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유도 결합 플라즈마를 이용한 {Y-2}{O_3}$ 박막의 식각 특성 연구 (A study on Etch Characteristics of {Y-2}{O_3}$ Thin Films in Inductively Coupled Plasma)

  • 김영찬;김창일
    • 대한전자공학회논문지SD
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    • 제38권9호
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    • pp.611-615
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    • 2001
  • Y₂O₃ 박막은 MFISFET형 FRAM의 절연층으로써 응용이 기대되고 있다. 본 논문에서는 ICP에서 Cl₂/Ar 플라즈마를 이용하여 Y₂O₃ 박막을 식각하였다. Y₂O₃박막의 식각율과 YMnO₃ 에 대한 Y₂O₃ 박막의 선택비를 Cl₂/(Cl₂+Ar) 가스혼합비에 따라 조사하였다. Cl₂/(Cl₂+Ar) 가스 혼합비가 0.2일 때 Y₂O₃ 박막의 식각 속도는 302Å/min 으로 최대였으며, 그때 YMnO₃ 에 대한 Y₂O₃ 박막의 선택비는 2.4 이었다. Cl₂가스의 첨가량에 따라 Y₂O₃박막의 식각 속도에 어떠한 영향이 있는지 조사하기 위해 OES를 이용하였고, 식각 후 표면 반응을 알아보기 위하여 XPS 분석을 수행하였다. XPS 분석 결과 Y과 Cl과의 화학 반응이 있음을 확인하였고 그러한 분석결과는 SIMS 분석으로 확인되었다.

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초임계 이산화탄소내 비이온성 계면활성제를 이용한 마이크로에멀젼 형성연구 (Microemulsions in Supercritical Carbon Dioxide Utilizing Nonionic Surfactants)

  • 고문성;유재룡;박광헌;김홍두;김학원
    • 청정기술
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    • 제10권4호
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    • pp.221-228
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    • 2004
  • 비이온성 계면활성제인 Ethoxylated Nonyl Phenol 계열(NP-Series)을 초임계 이산화탄소내 마이크로에멀젼 형성 연구에 적용하였다. 초임계 이산화탄소내 용해도 측정결과, 기존에 잘 알려진 친이산화탄소성 계면활성제가 아님에도 안정적인 용해도를 나타내었고, 물과의 마이크로에멀젼 형성에 있어서도 안정적으로 형성되었다. 마이크로에멀젼 형성을 위한 NP-시리즈 계면활성제의 친이산화탄소성기에 대한 친수성기의 길이 배합을 실험을 통해 NP-4 계면활성제(N=4)로 최적화하였다. 마이크로에멀젼 형성을 분광학적 방법인 UV-Visible 스펙트럼을 측정하여 확인하고, 마이크로에멀젼내 물의 존재성도 확인하였다. 금속표면처리나 도금의 적용을 위해 산성용액과 마이크로에멀젼 형성을 실험한 결과, 이온성 계면활성제는 산성용액과의 반응에서 마이크로에멀젼 형성이 불안정해지는 반면, 비이온성 계면활성제는 안정적으로 형성되었다. 본 연구결과는 친환경적 용매인 이산화탄소의 응용분야를 보다 넓힐 수 있을 것이다.

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열처리에 따른 실리카 피착 ${\gamma}-Fe_{2}O_{3}$의 특성 (Characteristics of Silica Coated ${\gamma}-Fe_{2}O_{3}$ with Heat-treatment)

  • 이재영;변태봉;김대영;이현;한기현;손진군
    • 한국자기학회지
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    • 제3권2호
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    • pp.108-114
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    • 1993
  • 자기기록매체에 적합한 실리카 피착 ${\gamma}-Fe_{2}O_{3}$ 제조에 있어서 실리카 피착의 효과와 영향에 대하여 검토하였다. 특히 ${\gamma}-Fe_{2}O_{3}$ 제조시 열처리단계에 있어서 실리카 피착의 효과와 분말의 특성과의 상관관계를 조사하는데 연구의 중점을 두었다. 수산화철 표면에 무기물질인 실리카성분을 물유리를 사용하여 피착한 시료와 피복하지않은 시료를 후속 열처리하여 ${\gamma}-Fe_{2}O_{3}$를 제조한후 이들 분말의 특성을 조사하였다. ${\gamma}-Fe_{2}O_{3}$에 피복된 실리카 피착층은 환원 시 과환원과 급속한 산화반응을 억제하는 확산장벽으로 작용하여 최종제품내에 ${\alpha}-Fe_{2}O_{3}$의 혼입을 방지하기 때문에 실리카 피복된 ${\gamma}-Fe_{2}O_{3}$는 높은 자화특성을 나타내었다. 또한 실리카 피척층은 소결 억제제로 작용하여 실리카가 피복된 시료의 경우 침상성이 우수하여 높은 보자력과 비표면적을 나타내었다.

