Measuring the thickness of thin films is strongly required in the display industry. In recent years, as the size of a pattern has become smaller, the substrate has become larger. Consequently, measuring the thickness of the thin film over a wide area with low spatial sampling size has become a key technique of manufacturing-yield management. Interferometry is a well-known metrology technique that offers low spatial sampling size and the ability to measure a wide area; however, there are some limitations in measuring the thickness of the thin film. This paper proposes a method to calculate the thickness of the thin film in the following two steps: first, pre-estimation of the thickness with the phase at the peak position of the interferogram at the bottom surface of the thin film, using white-light phase-shift interferometry; second, accurate correction of the measurement by fitting the interferogram with the theoretical pattern through the estimated thickness. Feasibility and accuracy of the method has been verified by comparing measured values of photoresist pattern samples, manufactured with the halftone display process, to those measured by AFM. As a result, an area of $880{\times}640$ pixels could be measured in 3 seconds, with a measurement error of less than 12%.
In this study, porosity estimation was conducted by the physical properties of zeolite. Because of the difficulty of directly measuring the porosity of particulate matter, the porosity was calculated by applying the measured physical properties of zeolite to the calculation formula presented in various literature. For this purpose, the average particle size, particle size distribution, specific surface area, and pore characteristics of three types of zeolite - zeolite beta, zeolite Y, and ZSM-5 - were measured. In addition, the true density using gas and liquid phases, and two types apparent density (tap and untapped density) were measured. We calculated the porosity using these results, compare and analyzed the results, and evaluated main factors that determine the porosity.
Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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2004.10a
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pp.508-511
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2004
This study focused on the effect of autonomic microcapsules on the mechanical properties of structural material. Several types of microcapsules with healing agents were manufactured by varying agitation speed of high speed stirrer. The size distribution of microcapsules was measured by a particle size analzer. The epoxy specimens embedded with microcapsules were manufactured and the degree of cure of such epoxy specimen was measured by a differential scanning calorimetry. The tensile modulus and tensile strength in epoxy specimens embedded with microcapsules were evaluated in order to investigate the effects of microcapsules on mechanical properties of structural materials. The configuration of microcapsules and morphology of fracture surfaces for the epoxy specimen were examined by an optical microcope and a scanning electron microscope. According to the results, tensile strength of the epoxy specimen embedded with microcapsules was indicated a little reduction, but tensile modulus was not much affected on microcapsules.
Journal of Korea Technical Association of The Pulp and Paper Industry
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v.36
no.2
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pp.10-16
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2004
Structures and strengths of paper have been studied by analyzing fibers characteristics depending on refining methods. Mixing ratio of softwood and hardwood fibers and fibers characteristics have been analyzed for paper quality improvement. In this study flocculation and drainage of fibers were analyzed to improve the production efficiency and paper product's quality. Floc size and drainage rate depending on stock consistency and fines content were analyzed. Total amount of drainage during drainage process was measured quantitatively by using DI(drainage index). Floc size, viscosity of floc and dewatering times were also measured. In the case of refining load $2.8 kg_f$ , drainage was occurred by filtration mechanism rather than thickening mechanism because drainage resistance increased by fibrillation of fibers. Therefore, the drainage rate of $2.8 kg_f$ refining load stock was slower than that of $5.6 kg_f$.
The Journal of Asian Finance, Economics and Business
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v.8
no.3
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pp.341-350
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2021
This study tested the effect of the board of directors' (BOD) characteristics on the corporate performance of the Jordanian industrial and service companies listed on the Amman Stock Exchange (ASE) during the period 2015-2019. The characteristics of the BOD were measured through the following variables: MO = managerial ownership; CEODU = CEO duality; BI = board independence; GD = gender diversity; ND = nationality diversity; AE = advanced education; BM = board meetings; BSIZ = board size; CSIZ = corporate size; CA = corporate age. The corporate performance was measured by return on assets (ROA) and return on equity (ROE). The corporate size and corporate age were used as control variables. The study sample consisted of 85 industrial and service companies with 425 observations to identify the nature of the effect of the BOD characteristics on performance. This study applied time-series data (panel data), and the multiple linear regression method was used to achieve study objectives. Results showed a positive effect of the study variables on performance, while the corporate age and the education level (BOD members) have a negative effect on performance.
