• 제목/요약/키워드: multilayer ceramics

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Effects of Chamber Pressure on Dielectric Properties of Sputtered MgTiO3 Films for Multilayer Ceramic Capacitors

  • Park, Sang-Shik
    • 한국재료학회지
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    • 제20권7호
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    • pp.374-378
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    • 2010
  • $MgTiO_3$ thin films were prepared by r.f. magnetron sputtering in order to prepare miniaturized NPO type MLCCs. $MgTiO_3$ films showed a polycrystalline structure of ilmenite characterized by the appearance of (110) and (202) peaks. The intensity of the peaks decreased with an increase in the chamber pressure due to the decrease of crystallinity which resulted from the decrease of kinetic energy of the sputtered atoms. The films annealed at $600^{\circ}C$ for 60min. showed a fine grained microstructure without micro-cracks. The grain size and roughness of the $MgTiO_3$ films decreased with the increase of chamber pressure. The average surface roughness was 1.425~0.313 nm for $MgTiO_3$ films prepared at 10~70 mTorr. $MgTiO_3$ films showed a dielectric constant of 17~19.7 and a dissipation factor of 2.1~4.9% at 1MHz. The dielectric constant of the films is similar to that of bulk ceramics. The dielectric constant and the dissipation factor decreased with the increase of the chamber pressure due to the decrease of grain size and crystallinity. The leakage current density was $10^{-5}\sim10^{-7}A/cm^2$ at 200kV/cm and this value decreased with the increase of the chamber pressure. The small grain size and smooth surface microstructure of the films deposited at high chamber pressure resulted in a low leakage current density. $MgTiO_3$ films showed a near zero temperature coefficient and satisfied the specifications for NPO type materials. The dielectric properties of the $MgTiO_3$ thin films prepared by sputtering suggest the feasibility of their application for MLCCs.

MCM-C 기술을 이용한 저잡음 증폭기의 제작 및 특성평가 (Fabrication and Characterization of Low Noise Amplifier using MCM-C Technology)

  • 조현민;임욱;이재영;강남기;박종철
    • 한국마이크로전자및패키징학회:학술대회논문집
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    • 한국마이크로전자및패키징학회 2000년도 추계 기술심포지움 논문집
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    • pp.61-64
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    • 2000
  • IMT 2000 단말기용 2.14 GHz 대역의 저잡음 증폭기 (Low Noise Amplifier, LNA)를 MCM-C 기술을 이용하여 제작하고 그 특성을 측정하였다. 먼저 저잡음 증폭기 회로를 설계한 후, 각 소자들의 고주파 library를 이용한 회로 시뮬레이션으로과 특성을 확인하였다. 시뮬레이션 상에서 이득(Gain)은 17 dB 였으며, 잡음지수 (Noise Figure)는 1.4 dB 였다. MCM-C 저잡음 증폭기는 LTCC 기판과 전극 및 저항체의 동시소성에 의해 코일(L), 콘덴서(C), 저항(R)을 기판 내부에 넣었으며, 마이크로 스트립 라인과 SMD 부품의 실장을 위한 Pad를 최상부에 제작하였다. 기판은 총 6 층으로 구성하였으며, 내부에 포함된 수동소자는 코일 2개, 콘덴서 2개, 저항 3개 등 총 7 개 였다. 시작품의 특성 측정 결과, 2.14 GHz에서 이득은 14.7 dB 였으며, 잡음지수는 1.5 dB 정도의 값을 가졌다.

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Interfacial modulus mapping of layered dental ceramics using nanoindentation

  • Theocharopoulos, Antonios L;Bushby, Andrew J;P'ng, Ken MY;Wilson, Rory M;Tanner, K Elizabeth;Cattel, Michael J
    • The Journal of Advanced Prosthodontics
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    • 제8권6호
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    • pp.479-488
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    • 2016
  • PURPOSE. The aim of this study was to test the modulus of elasticity (E) across the interfaces of yttria stabilized zirconia (YTZP) / veneer multilayers using nanoindentation. MATERIALS AND METHODS. YTZP core material (KaVo-Everest, Germany) specimens were either coated with a liner (IPS e.max ZirLiner, Ivoclar-Vivadent) (Type-1) or left as-sintered (Type-2) and subsequently veneered with a pressable glass-ceramic (IPS e.max ZirPress, Ivoclar-Vivadent). A $5{\mu}m$ (nominal tip diameter) spherical indenter was used with a UMIS CSIRO 2000 (ASI, Canberra, Australia) nanoindenter system to test E across the exposed and polished interfaces of both specimen types. The multiple point load - partial unload method was used for E determination. All materials used were characterized using Scanning Electron Microscopy (SEM) and X - ray powder diffraction (XRD). E mappings of the areas tested were produced from the nanoindentation data. RESULTS. A significantly (P<.05) lower E value between Type-1 and Type-2 specimens at a distance of $40{\mu}m$ in the veneer material was associated with the liner. XRD and SEM characterization of the zirconia sample showed a fine grained bulk tetragonal phase. IPS e-max ZirPress and IPS e-max ZirLiner materials were characterized as amorphous. CONCLUSION. The liner between the YTZP core and the heat pressed veneer may act as a weak link in this dental multilayer due to its significantly (P<.05) lower E. The present study has shown nanoindentation using spherical indentation and the multiple point load - partial unload method to be reliable predictors of E and useful evaluation tools for layered dental ceramic interfaces.

