• 제목/요약/키워드: initial adhesion

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후속열처리 및 고온고습 조건에 따른 Cu 배선 확산 방지층 적용을 위한 ALD RuAlO 박막의 계면접착에너지에 관한 연구 (Effects of Post-annealing and Temperature/Humidity Conditions on the Interfacial Adhesion Energies of ALD RuAlO Diffusion Barrier Layer for Cu Interconnects)

  • 이현철;정민수;배병현;천태훈;김수현;박영배
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제23권2호
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    • pp.49-55
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    • 2016
  • 차세대 반도체의 초미세 Cu 배선 확산방지층 적용을 위해 원자층증착법(atomic layer deposition, ALD) 공정을 이용하여 증착한 RuAlO 확산방지층과 Cu 박막 계면의 계면접착에너지를 정량적으로 측정하였고, 환경 신뢰성 평가를 수행하였다. 접합 직후 4점굽힘시험으로 평가된 계면접착에너지는 약 $7.60J/m^2$으로 측정되었다. $85^{\circ}C$/85% 상대습도의 고온고습조건에서 500시간이 지난 후 측정된 계면접착에너지는 $5.65J/m^2$로 감소하였으나, $200^{\circ}C$에서 500시간 동안 후속 열처리한 후에는 $24.05J/m^2$으로 계면접착에너지가 크게 증가한 것으로 평가되었다. 4점굽힘시험 후 박리된 계면은 접합 직후와 고온고습조건의 시편의 경우 RuAlO/$SiO_2$ 계면이었고, 500시간 후속 열처리 조건에서는 Cu/RuAlO 계면인 것으로 확인되었다. X-선 광전자 분광법 분석 결과, 고온고습조건에서는 흡습으로 인하여 강한 Al-O-Si 계면 결합이 부분적으로 분리되어 계면접착에너지가 약간 낮아진 반면, 적절한 후속 열처리 조건에서는 효과적인 산소의 계면 유입으로 인하여 강한 Al-O-Si 결합이 크게 증가하여 계면접착에너지도 크게 증가한 것으로 판단된다. 따라서, ALD Ru 확산방지층에 비해 ALD RuAlO 확산방지층은 동시에 Cu 씨앗층 역할을 하면서도 전기적 및 기계적 신뢰성이 우수할 것으로 판단된다.

후속 열처리에 따른 Cu 박막과 ALD Ru 확산방지층의 계면접착에너지 평가 (Effect of Post-annealing on the Interfacial adhesion Energy of Cu thin Film and ALD Ru Diffusion Barrier Layer)

  • 정민수;이현철;배병현;손기락;김가희;이승준;김수현;박영배
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제25권3호
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    • pp.7-12
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    • 2018
  • 차세대 초미세 Cu 배선 적용을 위한 원자층증착법(atomic layer deposition, ALD)을 이용하여 증착된 Ru확산 방지층과 Cu 박막 사이의 계면 신뢰성을 평가하기 위해, Ru 공정온도 및 $200^{\circ}C$ 후속 열처리 시간에 따라 4점굽힘시험으로 정량적인 계면접착에너지를 평가하였고, 박리계면을 분석하였다. 225, 270, $310^{\circ}C$ 세 가지 ALD Ru 공정온도에 따른 계면접착에너지는 각각 8.55, 9.37, $8.96J/m^2$로 유사한 값을 보였는데, 이는 증착온도 변화에 따라 Ru 결정립 크기 등 미세조직 및 비저항의 차이가 적어서, 계면 특성도 거의 차이가 없는 것으로 판단된다. $225^{\circ}C$의 공정온도에서 증착된 Ru 박막의 계면접착에너지는 $200^{\circ}C$ 후속 열처리시 250시간까지는 $7.59J/m^2$ 이상으로 유지되었으나, 500시간 후에는 $1.40J/m^2$로 급격히 감소하였다. 박리계면에 대한 X-선 광전자 분광기 분석 결과, 500시간 후 Cu 계면 산화로 인하여 계면접착 에너지가 감소한 것으로 확인되었다. 따라서 ALD Ru 박막은 계면신뢰성이 양호한 차세대 Cu 배선용 확산방지층 후보가 된다고 판단된다.