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부가중합형 실리콘 교합인기재의 탄성 특성 (Elastic properties of addition silicone interocclusal recording materials)

  • 이영옥;김경남
    • 한국치위생학회지
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    • 제12권3호
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    • pp.513-520
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    • 2012
  • Objectives : In this study, contact angle and shore D hardness were measured, and a shark fin test was conducted after selecting five addition silicon(Blu-Mousse, BM; EXABITE II, EX; PERFECT, PF; Regisil$^{(R)}$ Rigid, RE; Silagum$^{(R)}$, SI) in order to figure out the properties of elastomeric interocclusal recording materials and reduce errors at interocclusal recording. 8) Methods : A contact angle was measured using a contact angle analyzer. After placing a drop of liquid on the surface of the specimens of interocclusal recording materials, a contact angle was photographed with a CCD camera on the equipment. In terms of a shark fin test, interocclusal recording materials were mixed for the time proposed by the manufacturer and inserted into the split ring of the Shark fin device. Twenty (20) seconds exactly, a metal rod was removed to make the materials slowly absorbed. Once they hardened, fin height was measured with a caliper after separating molds and trimming the specimens. The shore D hardness was measured with a shore D hardness tester(Model HPDSD, Hans Schmidt & Co. Gmbh, Germany) in sixty (60) minutes after fabricating specimens. In each experiment, five specimens, mean and standard deviation were calculated. A one-way ANOVA test was performed at the p>0.05 level of significance. In terms of correlation among the tests, Pearson correlation coefficient was estimated. For multiple comparison, Scheffe's test was carried out. Results : A contact angle was the highest in EX with $99.23^{\circ}$ (p<0.05) while the result of the shark fin test was the longest in RE with 5.45mm. SI was the lowest (0.27mm) with statistical significance. Among the interocclusal recording materials, significant difference was observed in terms of means (p<0.05). The shore D hardness was the highest in SI with 31.0 while RE was significantly low with 16.4 (p<0.05). Among the materials, statistically significant difference was observed in terms of means when compared to the rest materials (RE), BM, RE and SI (PF and EX) and the remaining materials (BM and SI) (p<0.05). In terms of correlations among the tests, a negative correlation occurred between shore D hardness and shark fin test(r=-0.823, p=0.000). Conclusions : According to the study above, it is necessary to understand the properties of interocclusal recording materials and consider contact angle, shark fin test and properties of shore D hardness to select appropriate materials.

Pt/TiO2의 HS 산화반응 및 SO2 피독과 재생 방안 연구 (A Study on the H2 Oxidation over Pt/TiO2, SO2 Poisoning and Regeneration)

  • 이동윤;김성수
    • 공업화학
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    • 제30권6호
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    • pp.731-736
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    • 2019
  • 본 연구에서는 Pt/TiO2를 파우더 및 허니컴 형태로 제조하고, 촉매의 피독 물질인 SO2에 대한 영향과 재생 방안을 연구하였다. 이에 따라 Pt/TiO2의 SO2 노출 전·후 촉매 활성을 비교하였다. Pt/TiO2의 초기 활성은 주입되는 H2 농도(1~5%)에 비례하며, 촉매의 온도와 H2 전환율이 각각 최대 183 ℃와 95%로 나타났다. 2,800 ppm SO2를 파우더 및 허니컴 Pt/TiO2에 노출시켰고, 이때 성능이 나타나지 않았고 촉매 표면에 0.69%의 황(S)이 잔류함을 확인하였다. 피독 촉매에 대한 세척 및 열처리 결과, 파우더 촉매는 세척에 의해 96% 이상의 H2 전환율을 나타냈고 허니컴 촉매는 H2 또는 air 분위기의 열처리를 통해 촉매 활성이 재생되어 95% 이상의 H2 전환율이 확인되었다.

