• 반도체디스플레이기술학회지
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• 제9권1호
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• pp.17-21
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• 2010

Currently miniaturized electron-optical columns find their way into electron beam lithography systems. For better lithography process, it is required to make smaller spot size and longer working distance. But, the micro-columns of the multi-beam lithography system suffer from chromatic and spherical aberration, even when the electron beam is exactly on the symmetric axis of the micro-column. The off-axis error of the electron emitting source is expected to become worse with increasing off-axis distance of the focusing spot. Especially the electron beams far from the system optical axis have a non-negligible asymmetric intensity distribution in the micro-column. In this paper, the effect of the off-axis e-beam source is analyzed. To analyze this effect is to introduce a micro-column model of which the e-beam emitting source is aligned with the center of the electron beam by shifting them perpendicular to the system optical axis. The presented solution can be used to analysis the performance of the multi-electron-beam system. The performance parameters, such as the working distances and the focusing position are obtained by the computational simulations as a function of the off-axis distance of the emitting source.

• Radiation Oncology Journal
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• 제14권3호
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• pp.237-244
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• 1996

목적 : 의료용 선형가속기의 Independent Collimator는 현재 광범위하게 사용되고 있다. 그러나 방사선량의 계산과 MU(Monitor Unit)의 계산에 사용되는 모든 기본 자료는 대칭 조사면를 기준으로 작성되었기 때문에 independent collimator를 사용한 비대칭적인 조사면의 경우 현재 사용하고 있는 계산 방식을 그대로 적용함에 무리가 있을 것으로 생각된다. 따라서 이러한 의문에 대한 체계적이고 과학적인 검토가 필요할 것으로 사료되어 본 연구를 진행하였다. 대상 및 방법 :본 연구는 Dual Photon Beam(6MV와 15MV)을 산출(産出)하는 선형가속기(Linac 1800, Varian Co)에서 collimator 사용시 산란 방사선의 총채로 표현되어지는 field size factor, beam qualify에 영향을 미치는 HVL와 PDD를 조사하였다. 먼저 field size factor는 water phantom(WP 600C Wellhofer, Germany)내의 Dmax에서 field size $3{\times}3cm$에서 $35{\times}35cm$까지의 방사선량의 변화를 square field로 $1cm^2$씩 증가시켜 가며 0.6cc ion chamber(NE 2571)로 측정하였다. Beam quality는 100cm SSD(source-surface distance)에서 $5{\times}5$, $10{\times}10$, $15{\times}15$ 및 $20{\times}20cm$ field size로 0, 3 및 10cm off-axis distance와 dmax 4, 10, 15 및 20cm의 깊이에서 측정하였다. Dose distribution을 분석하기 위하여 film densitometer와 water phantom(IC 10 ion chamber)을 사용, $10{\times}10cm$ field size에서 5, 10 및 15cm의 off-axis distance까지의 방사선량의 분포를 관찰하고 대칭 방사선 조사면와 비교 분석하여 실제 isodose 분포에 미치는 영향을 관찰하였다. 결과: 1) Relative field size factor는 중심 축에서 off-axis lateral distance에 따라 다양하게 변화하였는데 6MV X-선의 경우 최대 $3.1\%$, 15MV X-선의 경우 최대 $5\%$까지의 변화를 보였다. 이때 off-axis factor를 구하여 교정을 하였을 경우 중심 축의 field size factor와 거의 유사한 값에 도달할 수 있었다. 2) Beam qualify의 변화를 관찰하기 위한 실험에서 HVL는 off-axis distance가 멀어질수록 감소하였고 PDD도 off-axis distance가 멀어지고 측정 깊이가 깊어질수록 감소되는 현상을 보였다. 통상적인 방사선 치료시에 이용되는 $5{\times}5cm$ 이상의 field size와 15cm 이내의 깊이에서는 3cm 와 l0cm의 off-axis에서 6MV X-선은 평균 $0.5\%$와 $2\%$, 15MV X선은 $0.4\%$와 $1.4\%$의 감소 현상을 보여 큰 편차를 관찰할 수 없었다. 3) Isodose distribution은 off-axis distance가 멀어질수록 depth dose의 증가치가 감소되었으며 특히 central axis의 가장자리 부위에서는 isodose curve의 위축이 확연하였다. 결론 : Independent collimator를 사용하여 비대칭 방사선 치료를 할 경우 MU의 계산은 off-axis factor와 PDD 보정이 필수적이며 임상적으로는 중심 축에서의 과소조사에 대한 정밀한 주의가 필요할 것으로 사료된다.