When measuring cerebrovascular with 3D rotational angiography, the accuracy was verified by comparing the actual size and measurement size, respectively. It is intended to help select therapeutic materials and instruments during cerebrovascular intervention by comparing the average error rates for measured values in the 3DRA and CTA methods by examining with protocols such as brain CTA, which are always performed in emergency situations. The mean error rate between the groups of measurers was ±3.655% for radiation technologist and ±3.331% for university students, and the mean error rate of the student group was within tolerance (±10%), and the independent sample T-test result t =0.879, p=0.394 (p>0.05) showed no statistically difference between the two. In addition, the average error rate measured by both groups by 3DRA was measured below ±5% within the tolerance error rate (±10%), and most of CTA was measured within the tolerance range (±10%), but showed an average error rate of up to 5.65%, and the independent sample T-test result was statistically more accurate than 3DRA. Both the 3DRA method and the brain CTA method for measuring cerebrovascular size could be accurately measured within tolerance, but it would be better to measure cerebrovascular blood vessels using a more accurate 3DRA method during cerebrovascular intervention.
Aortic annulus size was measured by two-dimensional echocardiography [2DE] in 29 patients undergoing aortic valve replacement or double valve replacement in order to predict prosthetic aortic valve size. Fifteen patients had aortic stenoinsufficiency, eleven had aortic insufficiency, and three had aortic stenosis. 2DE measurements of aortic annulus diameter, as determined from the parasternal long-axis view, demonstrated a high correlation with actual prosthetic valve size implanted at surgery [r=0.85, p<0.05]. 2DE exactly predicted actual prosthetic valve size in 8 of 29 patients [27.6%], was within 1mm of prosthetic valve size in 11 of 29 patients [37.9%], was within 2mm of prosthetic valve size in 8 of 29 patients, and was within 3mm of prosthetic valve size in 2 patients.
We measure the degree of polarization of the lunar regolith to map the distributions of the age and the particle size. We use a 12cm refracting telescope with a 2k-square pixel color CCD (R band) and a polarization filter. The angular resolution obtained is 3.02 km/pixel. Our goal is to obtain a map of the lunar particle size distribution on the lunar regolith and then that of the age distribution. Polarization of the light scattered by lunar surface contains information on their mean particle size. The mean particle size of the lunar surface has been decreased by continued micro-meteoroid impact over a long period. One can estimate the age of the lunar surface if the mean particle size is known. Particle sizes can be measured through observations of polarization because the mean particle size is related to the maximum polarization and albedo. The age and the particle size of the lunar regolith can give vital information for the future lunar exploration.
Estimation of software project cost, effort and duration in the early stage of software development cycle is a difficult and key problem in software engineering. Most of models estimate the development effort using the function point that is measured from the requirement specification. This paper presents optimal team size and duration prediction based on function point in order to provide information that can be used as a guide in selecting the most Practical and productive team size for a software development project. We introduce to productive metrics and cost for decision criteria of ideal team size and duration. The experimental is based on the analysis of 300 development and enhancement software project data. These data sets are divide in two subgroups. One is a development project; the other is a maintenance project. As a result of evaluation by productivity and cost measured criteria in two subgroups, we come to the conclusion that the most successful projects has small teams and minimum duration. Also, I proposed that predictive model for team sire and duration according to function point size based on experimental results. The presented models gives a criteria for necessary team site and duration according to the software size.
Purpose: To evaluate the effect of the slice thickness and the size of region of interest (ROI) on CT number using quantitative CT phantom Materials and Methods: The phantom containing 150 mg/cc, 75 mg/cc and 0 mg/cc calcium hydroxyapatite was scanned with 1, 3, 5 and 10 mm slice thicknesses by single energy quantitative computed tomography (QCT). CT numbers were measured on center position of the phantom. Shape of ROI was circular and sizes were 1, 3, 5, 11, 16, 21, 26 and 33 mm². ANOVA and Tukey's multiple comparison method were performed for statistical comparison of CT numbers according to different slice thicknesses. Coefficient of variation of CT number measured in each size of ROI was evaluated in same slice thickness. Results : CT numbers had statistically significant difference according to slice thicknesses (p<0.05). As the slice thickness increased, CT number also increased. As the density of phantom became lower and the size of ROI became smaller, the coefficient of variation of CT number increased. When the size of ROI was more than 11 mm² in 1 mm slice thickness, 5 mm² in 3 mm slice thickness and 3 mm² in 5 mm slice thickness, the coefficient of variation became consistent. In 10 mm slice thickness, the size of ROI had little effect on the coefficient of variation. Conclusion: CT number had variation according to the slice thickness and the size of ROI although the object was homogeneous. The slice thickness and the size of ROI are critical factors in precision of the CT number measurements.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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