A Study on the Surface Modification of Graphite by CVD SiC -Growth Characteristics of SiC in a Horizontal CVD Reactor- (화학증착 탄화규소에 의한 흑연의 표면개질 연구 -수평형 화학증착반응관에서 탄화규소 성장특성-)
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- Journal of the Korean Ceramic Society
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- v.32 no.4
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- pp.419-428
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- 1995