• Current Optics and Photonics
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• 제5권4호
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• pp.402-408
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• 2021

An off-axis system refers to an optical system in which the optical axis and normal vector at the vertex of each surface do not match. The most important specification in an optical system is its focal length. Among the various methods for measuring the focal length, the most suitable method for the off-axis system is the method that adopts magnification. However, head-mounted display (HMD) optics must be measured while considering the virtual image distance, which is not infinity owing to product characteristics. For the virtual image distance, a camera with a focusing function was used. By measuring HMD optics via this magnification method, the error generated in this measurement was 0.68% of the HMD's focal length, which is within the 1%-3% range of the conventionally permitted design error for the focal length allowed at the optical design stage. Therefore, it can be verified that the measurement accuracy of the method proposed in this study is sufficiently feasible in practice.

• 한국광학회지
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• 제5권2호
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• pp.204-211
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• 1994

팩시밀이나 복사기용으로 이용되는 micro lens array를 설계하였다. array 형태는 육각형배열이고 유효경은 0.160mm, 가장 가까운 이웃렌즈의 중심간 거리는 0.192mm로 하였다. 결상계의 횡배율은 1.0이다. single layer는 working distance가 10.55mm, double layer는 working distance가 7.90mm가 되었다. 각각의 성능은 ray fan을 계산하여 그 특성을 조사하였으며 서로 비교하였다.

• Journal of the korean society of oceanography
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• 제37권3호
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• pp.196-200
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• 2002

The time variation in the Kuroshio is studied by use of nine observed distances of the main Kuroshio axis from the Japanese coast. The observed distances over 1975 - 1995 are estimated from the Prompt Report of Oceanographic Conditions published by Hydrographic Department of the Maritime Safety Agency of Japan. It is shown that large sea level difference between Naze and Nishinoomote, which represents the volume transport of the southern inflow south of Kyushu, coincides with larger distance of the Kuroshio in the upstream area from off Kyushu to off eastern Kii Peninsula and smaller distance in the downstream area from off Omae-zaki to off Boso Peninsula. In contrast, large sea level difference between Nishinoomote and Aburatsu, which represents the volume transport of northern inflow south of Kyushu, corresponds to smaller distance in the upstream area and larger distance in the downstream area. Path dynamics of the Kuroshio is discussed with reference to the variation in Volume transport south of Kyushu.

• Current Optics and Photonics
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• 제6권1호
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• pp.44-50
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• 2022

An off-axis zone plate is able to focus on a single order while neglecting the zeroth order in a visible imaging system. This allows one to enhance the contrast quality in diffractive images, which is the major advantage of this type of zone plate. However, most previous reflection zone plates are used in focusing X-rays with a small grazing incident angle and are intricately designed with the use of a local grating period. In this study, we suggest the design of an off-axis elliptical zone plate (EZP) that is used to focus a monochromatic light beam with separation between the first and unfocused orders under a large grazing incident angle of 45°. An assumption using the total grating period, which depends on the average and constant grating period, is proposed to calculate the desired distance between the first and zeroth order and to simplify the construction of a novel model off-center EZP. Four diffractive optical elements (DOEs) with different parameters were subsequently fabricated by direct laser lithography and then verified using a performance evaluation system to compare the results from the assumption with the experimental results.

• 한국기계가공학회지
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• 제9권5호
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• pp.14-19
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• 2010

A computational study was carried out to analyze the characteristics of supersonic (Mach 2.0) coaxial/off-axis jet's impingements on a slanted kerf surface in laser machining. The effects of various parameters such as gas pressure, distance between nozzle exit and kerf edge surface, and application of off-axis nozzles on the impingement phenomena of the assist-gas on kerf surface were observed. The present study showed that simply increasing the assist-gas pressure for coaxial supersonic nozzle was not effective to alleviate the strength of flow separation on kerf surface. It also presented the optimized operating condition of the coaxial nozzle to have the highest skin friction values over kerf surface.