혈관내피세포에 부착하는 THP-1에 대한 발효마늘추출물의 효과 (Effect of Fermented Garlic Extract on Adhesion of THP-1 Cells to Bovine Aortic Endothelial Cells)

  • 권오성;송지나;유휘종;박헌용
    • 생명과학회지
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    • 제27권5호
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    • pp.553-560
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    • 2017
  • 마늘은 전통적으로 cycloalliin을 포함한 기능성 식품으로 널리 알려져 있다. 본 연구를 통해 혈관계에서 발효마늘추출물이 어떤 효능을 갖는지 알아보았다. 먼저, 발효마늘추출물이 내피세포의 단핵구 부착을 억제하는 것을 관찰하였다. 농도 변화에 따른 실험결과, 발효마늘추출물을 0.1 또는 $1{\mu}g/ml$ 농도로 전처리 하면, LPS에 의하여 촉발되는 소 대동맥 내피세포에 달라붙는 THP-1의 부착이 억제되는 것을 확인하였다. 단핵구의 내피세포 부착이 염증반응 초기단계에 진행되는 과학적 근거를 고려하면 이와 같은 결과는 발효마늘추출물이 혈관 염증을 저해한다고 볼 수 있다. 또한 세포신호전달물질의 활성변화를 관찰한 결과, 발효마늘추출물이 소 대동맥 내피세포에서 eNOS와 Akt의 활성을 유도함을 알았다. eNOS의 인산화 반응은 발효마늘추출물을 처리한지 10분 후에 최대로 상승되었으며, 이와 유사하게 Akt도 발효마늘추출물을 처리하고 10분 후에서 인산화 반응이 최대로 상승되었다. 산화질소 양 변화 측정에서도 발효마늘추출물은 산화질소의 생성을 상승시켰다. 한편, 산화질소 생성을 저해하는 억제제 처리는 발효마늘추출물에 의해 나타나는 세포부착 저해능력을 감소시켰다. eNOS와 Akt를 매개로 하는 LPS 유도 세포 부착 정도가 발효마늘추출물에 의하여 억제된다는 것은 산화질소가 세포부착에 중요 매개물임을 의미한다. 결론적으로, 발효마늘추출물은 염증관련 질환을 예방하는 데에 중요한 역할을 한다고 할 수 있다.

FOWLP Cu 재배선 적용을 위한 절연층 경화 온도 및 고온/고습 처리가 Ti/PBO 계면접착에너지에 미치는 영향 (Effects of Dielectric Curing Temperature and T/H Treatment on the Interfacial Adhesion Energies of Ti/PBO for Cu RDL Applications of FOWLP)

  • 손기락;김가희;박영배
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제30권2호
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    • pp.52-59
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    • 2023
  • 팬 아웃 웨이퍼 레벨 패키지의 Cu 재배선층 적용을 위해 Ti 확산방지층과 폴리벤즈옥사졸(polybenzoxazole, PBO) 절연층 사이의 계면 신뢰성을 평가하였다. PBO 경화 온도 및 고온/고습 시간에 따라 4점 굽힘 시험으로 정량적인 계면접착에너지를 평가하였고, 박리계면을 분석하였다. 175, 200, 및 225℃의 세 가지 PBO 경화 온도에 따른 계면접착에너지는 각각 16.63, 25.95, 16.58 J/m2 로 200℃의 경화 온도에서 가장 높은 값을 보였다. 박리표면에 대한 X-선 광전자 분광분석 결과, 200℃에서 PBO 표면의 C-O 결합의 분율이 가장 높으므로, M-O-C 결합이 Ti/PBO 계면접착 기구와 연관성이 높은 것으로 판단된다. 200℃에서 경화된 시편을 85℃/85% 상대 습도에서 500시간 동안 고온/고습 처리 하는 동안 계면접착에너지는 3 .99 J/m2까지 크게 감소하였다. 이는 고온/고습 처리동안 Ti/PBO 계면으로의 지속적인 수분 침투로 인해 계면 근처 PBO의 화학결합이 약해져서 weak boundary layer를 형성하기 때문으로 판단된다.

