The $ Si-SiO_2$ interface structure of a SIMOX SOI formed by 100keV $O^+$ ion beam
(100 keV $O^+$ 이온 빔에 의한 SIMOX SOI의 $ Si-SiO_2$ 계면 구조)
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- Journal of the Korean Vacuum Society
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- v.7 no.1
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- pp.35-42
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- 1998