• 대한방사선치료학회지
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• 제16권1호
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• pp.1-9
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• 2004

목적 : 본 연구의 목적은 소조사면의 선량특성을 측정하며 콜리메이터의 위치에 따른 반음영의 변화와 중심선량의 분포양상을 측정하며 측외측정선량점의 변화에 따른 선량분포의 특성을 측정하여 최근 대두되고 있는 소조사면 방사선치료에 유용한 정보를 제공하는데 그 목적이 있다. 대상 및 방법 : 지멘스의 Primart 선형가속기의 6MV에너지를 이용하였으며 측정은 Farmer chamber와 Pinpoint chamber를 이용하여 심부선량율과 beam profile, 중심출력선량의 변화를 측정하였다. 중심선속의 변화에 따른 에너지의 특성과 반음영의 변화를 외측으로 2cm 간격으로 측정하였다. 측정은 $1{\times}1cm,\;3{\times}3cm,\;5{\times}5cm,\;10{\times}10cm$에서 측정하였으며 결과는 표준조건하의 측정값과 비교, 분석하였다. 결과 : Farmer chamber와 Pinpoint chamber를 이용해 $1{\times}1cm$, 10cm깊이에서 측정한 결과 두 측정기간에 소조사면에서는 $30\%$ 이상의 차이를 보였으며 조사면의 크기가 증가함에 따라 두 측정기간의 차이는 급격히 감소했다. 측외측정점의 변화에 따른 선량분포는 큰 차이가 없었으나 조사야의 크기가 감소함에 따라 $1{\times}1cm$에서는 약 $13\%$의 차이를 보여 조사야 크기에 따른 변화가 큰 것으로 측정되었다. 전체조사면에서 반음영이 차지하는 비율도 조사면이 적어짐에 따라 높게 나타났으며 $1{\times}1cm$의 조사면에서는 약 $50\%$가 반음영이 점유하는 것으로 측정되었다. 결론 : 세기조절방사선 치료를 위해서는 각기 다른 에너지 분포를 갖는 여러 각도에서 다수의 조사면를 필요로 하며 여러 복잡한 인자들이 관여하게 된다. 여러 인자들 중에서도 콜리메이터의 형태 및 위치에 따른 출력선량의 변화 양상을 정확히 측정하는 것은 매우 중요하다. 실험결과에서도 알 수 있듯이 측정깊이와 조사면의 크기 및 측정기의 종류에 따른 측정값의 변화가 매우 크게 나타나므로 양질의 세기조절방사선 치료를 제공하기 위해서는 특히 소조사면의 선량분포에 대한 특성을 정확히 측정하는 것이 매우 중요하다.

• 한국정보통신학회:학술대회논문집
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• 한국해양정보통신학회 2006년도 춘계종합학술대회
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• pp.611-614
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• 2006

ITU-R 결의 122는 47/48GHz 대역에서 위성 우주국 수신기와의 주파수 공유를 위해 HAPS 지상국에 대한 전력 제한에 대한 연구를 요구하고 있으며, ITU-R 권고 SF.1481-1에서는 FSS 시스템과의 주파수 공유를 위해 HAPS 지상국의 안테나 방사 패턴의 사이드 로브 특성을 개선하도록 권고하고 있다. 이에 본 논문에서는 HAPS 및 GSO FSS 서비스 커버리지간 비현실적인 이격거리를 줄이면서 결의 122에서 요구하고 있는 HAPS 지상국에 대한 전력 제한 및 권고 SF.1481-1의 지상국 안테나 사이드 로브 개선 등을 고려한 지상국의 최대 허용 off-axis e.i.r.p. 레벨을 제안함으로서 HAPS 지상국과 FSS 위성 수신기간의 주파수 공유의 가능성을 보인다.

• 한국정보통신학회논문지
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• 제11권3호
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• pp.459-464
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• 2007

ITU-R 결의 122는 47/48GHz 대역에서 위성 우주국 수신기와의 주파수 공유를 위해 HAPS 지상국에 대한 전력 제한에 대한 연구를 요구하고 있으며, ITU-R 권고 SF.1481-1에서는 FSS 시스템과의 주파수 공유를 위해 HAPS 지상국의 안테나 방사 패턴의 사이드 로브 특성을 개선하도록 권고하고 있다. 이에 본 논문에서는HAPS 및 GSO FSS 서비스 커버리지간 비현실적인 이격거리를 줄이면서 결의 122에서 요구하고 있는 HAPS 지상국에 대한 전력 제한 및 권고 SF.1481-1의 지상국 안테나 사이드 로브 개선 등을 고려한 지상국의 최대 허용 off-axis e.i.r.p. 레벨을 제안함으로써 HAPS 지상국과 FSS 위성 수신기간의 주파수 공유의 가능성을 보인다.