Improving nano gap control using frequency adaptive peak filter in Solid Immersion Lens-based plasmonic lithography (SIL 기반 플라즈모닉 리소그래피에서 주파수 적응형 필터를 이용한 나노간극 제어의 성능향상)
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- Transactions of the Society of Information Storage Systems
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- v.10 no.1
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- pp.1-6
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- 2014