature that there are two different regions in the graph of the temperature dependence of the ESRLW.

• 한국광학회지
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• 제4권1호
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• pp.15-21
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• 1993

본 연구에서는 설계제작된 KrF 엑시머 레이저 스텝퍼는 광원인 KrF엑시머 레이저, 조명광학계, 축소트영광학계, 정밀구동 웨이퍼 스테이지, 정렬시스템 및 이들을 제어하기 위한 제어계로 구성되어 있다. 본 실험에서 사용한 KrFdprtlaj 레이저는 밴드폭 3pm, 반복주파수 200Hz, 평균축력 3W이고, 5:1 투영렌즈는 N.A. 0.42, 전체 필드영역 $\varphi$21.2mm, 왜곡수차 최대 60nm 이하이다. 또한 정밀구동 웨이퍼 스테이지의 재현성과 해상도는 각각 $\pm$0.08$\mu\textrm{m}$/200mm(3 sigma), 100mm 반경에서 0.05 $\mu\textrm{m}$이다. 자동 초점 시스템은 $\pm$50$\mu\textrm{m}$범위에서 0.1$\mu\textrm{m}$의 해상도를 나타냈으며, 자동수평시스템은 120 arcsec 범위에서 larcsec의 해상도를 나타냈다. OFF-AXIS 정렬방식에서는 0.2$\mu\textrm{m}$의 해상도를 가지며, 두빔의 간섭을 이용한 새로운 TTL 정렬은 0.1$\mu\textrm{m}$의 해상도를 나타냈다. 스텝퍼 패턴 실험결과 SAL603레지스트를 사용하였을 때 웨이퍼의 노광후 열처리 $105^{\circ}C$, 60초에서 0.3$\mu\textrm{m}$ Lines and Spaces(L/S)까지 해상되었으며, 0.34$\mu\textrm{m}$ L/S에서 1$\mu\textrm{m}$의 초점심도를 얻을 수 있었다. 마스크 패턴과 레지스트 패턴의 선형성은 0.4$\mu\textrm{m}$ L/S가지 유지 되었다. 또한 XP-89131레지스트의 경우 노광후 열처리 $110^{\circ}C$, 60초에서 0.34$\mu\textrm{m}$ L/S까지 해상됨을 알수 있었다.

• Journal of Magnetics
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• 제17권4호
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• pp.255-260
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• 2012

In this study, we determine that the electron paramagnetic resonance line-width (EPRLW) is axially symmetric about the c-axis and analyze the spin Hamiltonian with an isotopic g-factor of 1.9920 at a frequency of 9.5 GHz. It should be noted that the electron paramagnetic resonance signals are Lorentzian. Our findings show that the EPRLW decreases exponentially with an increase in the temperature; i.e., its temperature dependence in the range 300-400 K obeys Arrhenius behavior, this kind of temperature dependence indicates an off-center a motional narrowing of the spectrum when $Mn^{2+}$ impurity ions substitute for $Nb^{5+}$ ions. The specific heats follow a linear dependence suggesting a simple Debye $T^3$ behavior.

• 천문학회보
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• 제43권1호
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• pp.60.3-61
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• 2018

Abell 115 is a renowned cluster merger at z=0.197. It exhibits an asymmetric X-ray distribution with cometary tails and a megaparsec-sized radio relic stretching in the northeastern direction from the core of the northern cluster. Many observations have concluded that this cluster merger has a large impact parameter, but there has been no numerical analysis on the structure of Abell 115. In this study, we simulate Abell 115 with Gadget2 N-body/SPH code to reproduce the X-ray and weak lensing features of Abell 115. We find a new plausible merger scenario of Abell 115, wherein the northern cluster is currently in an outgoing phase. The predicted X-ray emission has a similar morphology to the observed tail of the northern cluster. However, in order to reproduce the observed line-of-sight velocity and projected distance while maintaining the two systems gravitationally bound, the system should possess a large projection angle, which makes the shock look considerably more diffused than the observed radio relic.

• 한국통신학회논문지
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• 제19권8호
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• pp.1433-1445
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• 1994

본 논문에서는 이축 투사 합성 분리함수(OA-pSDF) 근기한 가간섭성 광상관 시스템을 해석하고 이를 광학적으로 구현하고, 사용된 정합필터는 전형적인 pSDF와 단일 기준 평면파를 다중화하여 합성하였다. 합성된 pSDF는 이진위상필터(BPOF)로 변환되어 고가의 공간광변조기 대신 실시간 광상관 시스템에 사용될 수 있도록 컴퓨터 홀로그램(CGH)으로 제작되었다. 특성시험에서 OA-pSDF는 변형불변 특성과 부분집합 영상의 불변에도 좋은 성능을 보임을 알 수 있었다. 시뮬레이션과 광실험에서 제안된 OA-pSDF BPOF는 기존 BPOF의 크기, 회전, 비동일 평면에서의 변위 등에 성능이 저하되는 단점을 극복하고 출력 평면상에서 주어진 위치에서의 상관값을 관측함으로써 클래스간의 분별 또는 동일 클래스로의 인식 등에 훌륭한 분별력을 가짐을 확인할 수 있었다.