Ferrite/varistor의 동시소성 거동에 대한 분체특성의 영향 (The effect of powder characteristics on the behavior of Co-firing of ferrite and varistor)

  • 한익현;이용현;명성재;전명표;조정호;김병익;최덕균
    • 한국결정성장학회지
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    • 제17권2호
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    • pp.63-68
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    • 2007
  • EMI filter와 같은 적층형 세라믹 제조 시 공정 상 많은 문제점이 야기된다. 특히 표면과 계면에서의 crack, camber, delamination 같은 결함이 없는 적층체를 얻기 위해 서로 다른 두 재료의 동시 소성에 의한 수축율 조절이 필수적이다. 본 연구에서는 ferrite의 분체 특성을 통해 varistor/ferrite의 동시소성 거동을 연구하였다. ferrite 분말을 각각 24시간, 48시간, 72시간 분쇄하여 varistor와 ferrite 각각의 슬러리를 제조하고 doctor blade법으로 green sheet를 제조하였다. 슬러리는 분말 55wt(%)에 binder solution 45wt(%)로 혼합하여 제조하였다. Varistor와 ferrite green sheet는 $80 kg/cm^2$로 적층하여 $900^{\circ}C$, $1000^{\circ}C$에서 3시간 소결 하였다. 그 결과 분쇄시간과 소결온도 조절로 결함이 없는 동시 소성된 ferrite/varistor 적층체를 제조 할 수 있었다.

IMT-2000용 초소헝 적층형 대역 통과 칩 필터 설계 및 제작 (Miniaturized Multilayer Band Pass Chip filter for IMT-2000)

  • 임혁;하종윤;심성훈;강종윤;최지원;최세영;오영제;김현재;윤석진
    • 한국세라믹학회지
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    • 제40권10호
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    • pp.961-966
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    • 2003
  • BiN $b_{0.975}$S $b_{0.025}$ $O_4$저온 동시 소결 세라믹 후막 및 적층 세라믹(Multi-Layer Ceramic, MLC) 공정 기술을 이용한 소형 마이크로파 필터를 설계 및 제작하였다. MLC 칩 대역 통과 필터(BPF)는 소형화와 낮은 가격이라는 장점을 가지고 있다. 제안된 필터는 stripline 공진기와 결합 캐패시터로 구성되며, IMT-2000용 단말기의 수신단 통과 대역에 적합하며 통과 대역 아래쪽 저지 대역에 감쇠극이 형성되도록 설계하였다. 상용 마이크로파 회로 및 구조 설계 tool를 이용하여 제안된 MLC칩 대역 통과 필터의 공진기 전자기적 결합량 변화 및 결합 캐패시턴스에 따른 필터의 주파수 특성, 특히 감쇠극의 위치 변화에 대해 살펴보았다. 제작된 MLC 칩 BPF의 주파수 특성은 시뮬레이션 결과와 매우 일치하였다.

Li2CO3와 B2O3를 첨가한 Bi1/2Na1/2TiO3-SrTiO3 무연 압전 세라믹스의 저온 소성 연구 (Low Temperature Sintering of Lead-Free Bi1/2Na1/2TiO3-SrTiO3 Piezoceramics by Li2CO3-B2O3 Addition)

  • 이상섭;박영석;즈엉 짱 안;무클리샤 아이샤 데비타;한형수;이재신
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제35권1호
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    • pp.24-31
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    • 2022
  • This study investigated microstructures, crystal structures, polarization, dielectric and electromechanical properties of 0.76Bi1/2Na1/2TiO3-0.24SrTiO3 (BNT-24ST)-based piezoceramcs by adding Li2CO3 and B2O3 (LB) as sintering aids for low-temperature sintering. All samples were successfully synthesized using conventional solid-state reaction method and sintered at 950, 1,000, 1,050, 1,100 and 1,175℃ for 2 hours. Without LB, specimens required sintering temperatures over 1,175℃ for sufficient densification, while the addition of 0.10-mol LB decreased the sintering temperatures down to 950℃. The average grain size and dielectric properties of BNT-24ST-10LB ceramics were enhanced with increasing sintering temperature. We found that the low-temperature sintered BNT-24ST piezoceramics by adding LB showed the d33*value of 402 pm/V at 4 kV/mm after sintering at 1,050℃, which was better than that of high-temperature fired specimens sintered at 1,175℃ without LB (242 pm/V). We believe that the results of this study promise a candidate for low-cost multilayer ceramic actuator applications.