$CF_4$ 분해용 플라즈마 반응기의 방전 특성
(The discharge characteristic of plasma reactor for $CF_4$ decomposition)
-
- 한국조명전기설비학회:학술대회논문집
- /
- 한국조명전기설비학회 2004년도 춘계학술대회 논문집
- /
- pp.475-478
- /
- 2004