X선 촬영시 산란선 방향 의존성에 관한 연구 (A Study on the Directional Dependence of Scatter Ray in Radiography)

  • 오현주;김성수;김영일;임한영;김흥태;이후민;김학성;이상석
    • 대한방사선기술학회지:방사선기술과학
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    • 제18권1호
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    • pp.63-70
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    • 1995
  • In this pauper, the back, forward, side and $45^{\circ}$ oblique scatter dose were measured the X-ray exposure conditions 60, 80, 100, 120kV, FFD 100cm, FS $20\times20cm$, toward the $25\times25cm\times10\sim20cm$ of solid water, paraffin and MiX-DP phantom, and Pb, Cu, Al, and styrofoam meterials, by the electrometer and 5.3 cc ionization chamber. The obtained results are summarized as following. 1. The percentage depth dose(PDD) at the range of the diagnostic x-ray energy were appeared 50 % depth dose at the 2 cm depth with 60 kV, and 5 cm depth with 120 kV X-ray, 10 % depth dose at the 10 cm depth with 60 kV and 14 cm depth with 120 kV X-ray, 5 % below depth dose at the 20 cm depth. 2. The back scatter dose which were generated the surface of Pb, Cu and Al metal plates were 10 % below, and than the back scatter dose at the Pb plate were a most amount of these which were about 10 %, and were appeared the order of Cu and Al. 3. The percentage forward scatter were appeared from 50 % to 65 %, and the more phantom thicknees become, the more forward scatter were increased with the ratio of 5 % per 5 cm thickness. 4. The percentage back scatter which were generated the tissue equivalence meterials solid water, paraffin and MiX-DP were from 20 % to 40 %, and than the back scatter dose at the solid water were a mest amount of those, and paraffin and MiX-DP were appeared with the next values. 5. The percentage $90^{\circ}$ lateral and $45^{\circ}$ oblique side scatter dose were measured from 4 % to 12 %. a most amount of scatter dose which were generated from the patient in radiography were the forward scatter, the next values were the back scatter, the third values were the $90^{\circ}$ lateral scatter.

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천수만 퇴적물에서 미량금속의 지화학적 특성 (Trace metals in Chun-su Bay sediments)

  • 송윤호;최만식;안윤우
    • 한국해양학회지:바다
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    • 제16권4호
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    • pp.169-179
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    • 2011
  • 본 연구에서는 미량 금속의 농축 가능성이 제기되는 천수만 퇴적물에 대하여 미량 금속의 조절 요인과 농축 정도를 파악하고자 하였다. 천수만 전역에 걸쳐 27개의 표층 퇴적물을 채취하였으며, 입도, 비표면적, 유기탄소 및 탄산칼슘 함량과 주성분 및 미량 금속(Al, Fe, Na, K, Mg, Ca, Ti, Mn, P, S, Ba, Sr, Li, Co, Cr, Ni, Cu, Zn, As, Cd, Cs, Sc, V, Sn) 농도를 분석하였다. 퇴적물의 총 금속 농도는 크게 3 가지 요인(석영, 희석, 탄산칼슘, 굵은 모래 혹은 정장석)에 의해 조절되었는데 V, Co, Cr, Ni, Cu, Zn, As, Cd는 석영 희석 효과(quartz dilution effect)에 의해 Mn 및 As는 석영 희석 효과와 정장석(굵은 모래) 함량의 복합적 요인에 의해 조절되었다. 농축 인자(enrichment factor) 및 약산(1 M HCl) 용출 실험 결과 천수만 퇴적물에서 미량 금속은 농축되지 않았음을 알 수 있었으며 금속의 농도는 퇴적물의 지화학적 특성들로 잘 설명되었다. 특징적으로 As는 조립질 퇴적물에서도 세립질 퇴적물과 유사한 농도를 보여주었는데, 이것은 조립질 퇴적물 내 Mn 산화물(용출 부분) 및 정장석(잔류 부분)과 밀접한 관련이 있는 것으로 해석되었다. 따라서 퇴적물 중 As의 농축 정도를 평가할 경우, 모래질을 포함하는 시료는 모래질 부분을 따로 분리하거나 $16{\mu}m$보다 작은 세립질 퇴적물의 함량이 10% 이상인 시료만을 대상으로 하는 것이 합리적인 것으로 판단된다.

시설재배지(施設栽培地) 토양(土壤) 및 채소류중(菜蔬類中) 중금속함량(重金屬含量) 조사(調査) (Heavy Metal Contents in Soils and Vegetables in the Plastic Film House)