전기방사로 제조된 다층 Poly Methyl Methacrylate (PMMA)/Poly Vinyl Alcohol (PVA) Bone Plate의 생체적합성 평가 (Biocompatibility of Multilayer Poly Methyl Methacrylate (PMMA)/Poly Vinyl Alcohol (PVA) Bone Plate by Electrospinning Method)

  • 곽경아;김영희;;이병택;송호연
    • 한국재료학회지
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    • 제20권6호
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    • pp.312-318
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    • 2010
  • Multilayer Poly methyl methacrylate (PMMA)/ Poly vinyl alcohol (PVA) bone plates were fabricated using electrospinning and in vitro investigations were carried out for pre-clinical biocompatibility studies. The initial cellular cytotoxicity of the methacrylate (PMMA)/ Poly vinyl alcohol (PVA) bone plates was measured by MTT (3-(4,5-dimethylthiazol-2-yl)-2,5-diphenyltetrazolium bromide) assay using fibroblast-like L-929 cells. Cellular adhesion and differentiation studies were carried out using osteoblast-like MG-63 cells. As simulated body fluid (SBF) contains the same ionic concentration of body fluid and any bioactive material tends to deposit bone-like apatite on the samples surfaces into the SBF, in vitro bioactivity of the multilayer bone plates were investigated using SBF. We also studied the internal organization and tensile strength of the multilayer PMMA/PVA bone plates using micro-computed topography (${\mu}$-CT) and universal testing instrument (UTI, Korea) respectively. The cellular cytotoxicity study with MTT confirmed that the cellular viability was 78 to 90% which indicates good cyto-compatibility. Scanning electron microscopic findings revealed a good attachment and adhesion phenomenon of MG-63 cells onto the surfaces of the samples. Cellular differentiation studies also showed that osteogenic differentiation was switched on in a timely manner and affirmed along with that of the control group. Bone-like apatite formation on the surfaces was confirmed within 14 days of SBF incubation. Initial organizations of the multilayer PMMA/PVA bone plates were characterized as dense and uniform. The tensile strength of the post-pressing electronspun mat was higher than that of the pre-electronspun mat. These results suggest that a multilayer PMMA/PVA bone plate system is biocompatible, bioactive and a very good alternative bone plate system.

Environment-friendly Adhesives for Fancy Veneer Bonding of Engineered Flooring to Reduce Formaldehyde and TVOC Emissions

  • Kim, Sumin;Kim, Hyun-Joong;Xu, Guang Zhu;Eom, Young Geun
    • Journal of the Korean Wood Science and Technology
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    • 제35권5호
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    • pp.58-66
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    • 2007
  • The objective of this research was to develop environment-friendly adhesives for face fancy veneer bonding of engineered flooring. Urea-formaldehyde (UF)-tannin and melamine-formaldehyde (MF)/PVAc hybrid resin were used to replace UF resin in the formaldehyde-based resin system in order to reduce formaldehyde and volatile organic compound (VOC) emissions from the adhesives used between plywoods and fancy veneers. Wattle tannin powder (5 wt%) was added to UF resin and PVAc (30 wt%) to MF resin. These adhesive systems showed better bonding than commercial UF resin with a similar level of wood penetration. The initial adhesion strength was sufficient to be maintained within the optimum initial tack range. The standard formaldehyde emission test (desiccator method) and VOC analyzer were used to determine the formaldehyde and VOC emissions from engineered flooring bonded with commercial UF resin, UF-tannin and MF/PVAc hybrid resin. By desiccator method, the formaldehyde emission level of UF resin showed the highest but was reduced by replacing with UF-tannin and MF/PVAc hybrid resin. MF/PVAc hybrid satisfied the $E_1$ grade (below $1.5mg/{\ell}$). VOC emission results by VOC analyzer were similar with the formaldehyde emission results. TVOC emission was in the following order: UF > UF-tannin > MF/PVAc hybrid resin.

후속 열처리조건이 스크린 프린팅 Ag 박막과 폴리이미드 사이의 필강도에 미치는 영향 (Effect of Post-Annealing Condition on the Peel Strength of Screen-printed Ag Film and Polyimide Substrate)

  • 배병현;이현철;손기락;박영배
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제24권2호
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    • pp.69-74
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    • 2017
  • 인쇄전자소자 금속 배선의 고온 신뢰성 평가를 위해 스크린 프린팅 기법으로 도포된 Ag 박막과 폴리이미드 기판 사이의 계면접착력을 $200^{\circ}C$ 후속 열처리 시간에 따라 $180^{\circ}$ 필 테스트를 통해 평가하였고, 박리 계면 미세구조를 분석하였다. 후속 열처리 전 필 강도는 약 16.7 gf/mm 이었고, 열처리 24 시간 후 필 강도는 29.4 gf/mm까지 증가하였는데, 이는 초기 열처리에 의해 접합계면에서 Ag-O-C 화학 결합의 증가와 바인더의 organic bridges 효과가 주 원인인 것으로 판단된다. 한편, 열처리 시간이 48, 100, 250, 500 시간으로 더욱 증가함에 따라 필 강도는 각각 22.3, 3.6, 0.6, 0.1 gf/mm으로 급격히 감소하는 거동을 보였다. 이는 $200^{\circ}C$의 고온에서 장시간 노출되었을 때 Cu/Ag 계면 산화막 형성이 주 원인인 것으로 판단된다.