  • 정구복;정기열;조국현;정병간;김규식
    • 한국토양비료학회지
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    • 제30권2호
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    • pp.152-160
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    • 1997
  • 우리나라 전국 주요 시설재배지 토양을 표토 0-15cm와 심토 15-30cm 깊이로 구분하여 522점의 시료를 채취하고 중부지역에서 채소류 147점을 수확기에 채취하여 이들 토양 및 채소시료중에 함유된 Cd, Cu, Pb, Zn 및 As 함량을 조사한 결과를 요약하면 다음과 같다. 토양중 0.1N-HCl 가용성 중금속의 평균함량은 카드뮴 0.208(0.027~0.605), 구리 3.69(0.18~31.37), 납 2.49(0.02~33.55), 아연 23.3(2.1~113.2), 비소 0.65(0.03~2.2)mg/kg 이었다. 시설재배지 토양의 중금속 함량은 모두 '89년 조사한 일반 밭토양 자연함량보다 높은 함량을 보였고, 특히 카드뮴 및 아연함량이 시설재배지에서 높게 나타났다. 또한 시설 경작년수가 증가함에 따라 카드뮴, 구리 및 아연함량이 증가하였고 퇴비종류별로는 돈분퇴비 시용농가에서 높은 함량을 보였다. 그러나 시설재배지 토양의 중금속함량은 토양환경보전법의 토양오염 우려 및 대책기준과 비교하여 매우 낮은 함량수준으로 나타나 작물재배에 안전한 수준이었다. 채소 생체중의 중금속 평균함량은 카드뮴 0.015~0.047, 구리 0.341~0.802, 납 0.080~0.356, 아연 1.08~8.04, 비소 0.021~0.059mg/kg 으로 나타나 카드뮴 및 납의 경우 EU의 채소류 식품검토안(Cd : 0.10mg/kg, Pb : 0.50 mg/kg) 이하로 안전한 수준이었다.

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증류수 및 NaCl 용액내 SnPb 솔더 합금의 Electrochemical Migration 우세 확산원소 분석 (Dominant Migration Element in Electrochemical Migration of Eutectic SnPb Solder Alloy in D. I. Water and NaCl Solutions)

  • 정자영;이신복;유영란;김영식;주영창;박영배
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제13권3호
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    • pp.1-8
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    • 2006
  • 인쇄회로기판이나 플라스틱 패키지 등 다양한 전자소자 부품내 배선간 간격이 갈수록 좁아짐에 따라 최근 많이 발생하고 있는 electrochemical migration(ECM) 현상은 양극에서 이온화된 금속에 의한 conductive anodic filament(CAF) 및 덴드라이트와 같은 전도성 필라멘트의 성장으로 인해 전자부품의 절연파괴를 일으키고 있다. 본 연구에서는 공정조성 Sn-37Pb솔더 합금의 ECM 거동과 부식특성 사이의 연관성 평가를 통해 ECM 우세원소를 파악하기 위해 D.I Water 및 NaCl 용액에서 Water Drop Test(WDT)와 분극실험을 실시하여 서로 비교하였다. WDT 실시 결과 공정조성 Sn-37Pb 솔더 합금에서 Pb-rich 상이 Sn-rich 상보다 우선적으로 양극 패드에서 녹아나서 상대적으로 ECM 저항성이 낮았으며, 음극패드에서 자라난 덴드라이트에도 Pb가 훨씬 많이 존재하였다. NaCl에서의 분극실험 결과 전기화학적으로 부동태 피막을 형성하는 Sn에 비해 Pb의 부식속도가 크게 나타났으며, WDT의 결과와 같은 경향을 보였다. 따라서 공정조성 SnPb 솔더 합금의 부식저항성과 ECM 저항성 사이에는 좋은 상관관계가 존재한다.

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Poly-lysine이 연결된 hEGF와 angiogenin의 융합단백질의 고체상 재접힘 (Solid-Phase Refolding of Poly-Lysine fusion Protein of hEGF and Angiogenin)

  • 박상중;류강;서창우;채영규;권오병;박승국;이은규
    • KSBB Journal
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    • 제17권2호
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    • pp.153-157
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    • 2002
  • Poly-Iysine이 tagging된 hEGF와 angiogenin(6L10ESA)의 융합단백질의 고체상 재접힘이 heparin-Sepharose colullln에서 수행되었을 때, untagging 단백질(E5h)의 기존의 액상 재접힘 방법과 비교하여 재접힘 수율은 약 13배 정도 증가하였다. 게다가 poly-Iysine tagging된angiogenin은 heparin에 친화도를 높여주므로 2.5배에서 3배 정도의 흡탁 수율이 증가한다. 재접힘 수율은 고체상 반응으로 인해 높은 재현성을 보였다. 재접힘 공정시간은 대략 8배 단축되었다. 고체상 재전힘된 단백질은 자신의 생물학적 역가를 유지하였다. 따라서 이 연구는 고체상 재접힘 방법이 분자간의 상호작용을 억제하여 응집현상을 현저히 줄였기 때문에 기인한 결과로 생각된다. 따라서 응집으로 인한 재접힘 수율이 낮은 단백질의 재접힘 긍정에 고체상 재접힘 공정을 사용하면 높은 재접힘 수율을 얻을 수 있다.