상이동촉매인 트리카프릴메틸암모니움 클로라이드를 사용한 스티렌 라디칼중합의 동력학적 연구 (The Kinetics of Radical Polymerization of Styrene with Tricaprylymethylammonium Chloride as a Phase-Transfer Catalyst)

  • 박상욱;손인조;박상보
    • 접착 및 계면
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    • 제2권2호
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    • pp.11-19
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    • 2001
  • 트리카프릴메틸 암모니움 클로라이드를 상이동촉매로 사용하여 $Na_2S_2O_8$의 수용액과 톨루엔의 이상계에서 질소분위기하에 $60^{\circ}C$에서 스티렌의 라디칼중합을 행하였다. 중합시의 초기 중합속도는 촉매와 $Na_2S_2O_8$의 초기공급 농도보다는 수용액 상에서의 4급 암모늄양이온과 퍼록시디슬페이트 음이온의 농도로 나타낼 수 있었다. 관찰된 초기중합속도를 사용하여 분균일 액-액계에서의 순환 상이동에 의한 개시과정을 포함한 중함메카니즘을 밝힐 수 있었다. 폴리스티렌의 점도평균분자량은 $Na_2S_2O_8$의 농도에 역비례하였는데, 라디칼 중합메카니즘에 의하여 $[Q^+]([S_2O{_8}^{2-}]{\alpha}_2)^{1/2}$로 나타내어졌다.

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돼지에서 $CO_2$ laser와 외과용 수술도를 이용한 위 절개 시 창상 치유 평가 (Comparative Study of Wound Healing in Porcine Stomach with $CO_2$ Laser and Scalpel Incisions)

  • 변홍섭;이재연;김명철
    • 한국임상수의학회지
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    • 제30권4호
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    • pp.247-252
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    • 2013
  • We compared wound healing with $CO_2$ laser incision and scalpel incision by measuring the extent of bleeding, the ease of incision, time, degrees of adhesion and histological observation in pig's stomach. Eight healthy pigs were used. Two symmetrical incisions were made in ventral aspect of the stomach between the greater curvature and lesser curvature were made with scalpel and 2 mm spot diameter $CO_2$ laser (8W, continuous wave) in eight pigs. And then each wound was closed with absorbable suture in a two-layer inverting seromuscular pattern. At 7 and 14 days after initial wounding, each wound was taken for histological observation. On surgery, the extent of bleeding, the ease of incision and incision time showed significant differences between the two groups. The $CO_2$ laser provided better hemostasis (p < 0.01) and smaller postoperative adhesion compared with the scalpel. However, the scalpel produced faster speed of incision and was easier to handle than the $CO_2$ laser group (p < 0.01). There was no considerable difference between the two groups in histological observation.

아로마틱 고분자를 적용한 기능성 PET 가공사 제조 및 특성 (Preparation and Properties of Functional PET Textured Yarn Coated with Aromatic Polymer)

  • 안다정;최철훈;이재웅;이상오
    • 한국염색가공학회지
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    • 제29권3호
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    • pp.148-154
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    • 2017
  • Many researches have been made on the processing technology of Poly(ethylene terephthalate) (PET), which is widely used for clothing and non-clothing applications. In this study, we coated PET filaments with m-aramid resin to improve heat resistance and antimicrobial properties. In order to enhance adhesion between PET and m-aramid polymer, the adhesive polymer was coated on the PET filaments using a winding speed of 100m/min and then treated with m-aramid. Scanning electron microscopy was used to analyze the surface of the adhesive polymer and m-aramid treated PET filament. The change of initial degradation temperature according to treatment was confirmed by thermogravimetric analysis. Antimicrobial activity analysis using bacterial reduction method showed that PET filament treated with adhesive polymer and m-aramid had an increased antibacterial effect compared to untreated PET filament.